从含有铟和氯化铁的蚀刻废液回收铟的方法及其装置的制作方法

专利名称：从含有铟和氯化铁的蚀刻废液回收铟的方法及其装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及从含有铟和氯化铁的蚀刻废液回收铟的铟的回收方法及其 装置，更详细地讲，涉及从在例如液晶显示器、等离子显示器等的平板显 示器的制造过程中发生的蚀刻废液中，以合金或金属单质等形式回收有价
值物质铟(In)的方法和装置。
背景技术：
液晶显示器、等离子显示器等的平板显示器(FPD)，近年较多地用 于计算机的显示器、电视显像器、便携式电话的显示部等的各种电子设备。 在这样的FPD的制造过程中，当然会产生废液，在必须处理这样的废液方 面，不仅经营这样的FPD的液晶制造厂，而且与半导体制造厂、镀敷工厂 的情况也同样。并且，在这样的FPD的制造过程中发生的废液之一，有含 有铟和氯化铁的蚀刻废液。
一般地，产业废液中往往含有种种的金属，进行上述FPD的制造等的 液晶制造厂废液中含有In等，半导体制造厂废液中含有铜(Cu)、镓(Ga ) 等，镀敷工厂废液中含有镍(Ni)、铜(Cu)、锌(Zn)等，正尝试将它 们以作为有价值物质的金属单质的形式回收。如果能够将它们以金属单质 或合金的形式回收，则能够将这些金属进行再利用等。
作为回收重金属类的废液处理技术，过去一般采用使用药剂的凝聚沉 淀处理、共沉处理等，在浓度低时，也使用吸附剂除去金属类。例如作为 利用使用药剂的凝聚沉淀处理的技术，有下述专利文献l涉及的发明。
然而，对上述的含有铟和氯化铁的蚀刻废液使用上述的凝聚沉淀处理 的场合，虽然能够以氢氧化铟形式进行回收，但氯化铁也以氩氧化物形式
4沉淀，作为整体来讲存在氢氧化物渣滓的发生量增多的问题。而且由于大 部分成为含铁的渣滓的状态，因此也存在未变成有价值物质的问题。
另一方面，作为有关从含有铟和氯化铁的蚀刻废液除去铟的方法和回
收方法的现有技术，本发明者们检索的结果，唯一存在下述专利文献2所 述的专利申情。即，该专利文献2涉及的发明，如其权利要求l所述的那 样，是一种铟的除去、回收方法，该方法的特征在于，向含有铟和氯化铁 的蚀刻废液添加铁、镍化合物。
另外，关于具体的回收手段，在该专利文献2的说明书的段落[0022
中记载了"向该废液中添加镍化合物，加入铁进行搅拌加热，使镍析出 并使铟析出。由此，能够从该废液除去铟。即，能够从沉淀物回收铟，...，，， 而且，在段落[0023中记栽了"向含有铟和氯化铁的蚀刻废液添加l^从 而析出的铟和镍等所组成的混合物附着在铁上，因此作为沉淀物能够简单 地从溶液中分离。作为该沉淀物的分离方法，可举出重力式沉降、过滤、 利用旋风器等的离心力的方法。"。
由这些记载来判断，在专利文献2的方法中，通过添加镍离子而引起 镍的析出反应，伴随该析出反应而发生铟的析出反应，因此所回收的铟合 金中，铟浓度非常低，作为以镍为主体的合金而回收，所以难以有效利用 回收的铟。在该点上，在该专利文献2中没有谈及使合金中的铟的浓度为 所希望的浓度以上来进行回收。因此，该专利文献2的方法，即使能够作 为从废液除去锢的技术利用，也未必可确认能够有效用作为只将锢作为有 价值物质进行回收的技术。另外，铟以其与镍等的混合物的形式附着在铁 上，作为沉淀物需要采用各种的分离方法进行分离，而且通常的分离方法 非常难以将铟作为有价值物质进行回收。
专利文献1:日本国特开2005-342694号公报
专利文献2:日本国特开2004-75463号公报

发明内容
本发明是为了解决上述的问题而完成的研究，其课题是提供不需要象过去那样以氢氧化铟的状态进行回收，或在作为与其他的金属的合金进行 回收的场合，合金中的铟的浓度不会变低，能够作为高浓度铟进行回收， 因此在回收时没有如氢氧化铟的情况那样的操作不良，能够^f吏用过滤器等 容易地进行回收，而且铟的回收率显著地良好的铟的回收方法和装置。
本发明为了解决上述的课题，提供从含有铟和氯化铁的蚀刻废液回收 锢的方法及其装置，作为铟的回收方法的特征是，该方法是从至少含有铟 和氯化铁的蚀刻废液回收铟的、来自蚀刻废液的铟的回收方法，向被调节
成废液中的氯化铁的浓度为20重量％以下的蚀刻废液添加由离子化倾向 比铟大的金属构成的析出用金属，使上述蚀刻废液中含有的铟在上述析出 用金属的表面析出，然后，采用剥离装置从上述析出用金属剥离在上述析 出用金属上析出的铟，将剥离了的固体形状的铟从液体中分离并回收。
另外，作为铟的回收装置的特征是，该装置是从至少含有铟和氯化铁 的蚀刻废液回收铟的、来自蚀刻废液的铟的回收装置，具有
回收用反应器1，其用于进行金属析出反应，即流入被调节成废液中 的氯化铁浓度为20重量％以下的蚀刻废液，或在流入蚀刻废液的同时将其 调节成该废液中的氯化铁浓度为20重量％以下，添加由离子化倾向比铟大 的金属构成的析出用金属，使上述蚀刻废液中含有的铟析出于上迷析出用 金属的表面；和
剥离装置，其从上述析出用金属剥离在上述析出用金属上析出的铟。
再者，作为本发明的回收对象物的铟，除了作为金属单质来回收以外， 有时也作为合金来回收或作为化合物等来回收，另外，蚀刻废液中含有的 铟通常是离子、化合物等的状态，因此难以将它们全部严格且明确地区另'J， 另外，未必需要将全部明确地区别。因此，在本发明中仅称为r铟j时， 除了意指金属单质的情况以外，还包括为合金、化合物的情况等。
更优选进行调节以使废液中的氯化铁的浓度为9重量％以下，进一步 优选调节成6重量％以下。作为由离子化倾向比铟大的金属构成的析出用 金属，例如可以使用锌或铝。
此外，作为从析出用金属剥离在该析出用金属上析出的铟的手段，可以采用例如利用超声波使金属粒子振动的手段或利用电磁铁搅拌金属粒子 使其相互冲撞的手段之类的手段。废液中的氯化铁的浓度的调节，可以在
回收用反应器1的前段侧设置调节槽2从而在该调节槽2内进行，还可以 在回收用反应器l内进行浓度调节。
本发明如上所述，向被调节成废液中的氯化铁浓度为20重量％以下的 含有铟和氯化铁的蚀刻废液添加由离子化倾向比铟大的金属构成的析出用 金属，使上述蚀刻废液中含有的铟在上述析出用金属的表面析出，然后， 采用剥离手段从上述析出用金属剥离在上述析出用金属上析出的铟，将剥 离了的固体形状的铟从液体中分离并回收，因此，从蚀刻废液回收铟时， 通过将利用离子化倾向的置换沉淀(cementation)反应与剥离技术组合， 即通过使用离子化倾向比铟大的析出用金属，用于金属析出反应的金属的 总表面积增加，析出反应速度提高，另外，通采用剥离手段剥离已某种程 度生长的析出金属，总是使新的金属表面露出，能够维持反应速度，因此 与以往的任一种方法相比，都具有能够显著地提高从废液中回收铟的回收 率的效果。
尤其是在成为本发明对象的含有铟和氯化铁的蚀刻废液的情况下，通 常氯化铁的浓度非常高，为30重量％以上，若要采用利用上述离子化倾向 的置换沉淀反应，则析出用金属的溶解反应激烈，难以控制还原析出反应。 另外，析出用金属的溶解速度比铟的析出速度快，因此铁和铟在锌表面析 出，在锌的溶解反应停止前，锌粒子会全部溶解，其结果，析出的锢再次 溶解，不能够回收。与此相对，在本发明中，如上所述由于进行调节以使 蚀刻废液中的氯化铁浓度为20重量％以下，优选为9重量％以下，更优选 为6重量％以下，因此析出用金属的溶解反应没有那么激烈，所以，也不 难以控制还原析出反应，并且析出用金属也不会溶解到必要以上。
另外，不需要象以往的方法那样以氢氧化铟等的沉淀物的状态进^f亍回 收，并且，即使是作为合金进行回收的场合，合金中的铟的浓度也不会变 低，能够作为高浓度铟进行回收，因此在回收时也没有如氢氧化铟的情况 那样的操作的不良，具有能够使用过滤器等容易地进行回收的效果。如以上所述，根据本发明，能够提供回收率高的铟的回收方法，因此
例如即使将来根据家电循环法或与其相当的法律赋予FPD等的回收循环 义务的情况下，也具有作为液晶电视的再循环工厂中的再循环过程中的铟 的回收方法能够采用本发明的实际利益。


图1是作为一种实施方式的从含有铟和氯化铁的蚀刻废液回收铟的回 收装置的概略正面图。
图2是该锢回收装置中的回收用反应器的概略正面图。 图3是另一实施方式的回收用反应器的概略正面图。 附图标号说明 1-回收用反应器、2-调节槽
具体实施例方式
以下根据附图对本发明的实施方式进行说明。 (实施方式l)
本实施方式的从含有铟和氯化铁的蚀刻废液回收铟(In)的回收装置， 如图l所示，是具有回收用反应器l、调节槽2和过滤器3的回收装置。
回收用反应器1是如后所述那样用于通过置换沉淀反应(金属析出反 应)从废液中析出In的反应器，调节槽2是在反应器1之前用于调节废液 中的氯化铁浓度的调节槽，过滤器3是用于分离、回收在上述回收用反应 器1中析出的In的过滤器。再者，也可以构成为被分离的处理液可向上述 调节槽返送，在构成为可向调节槽2返送被分离的处理液的场合，需要使 被处理液循环的泵等。
上迷回收用反应器1的反应器主体5，如图2所示是纵向长的主体， 包括反应器上部6、反应器中间部7和反应器下部8，分别通过连接部9、 IO进行连接。反应器上部6、反应器中间部7和反应器下部8各部分以相 同宽度形成，但反应器上部6的截面积比反应器中间部7的截面积大地形成，反应器中间部7的截面积比反应器下部8的截面积大地形成。其结果， 作为整体构成为反应器主体5的截面积朝向上方不连续地增加。再者，连 接部9、 10，朝向上方形成为宽度宽的锥状。
在反应器下部8的下侧，设置用于流入作为处理对象的含有In和氯化 铁的蚀刻废液的大致圆锥形的流入用室11，而且在其下部设置有流入管 12。在流入管12上，虽然没有图示，但设置有止回阀。另外，在反应器上 部6的上侧设置上部室13，在其侧部设置有用于排出被回收的薄片状、微 粒子状的回收对象金属In的排出管14。
上部室13是用于由这样的排出管14排出所回收的金属(In)的部分， 同时也是投入用于基于与In的离子化倾向的不同而产生所谓的置换沉淀 反应(金属析出反应)的、离子化倾向比In大的析出用金属的金属粒子的 部分。实际上，投入的金属与被回收的金属(In)的置换沉淀反应会在上 述反应器主体5的整体中产生。并且构成为在从流入管12流入的蚀刻废 液直到到达排出管14的期间，该废液一边沿垂直方向上升一边形成金属粒 子的流化床。而且，作为使蚀刻废液中含有的金属，即通过上述置换沉淀 反应在上述投入的金属粒子上析出的回收对象金属剥离的剥离手段的超声 波振动体15a、 15b、 15c，分别设置在反应器上部6、反应器中间部7和反 应器下部8。
在本实施方式中，作为投入的金属粒子可使用锌(Zii)、铝(Al)的 粒子。投入的金属粒子优选使用平均粒径为0.1~8mm的金属粒子，在本 实施方式中使用平均粒径为2mm的金属粒子。再者，平均粒径可采用图 像解析法或JIS Z8801筛分试验法等进行测定。
对于使用包含这样的构成的In回收装置回收In的方法进行说明，首 先向调节槽2供给作为处理对象的废液，在该调节槽2中调节蚀刻废液中 的氯化铁的浓度，具体地讲，将水添加到调节槽2中进行稀释以使氯化铁 的浓度为6重量％以下。
接着，将这样地调节了氯化铁浓度的蚀刻废液，从流入管12经由流入 用室11流入到反应器主体5内。另一方面，从上部室13投入用于产生置
9换沉淀反应的金属粒子(Zn或Al粒子)。在反应器主体5内， 一方面流 入的蚀刻废液沿垂直方向上升，另一方面从上部室13投入的金属粒子以形 成流化床的方式成为流动状态。
然后，基于废液中含有的In与作为投入的金属粒子的Zn或AI的离 子化倾向的不同，产生所谓的置换沉淀反应。对此更详细地说明的话，各 金属离子的还原反应如下式(1) ~ (3)所示，分别表示出M属离子的 标准电极电位(E。)。再者，废液中含有氯化铁，Fe也参与置换沉淀反应， 因此将Fe离子的还原反应示于下式(l)中，也表示出其标准电极电位(E。)。
In3++3e—In ...... (1) -0.34V
Zn2++2e—Zn ...... (2) -0.76V
Al3++3e—Al ...... (3) -1.66V
Fe2++2e—Fe ...... (4) -0.44V
由上述(l) ~ (4)清楚地看出，与ln"、 F^+相比，Zn2+、 A产的标 准还原电位小。换言之，与In、 Fe相比，Zn、 Al的离子化倾向大。因此， 在成为上述的流动状态的状态下，离子化倾向大的Zn、Al变成Zi^+或Al3+ 从而溶出到废液中，与此同时，废液中含有的In"变成In， Fe"变成Fe, 才斤出于Zn、 Al的氺立子的表面上。
在该情况下，由于蚀刻废液中含有氯化铁，因此当氯化铁的浓度高时， 在产生上述置换沉淀反应的情况下，Zn粒子或Al粒子的溶解反应激烈， 有可能难以控制还原析出反应。并且，由于Zn粒子或Al粒子溶解到必要 以上，因此在经济上也产生损失。
然而，在本实施方式中，如上述那样进行调节以使蚀刻废液中的氯化 铁浓度为6重量％以下，因此Zn粒子或Al粒子的溶解反应并不那么激烈， 所以并不难以控制还原析出反应，并且，Zn粒子或Al粒子不会溶解到必 要以上。此外，由上述的置换沉淀反应可以以In与Fe的合金状态得到析 出物，但由于流入到上述反应器主体5内的蚀刻废液预先被稀释以使氯化 铁浓度为6重量％以下，因此对于得到的In与Fe的合金，In的含有比例 为卯重量％以上，可得到非常高的浓度的In合金。另夕卜，通过这样的置换沉淀反应使In在Zn、 Al粒子的表面上析出后， 使超声波振动体15a、 15b、 15c工作。通过使该超声波振动体15a、 15b、 15c工作，由该超声波15a、 15b、 15c起振的超声波对上述析出了 In的Zn 粒子或Al粒子赋予振动力和搅拌力，由此从Zn粒子或Al粒子强制性地 剥离析出的In。
为了这样地剥离析出的In而利用超声波振动的场合，可通过处理装置 的外观目视确认在反应器部分存在超声波振动体。另外，即使是不能够目 视确认的场合，由于在处理中超声波振动体使反应器内的Zn、 Al的金属 粒子接触振动时产生十几千赫兹左右的高音，因此能够容易地确认进行了 利用超声波的处理。
含有这样地剥离的In的处理液，从上部室13经由排出管14排出到反 应器主体5的外部，由过滤器3分离，分离的In被回收。在这种情况下， 在本实施方式中，作为为使作为回收对象金属的In析出而投入的析出用金 属，使用了粒子状的析出用金属，因此与例如投入Zn、 Al的碎片的情况 相比，用于产生置换沉淀反应的金属(Zn、 Al)的表面积增加，In的析出 反应速度提高。并且，在可看到已某种程度生长的金属的析出后，通过利 用上述的超声波的振动的强制剥离，总是使新的金属表面(Zn粒子的表面) 露出，能够维持反应速度。另外，与以往的方法相比，在剥离了的回收金 属中，如上所述，In以外的杂质非常少。
另外，由Zn或Al构成的金属粒子在反应器主体5内流动，通过上述 的置换沉淀反应，Zn"或Al"溶出，因此投入到上部室13中的金属粒子的 投入初期时的粒径，随着时间的迁移必定减少。其结果，由于本来废液以 大致相同的向上流动的速度在反应器主体5内上升，因此越朝向上部粒径 越减少，变小的金属粒子有可能不由自主地从反应器主体5溢流。
然而，在本实施方式中，形成为反应器主体5的截面积越朝向上方越 不连续地增大，因此在反应器主体5内的废液的向上流动的速度逐渐减少， 因此如上述那样由于置换沉淀反应等而导致粒径减少了的金属粒子，在截 面积增加的反应器主体5的上部，不会不由自主地溢流，保持在反应器主
ii体5内的可能性增高。
另外，蚀刻废液从反应器主体5的下部侧流入，在通过反应器主体5 时，通过置换沉淀反应，在由Zn或Al构成的金属粒子上析出成为回收对 象的In，因此越朝向反应器主体5的上部，废液中回收对象金属的浓度越 降低。
然而，在本实施方式中，越是反应器主体5的上部越存在微细的Zn
或A1的粒子，并且由于蚀刻废液的向上流动的速度逐渐地降低，因此可看
到Zn或Al粒子的数量增加，因此越M应器主体1的上部，Zn或Al粒
子的总表面积越增大。其结果，置换沉淀反应的反应速度(In析出的效果)
提高，因此，即使是在Iii的浓度为更低浓度的反应器主体5的上部，也能 够高效率地回收处理作为回收对象金属的in。
(实施例2 )
本实施方式中，反应器主体5的结构与上述实施方式1不同，即，在 本实施方式中，如图3所示，以反应器主体5的周面整体向上呈锥状的方 式形成，构成为反应器主体5的截面积连续地朝向上方增加。在该点上， 与反应器主体5的截面积不连续地朝向上方增加的实施方式l不同。由于 不是不连续的，而是以截面积连续地朝向上方增加的方式构成，因此在本 实施方式中，不是如实施方式1那样区分成反应器上部6、反应器中间部7、 反应器下部8来构成。
然而，超声波振动体15a、 15b、 15c设置在从反应器主体5的上部到 下部的3个部位，该点与实施方式l相同。因此，在本实施方式中，也与 实施方式l同样，可得到能够通过由超声波振动体15a、 15b、 15c起振的 超声波强制性地剥离在析出用金属的金属粒子(Zn 、 Al等)上析出的回 收对象金属In的效果。
另外，虽然有不连续或连续的不同，但是在以截面积朝向上方增加的 方式构成这一点上，与实施方式l相同，因此即使在本实施方式中，也是 在反应器主体5的上部保持粒径减小了的微细的金属粒子，产生防止不由 自主地溢流的效果、以及在回收对象金属的浓度为低浓度的反应器主体5的上部也能够高效率地回收处理回收对象金属的效果。 (其他的实施方式)
再者，在上述实施方式中，使蚀刻废液中的氯化铁浓度为6重量％以 下，因此可得到In的回收率良好的理想效果，但是蚀刻度废液中的氯化铁 浓度并不限于该实施方式。只要为20重量％以下即可，但是，在使蚀刻废 液中的氯化铁浓度为6重量％以下的情况下，可使所回收的In与Fe的比 例为9:1左右。与此相对，在为10~20重量％左右时，虽然In与Fe的比 例为1:1左右，但该情况下，也可达到可将In或In与Fe的合金作为有价 值物质回收的本发明目的。
另外，在上述实施方式中，在回收用反应器l的前段侧设置调节槽2， 在该调节槽2内进行了废液中的氯化铁的浓度调节，但不限于此，也可以 通过向回收用反应器1中直接添加稀释液等来进行浓度调节。
此外，在上述实施方式中，对于添加Zn或Al的粒子来回收In的情 况进行了说明，但添加到回收用反应器中的金属粒子不限于该实施方式的 Zn或Al的粒子，只要是使用离子化倾向比In大的金属即可。
另外，在该实施方式中，金属粒子的粒径设为约2mm，但金属粒子的 粒径并不限于该实施方式，优选为0.1 8mm。当不到0.1mm时，置换沉 淀反应未必;f艮好地进行，有可能不能容易地进行从金属粒子上剥离的析出 金属的回收。尤其是在氯化铁的浓度高时，有可能不能4艮好地进行置换沉 淀反应。另外，当超过8mm时，能够在反应器主体1内保持的金属粒子 的数量减少，结果金属粒子的总表面积减少，有可能析出反应的效率降低。 另外，回收目标的有价值金属以外的金属有可能在金属粒子上析出。
再者，金属粒子的平均粒径，按照上述的那样，可采用图像解析法、 JIS Z 8801筛分试验法等进行测定。采用图像解析法测定平均粒径时，可 使用例如日机装林式会社制的$ y卜歹、_y夕JPA (粒度分布测定装置)。 作为一例，在金属粒子的平均粒径设为l~2mm的范围的情况下，使用在 JIS的篩分法中7>称尺寸2000pm筛下、1000jim篩上的金属粒子即可。
此外，在上述实施方式l、 2中，形成为反应器主体l的截面积越朝向上部越增大，因此可得到上述的理想效果，但这样地形成反应器主体1不 是本发明所必需的条件。
此外，从金属粒子剥离回收对象金属的手段也不限于上述实施方式1、
2的采用超声波的手段和实施方式3的采用电》兹铁的手段，也可以是其以 外的手段，另外，在上述实施方式中，作为析出用金属使用了金属粒子， 但不限于此，也可以使用金属线、将金属线加工成网状的金属、板状的金 属等。 实施例
对于作为处理液的蚀刻废液的氯化铁浓度与析出的金属中的In浓度 的相关关系进行了试验。具体地讲，如表1所示，准备采用水将作为原液 的蚀刻废液(氯化铁的浓度为约36重量％ )分别稀释至2倍、4倍、6倍、 IO倍的液体，对于分别浓度不同的液体，使用上述实施方式的装置进行试 验。试验结果示于表l。
表l
稀释倍率析出物中的In浓度(重量％)
250
450
690
1090
由表1清楚地看出，稀释倍率为2倍(氯化铁的浓度为约18重量％ ) 和稀释倍率为4倍(氯化铁的浓度为约9重量％)的液体，析出物中的In 浓度为约50重量％，稀释倍率为6倍(氯化铁的浓度为约6重量％ )和稀 释倍率为10倍(氯化铁的浓度为约3.6重量％)的液体，析出物中的In 浓度为约90重量％。由此可知，液体中的氯化铁的浓度越低，则In的浓 度越高。即In的回收率越高。
再者，析出物中的In以外的金属大部分是Fe，因此In的浓度为约50 重量％的情况下，析出物的大致组成为In : Fe-l:l， In的浓度为约90重 量％的情况下，析出物的大致組成为In:Fe=9:l。
本发明中表示数值范围的"以上，，和"以下，，均包括本数。
1权利要求
1、一种从含有铟和氯化铁的蚀刻废液回收铟的方法，是从至少含有铟和氯化铁的蚀刻废液回收铟的、来自蚀刻废液的铟的回收方法，其特征在于，向被调节成废液中的氯化铁浓度为20重量％以下的蚀刻废液添加由离子化倾向比铟大的金属构成的析出用金属，使所述蚀刻废液中含有的铟析出于所述析出用金属的表面，然后采用剥离装置，从所述析出用金属剥离在所述析出用金属上析出的铟，将剥离的固体形状的铟从液体分离并回收。
2、 根据权利要l所述的从含有铟和氯化铁的蚀刻废液回收铟的方法， 其中，进行调节以使废液中的氯化铁浓度为9重量％以下。
3、 根据权利要l所述的从含有铟和氯化铁的蚀刻废液回收铟的方法， 其中，进行调节以使废液中的氯化铁浓度为6重量％以下。
4、 根据权利要求1 ~3的任一项所述的从含有铟和氯化铁的蚀刻废液 回收铟的方法，其中，在调节废液中的氯化铁浓度后，向蚀刻废液添加析 出用金属。
5、 根据权利要求1 ~4的任一项所述的从含有铟和氯化铁的蚀刻废液 回收铟的方法，其中，由离子化倾向比铟大的金属构成的析出用金属是锌 或铝。
6、 根据权利要求1 ~ 5的任一项所述从含有铟和氯化铁的蚀刻废液回 收铟的方法，其中，从析出用金属剥离铟的装置是利用超声波使金属粒子 振动的装置。
7、 根据权利要求1 ~ 5的任一项所述的从含有铟和氯化铁的蚀刻废液 回收铟的方法，其中，析出用金属是粒径为0.1~8mm的金属粒子。
8、 一种从含有铟和氯化铁的蚀刻废液回收铟的装置，是从至少含有铟 和氯化铁的蚀刻废液回收铟的、来自蚀刻废液的铟的回收装置，其特征在 于，具有回收用反应器(l)，其用于进行金属析出反应，即在流入被调节成废 液中的氯化4失浓度为20重量％以下的蚀刻废液的同时，添加由离子化倾向比铟大的金属构成的析出用金属，使所述蚀刻废液中含有的铟析出于所述析出用金属的表面；和剥离装置，其从所述析出用金属剥离在所迷析出用金属上析出的铟。
9、 根据权利要求8所述的从含有铟和氯化铁的蚀刻废液回收铟的装 置，其中，在回收用反应器(i)的前段侧，设置有用于调节废液中的氯化铁浓度的调节槽(2)。
10、 一种从含有铟和氯化铁的蚀刻废液回收铟的装置，是从至少含有 铟和氯化铁的蚀刻废液回收铟的、来自蚀刻废液的铟的回收装置，其特征 在于，具有回收用反应器(l)，其用于进行金属析出反应，即在流入蚀刻废液的 同时，进行调节以使该废液中的氯化铁浓度为20重量％以下，并添加由离 子化倾向比铟大的金属构成的析出用金属，使所述蚀刻废液中含有的铟析 出于所述析出用金属的表面；和剥离装置，其从所述析出用金属剥离在所述析出用金属上析出的铟。
11、 根据权利要求8 ~ 10的任一项从含有铟和氯化铁的蚀刻废液回收 铟的装置，其中，由离子化倾向比铟大的金属构成的析出用金属是锌或铝。
12、 根据权利要求8 ~ 11的任一项所述的从含有铟和氯化铁的蚀刻废 液回收铟的装置，其中，从析出用金属剥离铟的装置是利用超声波使金属 粒子振动的装置。
全文摘要
本发明的课题是提供不需要以氢氧化铟的状态进行回收，能够作为高浓度铟进行回收，回收时没有操作的不良，可使用过滤器等容易地进行回收，且回收率显著地良好的铟的回收方法和装置。其特征在于，向被调节成至少含有铟和氯化铁的废液中的氯化铁浓度为20重量％以下的蚀刻废液添加由离子化倾向比铟大的金属构成的析出用金属，使所述蚀刻废液中含有的铟析出于所述析出用金属的表面，然后采用剥离装置，从所述析出用金属剥离在所述析出用金属上析出的铟，将剥离的固体形状的铟或铟合金从液体分离并回收。
文档编号C22B58/00GK101589163SQ20078005035
公开日2009年11月25日 申请日期2007年11月19日 优先权日2007年1月23日
发明者三木武夫, 佐桥荣一, 前背户智晴, 本马隆道, 杉本保 申请人:夏普株式会社;株式会社神钢环境舒立净