专利名称：一种铝加厚金属化电容器用薄膜的蒸镀方法
技术领域：
本发明涉及金属化电容器用薄膜的制备方法，特别涉及一种铝加厚金属化电容器
用薄膜的蒸镀方法。
背景技术：
现有的金属化电容器用薄膜，是在作为介质材料的基膜(如聚脂薄膜、聚丙烯薄 膜等绝缘材料)上用真空镀膜机在高真空条件下采用金属加热蒸发技术镀上金属极板，金 属级板可分单铝镀层和铝加厚两层，因其具有独特的自愈特性，广泛用于制造各类电力补 偿用或马达启动用交流电容器和直流滤波电容器。金属化薄膜独特的自愈性能，可明显改 善和提高金属化薄膜电容器的耐电压能力和使用寿命。在电容器热击穿时挥发，自愈性更 加优良，因此铝复合金属化薄膜较铝金属化膜具有更好的耐压特性。目前金属化薄膜一般 是在整个薄膜先蒸镀上一层铝膜，然后在铝膜上再蒸镀上一层锌加强层，该加强层的宽度 一般要比薄膜的宽度小很多，一般位于金属化电容器薄膜的中间，这样既不影响薄膜的耐 压性能，又能提高金属化薄膜的自愈性能。 目前，上述含有锌加强层的金属化电容器薄膜无法一次完成，一般是先真空镀铝 后，再将真空镀膜机中的铝蒸镀舟更换成锌蒸镀舟实施镀锌，这样效率低下，品质也很难保 证。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于提供一种铝加厚金属化电容器用薄膜的蒸镀方
法，以解决现有铝加厚金属化电容器用薄膜的蒸镀方法所存在的不足之处。 本发明所要解决的技术问题可以通过以下技术方案来实现 —种铝加厚金属化电容器用薄膜的蒸镀方法，包括蒸镀铝膜步骤和蒸镀铝加强层 步骤，其特征在于，所述蒸镀铝膜步骤和蒸镀铝加强层步骤是在同一真空系统中， 一次完成 的。 所述蒸镀铝膜步骤所使用的第一铝坩埚与蒸镀机主辊之间的连线和蒸镀铝加强 层步骤所使用的第二铝坩埚与蒸镀机主辊之间的连线之间的夹角为40-50度之间。优选为 45度。 在本发明中，第一铝坩埚的加热温度在IOO(TC _15001:，第二铝坩埚的加热温度 在450°C -750°C ，主轴的冷冻温度控制在_8°C —12。C ，真空度控制在_3 X 10—4—5 X 10—4。所 述第二铝坩埚设置有若干条蒸镀缝隙，每条蒸镀缝隙的宽度为l-3mm。 由于采用了如上的蒸镀工艺，在蒸镀上铝膜后，马上在蒸镀好的铝膜表面蒸镀上 铝加强层，两个蒸发步骤同时进行，实现了铝金属化电容器留边加厚，最大优点是形成以层 天然氧化层，抗潮湿能力强，储存周期长，自愈性能好，自愈后金属化膜能生成八1203，不影响 电容器参数。同时本发明提高了整个镀膜的质量，同时也提高了蒸镀效率，解决了国内外现 有真空蒸镀机无法制备铝加厚金属化电容器用薄膜的问题。
图1为本发明方法的工作原理示意图。
具体实施例方式
为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结
合具体图示，进一步阐述本发明。 参见图l，一种铝加厚金属化电容器用薄膜的蒸镀方法，包括蒸镀铝膜步骤和蒸镀 铝加强层步骤，蒸镀铝膜步骤和蒸镀锌加强层步骤是在同一真空系统中，一次完成的。蒸镀 铝膜步骤所使用的第一铝坩埚2与蒸镀机主辊1之间的连线和蒸镀铝加强层步骤所使用的 第二铝坩埚3与蒸镀机主辊1之间的连线之间的夹角为40-50度，比较好的角度为45度， 控制好这个角度，就能在保证蒸镀效率的前提下，保证铝合金与先期镀上的铝膜形成致密 的结合，解决了现有蒸镀方法铝加强层与铝膜结合不致密的问题。 由于本发明的铝加强层几乎是在蒸镀完铝膜后，立刻蒸镀到铝膜上的，因此保证 铝合金与先期镀上的铝膜形成致密的结合，提高了蒸镀的品质。 为了使锌加强层能够蒸镀到铝膜的中间，本发明在第二铝坩埚3上设置有若干条 蒸镀缝隙，每条蒸镀缝隙的宽度为l-3mm。 蒸镀时，第一铝坩埚2的加热温度在IOO(TC -1500°〇，第二铝坩埚3的加热温度在 450°C -75(TC，主轴1的冷冻温度控制在_8°C —12。C，真空度控制在-3X 10—4—5X 10—4。
权利要求
一种铝加厚金属化电容器用薄膜的蒸镀方法，包括蒸镀铝膜步骤和蒸镀铝加强层步骤，其特征在于，所述蒸镀铝膜步骤和蒸镀铝加强层步骤是在同一真空系统中，一次完成的。
2. 根据权利要求1所述的铝加厚金属化电容器用薄膜的蒸镀方法，其特征在于，所述 蒸镀铝膜步骤所使用的第一铝坩埚与蒸镀机主辊之间的连线和蒸镀铝加强层步骤所使用 的第二铝坩埚与蒸镀机主辊之间的连线之间的夹角为40-50度之间。
3. 根据权利要求1所述的铝加厚金属化电容器用薄膜的蒸镀方法，其特征在于，所述 蒸镀铝膜步骤所使用的第一铝坩埚与蒸镀机主辊之间的连线和蒸镀铝加强层步骤所使用 的第二铝坩埚与蒸镀机主辊之间的连线之间的夹角为45度。
4. 根据权利要求1所述的铝加厚金属化电容器用薄膜的蒸镀方法，其特征在于，所述 第一铝坩埚的加热温度在IOO(TC _15001:，第二铝坩埚的加热温度在4501: -75(rC，主轴的 冷冻温度控制在_8°C —12t:，真空度控制在-3X 10—4—5X 10—4。
5. 根据权利要求2至4任一项权利要求所述的铝加厚金属化电容器用薄膜的蒸镀方 法，其特征在于，所述第二铝坩埚设置有若干条蒸镀缝隙，每条蒸镀缝隙的宽度为l-3mm。
全文摘要
一种铝加厚金属化电容器用薄膜的蒸镀方法，包括蒸镀铝膜步骤和蒸镀锌加强层步骤，蒸镀铝加强层步骤，其特征在于，所述蒸镀铝膜步骤和蒸镀铝加强层步骤是在同一真空系统中，一次完成的。本发明在蒸镀上铝膜后，马上在蒸镀好的铝膜表面蒸镀上铝加强层，两个蒸发步骤同时进行，实现了铝金属化电容器留边加厚，最大优点是形成以层天然氧化层，抗潮湿能力强，储存周期长，自愈性能好，自愈后金属化膜能生成Al2O3，不影响电容器参数。同时本发明提高了整个镀膜的质量，同时也提高了蒸镀效率，解决了国内外现有真空蒸镀机无法制备铝加厚金属化电容器用薄膜的问题。
文档编号C23C14/24GK101717915SQ200810200950
公开日2010年6月2日 申请日期2008年10月9日 优先权日2008年10月9日
发明者唐朝明 申请人:上海奥移电器有限公司