专利名称：镀膜装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种镀膜装置。
背景技术：
为了使产品表面的薄膜纯度更高，镀膜的制程须在真空环境下完成，即真空镀膜。 真空镀膜的主要流程是将洗净后的产品放置在承载部上，将承载部送入镀膜机的真空腔 内，对真空腔进行加热和抽气使其到达镀膜制程所需的真空范围，然后对蒸镀源加热，使镀 膜材料变成离子态，接着离子态的镀膜材料蒸发到达产品表面，逐渐在产品表面沉积形成 薄膜。蒸镀时间视所镀的膜层数和程序的不同而有长短。镀膜完毕，真空腔冷却后将承载 部取出。 目前随着产品的光学性能日益复杂，对产品进行双面镀膜的需求日益增加。但现 有的真空镀膜设备中，一次仅能对产品的一面进行镀膜，若需对产品进行双面镀膜，则必须 将真空腔打开，利用人工对承载着产品的承载部进行翻面。这样会存在以下缺点第一，需 进行两次抽真空的动作，比较耗费时间；第二，蒸镀时真空腔内的温度极高，因此人工翻面 时，必须等到真空腔冷却后才可打开真空腔，将承载部取出，翻面后再将其放入真空腔内， 延长了镀膜的加工时间；第三，要将真空腔打开两次，无法保持真空腔内的环境参数完全一 致，导致产品两面的膜层特征不一致；第四，打开真空腔时，会造成产品的清洁度下降，进而 影响产品良率。
发明内容
有鉴于此，有必要提供一种可使产品自动翻面镀膜的镀膜装置。 —种镀膜装置，其包括一真空腔，一旋转支撑组件，两个固定臂，两个翻转马达，一
承载部， 一蒸镀源及一控制器。所述旋转支撑组件可旋转地固定于所述真空腔的顶部，所述
蒸镀源对应所述旋转支撑组件设置在所述真空腔的底部，所述旋转支撑组件上设有一红外
线接收器，所述承载部上设置有一与所述红外线接收器相对应的红外线发射器。所述两个
固定臂分别固定在所述旋转支撑组件的相对两端。所述承载部可旋转的连接在所述两个固
定臂上。所述翻转马达固定在所述固定臂上，并与所述承载部相固接。所述控制器同时与
两个翻转马达及红外线接收器相电连接，用于控制翻转马达的转速，实现两个翻转马达同
步转动，同时当红外线接收器接收到红外信号之后，所述控制器可发出指令使承载部停止转动。 本发明的镀膜装置利用翻转马达使承载部自动翻面，利用分别设置在旋转支撑组 件及承载部上的红外线接收器及红外线发射器，并结合一与红外线接收器电连接的控制 器，实现对承载部翻面后的定位，因此不需打开真空腔就可使产品自动翻面，进行双面镀 膜，减少了加热和抽真空的次数，大大縮短了产品的镀膜时间。
图1是本发明第一实施方式提供的镀膜装置的结构示意图；
图2是图1的镀膜装置中的承载部翻转前的示意图；
图3是图1的镀膜装置中的承载部翻转后的示意图；
图4是本发明第二实施方式提供的镀膜装置的结构示意图。
具体实施例方式
下面将结合附图，对本发明作进一步的详细说明。 请参阅图1及图2，为本发明第一实施方式提供的一种镀膜装置100，用于对产品 200进行镀膜。所述镀膜装置100包括一真空腔110，一旋转支撑组件120，两个固定臂130， 两个翻转臂140，两个翻转马达150，一承载部170，一蒸镀源180，及一控制器190。
所述旋转支撑组件120包括一支撑架121，一旋转轴122及一旋转马达123，所述 旋转马达123固定在所述真空腔110的顶部，所述支撑架121连接在所述旋转轴122的一 端，所述旋转轴122的另一端与所述旋转马达123相连接，从而使支撑架121在旋转马达 123的带动下可在水平面内进行旋转。所述支撑架121的底部设置一红外线接收器126。
所述两个固定臂130分别平行固定在所述支撑架121的相对两端。
所述两个翻转臂140分别可旋转的连接在所述固定臂130的内侧。
所述翻转马达150包括一马达本体151及一翻转轴152，所述马达本体151可带动 所述翻转轴152转动。所述马达本体151固定在所述固定臂130上，所述翻转轴152与所 述翻转臂140相固接。 所述承载部170上有多个承载孔，用于承载所述产品200。所述承载部170位于所 述两个翻转臂140之间，且与所述两个翻转臂140的内侧相固接，从而使所述承载部170可 随着翻转臂140进行翻转。所述承载部170上与红外线接收器126相对的位置开设有一通 孔171，所述红外线发射器172贯穿于所述通孔171中。所述红外线发射器172包括相对的 两个端部173，且其可沿所述两个端部173同时向外不断发射红外信号。可以理解，当对产 品200的其中一面进行镀膜时，所述承载部170随支撑架121在水平面内进行旋转，从而可 以实现产品200镀膜的均匀性。可以理解，由于在镀膜过程中，镀膜材料也会沉积在所述红 外线发射器172的表面，但所述红外线发射器172所发出的红外信号可穿过其表面所镀的 膜层。在本实施方式中，所述承载部170为伞架结构。 所述蒸镀源180设置在所述真空腔110的底部，且与所述旋转支撑组件120相对 应。所述蒸镀源180为固态的蒸镀材料，当所述蒸镀源180被加热后，蒸镀材料就由固态变 成离子态。所述蒸镀源180通过电子束蒸镀法进行加热，即用电子束轰击蒸镀源1S0，使蒸 镀材料蒸发。在承载部170翻转的过程中，可停止电子束对蒸镀源的轰击来使蒸镀源180停 止蒸发，使蒸镀材料不能到达产品200的表面，从而保证产品200表面膜层的均匀性。或者 也可利用一挡板(未图示)将蒸镀源180遮盖住。可以理解，所述蒸镀源180的加热方法也 可以为电阻式蒸镀法，即用难熔金属制成箔状或丝状作为电阻，然后通以电流对蒸镀源180 进行加热。 所述控制器190同时与所述旋转马达123，翻转马达150，红外线接收器126及蒸 镀源180相电连接，可发出控制信号给旋转马达123，控制旋转马达123匀速转动或停止；发出控制信号给翻转马达150，使两个翻转马达150同步转动；同时红外线接收器126接收 到红外信号之后，将此信号传递给控制器190，所述控制器190发出指令让承载部121停止 转动，从而实现承载部121翻面后的定位；也可控制所述蒸镀源180的蒸发速度。在本实施 方式中，所述控制器190通过控制电子束对蒸镀源180的轰击速率来控制蒸镀源180的蒸 发速度。 如图2及图3所示，镀膜时，通过旋转马达123带动所述支撑架121转动进而带动 承载部170旋转，完成对产品200其中一表面的镀膜，然后使蒸镀源180停止蒸发，控制器 190发出控制信号使旋转马达123停止转动，支撑架121也就停止转动，控制器190发出控 制信号使翻转马达150带动承载部170随着翻转臂140进行翻转，由于承载部170上的红 外线发射器172不断发出红外信号，旋转支撑组件120上的红外线接收器126收到红外线 发射器172发出的红外信号以后，将此信息传递给控制器190，所述控制器190就发出控制 信号使翻转马达150停止转动，就实现了对产品200的翻面后的定位，同时控制器190再次 发出信号使旋转马达123开始转动，待到达正常转速后，蒸镀源180再次开始蒸发，对产品 200进行另一面镀膜。 请参阅图4，为本发明第二实施方式提供的镀膜装置300的结构示意图。本实施方 式的镀膜装置300与第一实施方式的镀膜装置主要不同点在于所述承载部370为一平板状 结构，且所述镀膜装置300不包括两个翻转臂，所述承载部370可旋转的连接在所述两个固 定臂330上，所述翻转马达350的马达主体351固定在所述固定臂330的内部，所述翻转轴 352与所述承载部370相固接。所述承载部370的平面几何中心设有一通孔371，所述红外 线发射器372贯穿嵌于所述通孔371中。镀膜过程中，翻面时，所述控制器390控制翻转马 达350，使翻转轴352转动，就可带动所述承载部370发生翻转。 本发明的镀膜装置利用翻转马达使承载部自动翻面，利用分别设置在旋转支撑组 件及承载部上的红外线接收器及红外线发射器，并结合一与红外线接收器电连接的控制 器，实现对承载部翻面后的定位，因此不需打开真空腔就可使产品自动翻面，进行双面镀 膜，减少了加热和抽真空的次数，大大縮短了产品的镀膜时间；并且可保证真空腔内的真空 参数固定，同时不会影响产品的清洁度，从而有效提高产品的良率。 可以理解的是，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术构思做 出其它各种相应的改变与变形，而所有这些改变与变形都应属于本发明权利要求的保护范 围。
权利要求
一种镀膜装置，其包括一真空腔，一旋转支撑组件，一蒸镀源及一承载部，所述旋转支撑组件固定于所述真空腔的顶部，所述蒸镀源对应所述旋转支撑组件设置在所述真空腔的底部，所述承载部用于承载产品，其特征在于，所述镀膜装置还包括两个固定臂，两个翻转马达及一控制器，所述旋转支撑组件上设有一红外线接收器，所述承载部上与所述红外线接收器对应的位置贯穿嵌有一红外线发射器，所述两个固定臂分别固定在所述旋转支撑组件的相对两端，所述承载部可旋转的连接在所述两个固定臂上，所述翻转马达固定在在所述固定臂上，并与所述承载部相固接，所述控制器同时与两个翻转马达及红外线接收器相电连接，用于控制翻转马达的转速，实现两个翻转马达同步转动，同时当红外线接收器接收到红外信号之后，所述控制器可发出指令使承载部停止转动。
2. 如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述翻转马达包括一马达本体及一翻转轴，所述马达本体可带动所述翻转轴转动，所述马达本体固定在所述固定臂上，所述翻转轴与所述承载部相固接。
3. 如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜装置还包括两个翻转臂，所述两个翻转臂分别可旋转的连接在所述固定臂的内侧，所述翻转马达的翻转轴与所述翻转臂相固接。
4. 如权利要求1或3所述的镀膜装置，其特征在于，所述旋转支撑组件可在水平面内旋转，且所述控制器与旋转支撑组件电连接，用于控制旋转支撑组件的转速。
5. 如权利要求1或3所述的镀膜装置，其特征在于，所述控制器与蒸镀源电连接，用于控制蒸镀源的蒸发速率。
6. 如权利要求4所述的镀膜装置，其特征在于，所述旋转支撑组件包括一支撑架，一旋转轴及一旋转马达，所述支撑架连接在所述旋转轴的一端，所述旋转轴的另一端与所述旋转马达相连接，从而使支撑架在旋转马达的带动下在水平面内进行旋转。
7. 如权利要求6所述的镀膜装置，其特征在于，所述红外线接收器固定在所述支撑架的底面。
8. 如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述承载部上与红外线接收器相对的位置开设有一通孔，所述红外线发射器贯穿于所述通孔中。
9. 如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述承载部为平板结构。
10. 如权利要求3所述的镀膜装置，其特征在于，所述承载部为伞架结构。
11. 如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述红外线发射器包括相对的两个端部，且其可沿所述两个端部同时向外不断发射出红外信号。
12. 如权利要求1或3所述的镀膜装置，其特征在于，所述蒸镀源通过电子束蒸镀法进行加热。
13. 如权利要求1或3所述的镀膜装置，其特征在于，所述蒸镀源通过电阻式蒸镀法进行加热。
全文摘要
一种镀膜装置，其包括一真空腔，一设有红外线接收器的旋转支撑组件，两个分别固定在旋转支撑组件上的固定臂，两个翻转马达，一设有红外线发射器的承载部，一位于真空腔的底部的蒸镀源及同时与两个翻转马达及红外线接收器电连接的控制器。所述旋转支撑组件可旋转地固定于所述真空腔的顶部。所述承载部可旋转的连接在所述两个固定臂上。所述翻转马达固定在所述固定臂上，并与所述承载部相固接。本发明的镀膜装置利用翻转马达使承载部自动翻面，利用分别设置在旋转支撑组件及承载部上的红外线接收器及红外线发射器，并结合一与红外线接收器电连接的控制器，实现对承载部翻面后的定位，因此不需打开真空腔就可对产品进行双面镀膜。
文档编号C23C14/24GK101713063SQ20081030478
公开日2010年5月26日 申请日期2008年10月8日 优先权日2008年10月8日
发明者王仲培 申请人:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司