专利名称：光罩导引装置的制作方法
技术领域：
本实用新型关于一种导引装置，其特别关于一种光罩导引 装置。
背景技术：
一般用于光罩与工件对位的定位装置，是搭配真空设备以及自动 控制设备来操作，但由于结构设计复杂之故，导致生产制造不易，制 造成本亦高，倘若机台制造加工的过程不够精准确实，将使得光罩与 工件的对位动作不够精确，使得对位效果无法符合预期的要求，造成 成品不良率提升的缺点。
一般为了防止光罩于运送过程中因晃动或其它因素产生位移，都会使用光罩盒来输送光罩，以避免光罩在输送过程中受损，按，于2006 年01月21日公告的中国台湾新型专利的1247974专利证号，名称为 r光罩定位装置J ,揭露一种定位装置，尤指使用于光罩盒内的光罩 定位装置，该光罩盒设置有座体，并于座体表面二侧设置有固定装置， 而各固定装置为凸设有可供光罩置放的抵持件，且抵持件的一侧设置 有复数限位片，而座体上方为覆盖有盖体，且盖体内为具有可容置光 罩的容置空间，而容置空间的底面二侧分別设置有定位装置，且容置 空间的一侧设置有抵持装置，俾使光罩可依定位装置及抵持装置而定 位于容置空间内。
该发明为一用于光罩盒内的定位装置，以避免光罩在运送过程晃 动碰撞而受损，然在制程中必须将光罩与工件予以精准地对位，因为 在精密制程中，些微的误差将会导致整个工件无法使用，造成供料浪 费及良率降低，因此在工件与光罩的对位上，需要辅助导引的装置， 以避免误差产生。
因此，有鉴于光罩与工件在制程中对位及定位的导引需求，本新
型的实用新型人特用心研发出 一种机构设计简单、加工制造容易的光 罩导引装置，以提升光罩与工件对位与定位的准确性。
实用新型内容
本实用新型所解决的技术问题在于提供一种光罩导引装置，适用 在薄型玻璃电路板至少 一层导电图案的溅镀制程前，将光罩与工件予 以对位及定位。
本实用新型的技术方案为该光罩导引装置包括 一光罩、 一承 载板、至少一取像模块以及至少二定位模块，其中该光罩用以溅镀导 电图案于一工件上，该光罩与工件分别设有复数个对位标记；承载板 用以承载该光罩与工件，设有至少二定位挡块，并在该承载板二侧边 各设有至少一凹陷处；该取像模块用以进行该光罩与工件的对位，设 置于该承载板的上方对应于该光罩与工件对位标记的位置；以及该定 位模块用以进行该光罩与工件的定位，分别设置于该承载板二侧的凹 陷处。
其中，该光罩的材质为一不锈钢金属板。
其中，该定位挡块为L形块体，设置于该承载板上边近角落的处， 该定位挡块之间相对的距离符合该光罩的尺寸规格。
其中，该取像模块包含 一摄影机、 一辅助光源以及一屏幕，该 摄影机电气连结于该屏幕，藉以将撷取的影像传输至该屏幕上显现出 来，该辅助光源则设置于该摄影机镜头下方，提供辅助光线以提升取 像品质。
其中，该定位^t块包含 一压板、 一压块以及一气压缸。 其中，该摄影机为电荷耦合组件(Charge-Coupled Device, CCD ) 摄影机。
其中，该压块以复数个轴体及弹性組件连结设置于该压板下方， 以固定该光罩与工件。
其中，该气压缸以活塞杆与该压板连结，以顶升、拉降该压板与 压块。
本实用新型的有益效果为本实用新型光罩与工件上所设置微小的对位标记，经由取像模块撷取对位影像，并将影像放大、输出，以 提供一个光罩与工件对位校准的机制，接着，透过定位模块将光罩与 工件暂时定位后，作业人员可在工件上放置一软磁藉以将工件固定于 光罩与软磁之间，之后，放松该定位模块，即可将光罩、工件及软磁所组成的工件组取出，进入导电图案溅镀的制程；藉此，本实用新型 在工件进入导电图案溅镀制程之前，提供了一个机构设计简单、加工 制造容易的光罩导引装置，用于光罩与工件的对位及定位，以提升制 程良率并降低供料浪费的情形。
图l说明本实用新型光罩导引装置的立体示意图2说明本实用新型光罩导引装置的光罩与工件立体分解图3说明本实用新型光罩导引装置的前视图4说明本实用新型光罩导引装置的定位模块前视图5说明本实用新型光罩导引装置的定位模块侧视图；以及
图6说明本实用新型光罩导引装置的使用状态示意图。
图号说明
l光罩导引装置 11光罩
111对位标记 12承载板
121定位挡块 13取像模块
131摄影机 132辅助光源
133屏幕 14定位模块
141压板 142 压块
1421轴体1422弹性组件
143气压缸 1431活塞杆
1432气压缸开关 15 工件
151 对位标记2 十字产生器
具体实施方式
为使熟悉该项技艺人士了解本实用新型的目的、特征及功效，兹藉由下述具体实施例，并配合所附的图式，对本实用新型详加说明，说明如后
请参考图l，说明本实用新型光罩导引装置的立体示意图，其适用 在薄型玻璃基板至少一层导电图案的溅镀制程前，将光罩与工件予以 对位及定位，该光罩导引装置l包括 一光罩ll、 一承载板12、至少 一取像模块13以及至少二定位模块14,其中该光罩11用以賊镀导电 图案于一工件15上，该光罩11与工件15分别设有复数个对位标记111、 151;该承载板12用以承载该光罩II与工件15,设有至少二定位挡块 121,并在该承载板12二侧边各设有至少一凹陷处；该取像模块13用 以进行该光罩11与工件15的对位，设置于该承载板12的上方对应于 该光罩与工件对位标记的位置；以及该定位模块14用以进行该光罩11 与工件15的定位，分别设置于该承载板12二侧的凹陷处。
如图2所示，说明本实用新型光罩导引装置的光罩与工件立体分 解图，该光罩11的材质为一不锈钢金属板，是使工件15能够镀上导 电图案以形成电路图的模具，该工件15则为一薄型玻璃基板；在该光 罩11上设有极微小精细的导电图案紋路空隙，经由真空溅镀制程可将 具有导电性的金属材料，如铜、铝等，镀在该工件15上形成电路图， 进而使该薄型玻璃基板形成玻璃电路板，成为触控面板中的重要构件； 而该光罩11设有复数个对位标记111，在本实施例中，该光罩ll为一 30 cm x 30 cm的不锈钢金属板体，在其四个角落各设有一个对位标 记lll;此外，该工件15的尺寸规格与该光罩11相仿，同样在其四个 角落各设有一个对位标记151,该光罩对位标记111与该工件对位标记 151大小仅约lmm，藉由该光罩对位标记111与工件对位标记151的 对准，即可达到该光罩11与工件15的对位，进而将电路图精准地溅 镀于该工件15上。
另外，在该承载板12上设置有至少二定位挡块121，且该定位挡 块121为L型块体，设置于该承载板12上边近角落之处，该定位挡块 121之间相对的距离符合该光罩11的尺寸规格，在本实施例中，该定 位挡块121的个数为二个并且设置于接近该承载板12上边角落之处， 该二定位挡块121之间相距的距离恰为该光罩11 一边的长度，使该光罩11放置于该承载板12时，该光罩11上边的两个角落正好座落于该 二定位挡块121 L型块体的夹角处，该光罩11即为该定位挡块121所 固定而不会任意移动。
请参考图3，说明本实用新型光罩导引装置的前视图，并请参考图 2,在该承载板12上方设置至少一取像模块13，在本实施例中，设置 二取像模块13于该承载板12上方对应于该光罩与工件对位标记的位 置，以撷取该光罩11与工件15的对位影像，该取像模块13包含一摄 影机131、 一辅助光源132以及一屏幕133，该摄影机131为一电荷耦 合組件(Charge-Coupled Device, CCD )摄影机，电气连结于该屏幕133， 藉以将撷取的影像传输至屏幕133上显现出来，以便^:作人员进行该 光罩U与该工件15的对位；另外，由于该摄影机131距离该承栽板 12较远，若仅以现场光进行影像撷取，将有现场光线不足、影像品质 不佳之虞，故在该摄影机131镜头下方设置一辅助光源132，提供辅助 光线以提升取像品质。再者，该屏幕133上另设有一十字产生器2，该 十字产生器2电气连结于该取像模块13,藉以在该屏幕133画面正中 央显现一~f"字图样，以辅助该光罩11与工件15的对位。
接着，如图4及图5所示，说明本实用新型光罩导引装置的定位 模块前视图及侧视图，在该承载板12二侧设置至少二定位模块14，在 本实施例中，设置二定位模块14分别置于该承载板12 二侧的凹陷处， 藉以将完成对位的光罩与工件进行定位的动作，该定位才莫块14包含一 压板141、 一压块142以及一气压缸143,以该承载寿反12为分界，该 压板141与压块142位于该承载板12之上，该气压缸143则位于该承 载板12之下，在本实施例中，该压板141为一T字型板体，该压块142 则为一矩形块体，并且该压块142以复数个轴体1421及弹性组件1422 连结设置于该压板141下方，藉以固定该对位完成的光罩与工件，在 本实施例中，采用二轴体1421与二弹性组件1422,其中该弹性组件 1422是一符合该轴体1421长度的弹簧，将该弹性组件1422套设于该 轴体1421之外，藉此将该压板141与压块142连结起来。并且，该气 压缸143设置于该压板141下方，经由一气压缸开关1432来控制，并 以活塞杆1431与该压板141连结，藉以顶升、^立降该压^反141及压块142
如图6所示，说明本实用新型光罩导引装置的使用状态示意图， 并同时参考图1至图5，作业人员先将光罩11放置在该光罩导引装置 1承载板12中央，该光罩11的上边角落顶住该定位挡块121,该光罩 11即由该定位挡块121所固定而不会任意移动。
接着，作业人员将工件15放置于该光罩11之上，开启该取像模 块13及十字产生器2，本实施例中设置二组取像模块13以及十字产生 器2,该二取像模块13的二摄影机131及辅助光源132分别设置在该 承载盘12上方相对于该光罩11对角的位置，此时，该摄影机131透 过该辅助光源132,撷取该光罩11与工件15对角两个对位标记111、 151的影像，并放大显示于该屏幕133上，作业人员即可透过该屏幕 133手动调整该光罩11与工件15的位置，让二者的对位标记111、 151 对准重叠，并且使该对位标记lll、 151的十字缺口对准该十字产生器 2在屏幕133上所产生的十字图样，因为对位标记lll、 151大小仅约 lmm，肉眼不易观测，故藉由该取像模块13的效能，提供了一个校准 的机制，提升作业人员进行光罩、工件对位的准确性。
请再参考图4及图5,当对位完成后，可开启一气压缸开关1432 以激活该定位模块14，进行该光罩11与工件15的定位，在本实施例 中，将二组定位模块14分别设置于该承载板12 二侧的凹陷处；当该 光罩ll与工件15在对位时，该气压缸143处于顶升状态；当对位完 成，该气压缸143使活塞杆1431缩回缸体，带动该压板141及该压块 142下降，以该压块142压制该光罩U与工件15;另外，当该压块142 压制该光罩11与工件15时，该弹性組件1422—方面提供一力道緩冲 的作用，防止下压力道过强伤害该工件15，另一方面该压块142则因 该弹性组件1422受到压缩而产生反作用力，紧压该光罩11与工件15 使其定位。
最后，当该光罩11与工件15定位完成，由作业人员取一软磁(未 图标)置于该工件15之上，该软磁尺寸规格与该工件15相仿，两侧 设有缺口处以容纳压板141,该软磁本身具有磁吸力，透过与该光罩 11之间的磁力吸附，可将该工件15夹置并固定在中间，形成一工件组；当该软磁摆放完毕，即可关闭气压缸开关1431,使该气压缸143活塞 杆自缸体内突伸出去，以顶升该压板141及压块142,此时，即可将该 光罩ll、工件15及软磁所组成的工件组自该光罩导引装置中取出，以 进入导电图案溅镀的制程。
故本实用新型的光罩导引装置，在工件进入电路图溅镀制程前提 供一个对位与定位的机制，避免因光罩与工件对位误差所产生供料浪 费的缺失，而且在此机制中不需要增设制造成本昂贵、结构设计复杂 的自动化设备，即可达到对位及定位的导引效果，惟，以上所述者， 仅为本实用新型的较佳实施例，当不能以此限定本实用新型实施的范围；故，凡依本实用新型申请专利范围及实用新型说明书内容所作的 简单的等效变化与修饰，皆应仍属本实用新型专利涵盖的范围内。
权利要求1.一种光罩导引装置，其特征在于，包括一用以溅镀导电图案于一工件上的光罩，该光罩与工件分别设有复数个对位标记；一用以承载该光罩与工件的承载板，设有至少二定位挡块，并在该承载板二侧边各设有至少一凹陷处；至少一用以进行该光罩与工件对位的取像模块，设置于该承载板的上方对应于该光罩与工件对位标记的位置；以及至少二用以进行该光罩与工件定位的定位模块，分别设置于该承载板二侧的凹陷处。
2. 如权利要求1所述的光罩导引装置，其特征在于，该 光罩的材质为一不锈钢金属板。
3. 如权利要求1所述的光罩导引装置，其特征在于，该 定位挡块为L形块体，设置于该承载板上边近角落的处，该 定位挡块之间相对的距离符合该光罩的尺寸规格。
4. 如权利要求1所述的光罩导引装置，其特征在于，该 取像模块包含 一摄影机、 一辅助光源以及一屏幕，该摄影 机电气连结于该屏幕，藉以将撷取的影像传输至该屏幕上显 现出来，该辅助光源设置于该摄影机镜头下方，提供辅助光 线以提升取像品质。
5. 如权利要求1所述的光罩导引装置，其特征在于，该 定位模块包含 一压板、 一压块以及一气压缸。
6. 如权利要求4所述的光罩导引装置，其特征在于，该 摄影机为 一 电荷耦合组件摄影机。
7. 如权利要求5所述的光罩导引装置，其特征在于，该 压块以复数个轴体及弹性组件连结设置于该压板下方，以固 定该光罩与工件。
8. 如权利要求5所述的光罩导引装置，其特征在于，该 气压缸以活塞杆与该压板连结，以顶升、拉降该压板与压块。
专利摘要本实用新型关于一种光罩导引(guide)装置，包括一光罩、一承载板、至少一取像模块以及至少二定位模块，其中该光罩用以溅镀导电图案于一工件上，该光罩与工件分别设有复数个对位标记；该承载板用以承载该光罩与工件，设有至少二定位挡块，并在该承载板二侧边各设有至少一凹陷处；该取像模块用以进行该光罩与工件的对位，设置于该承载板的上方对应于该光罩与工件对位标记的位置；以及该定位模块用以进行该光罩与工件的定位，分别设置于该承载板二侧的凹陷处。
文档编号C23C14/34GK201181390SQ20082000824
公开日2009年1月14日 申请日期2008年3月12日 优先权日2008年3月12日
发明者郑玉纶 申请人:钰衡科技股份有限公司