专利名称：可供自动取放基板的载具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种载具，特别是涉及一种用于固定基板以进入 溅镀设备中进行镀膜程序的载具。
背景技术：
参阅图1， 一般基板的载具1适用于固定该基板10以进入賊镀室 中进行镀膜程序，该载具l包括一承载板ll，及一用于固定于基板IO 周缘的定位单元12。该承载板11具有一个朝向溅镀设备的前侧面111 、 一个与前侧面111间隔的后侧面112，及一位于前侧面111上的穿孔 113,而所述定位单元12包括几片贴靠在承载板11的前侧面111的定 位片121，及几根将定位片121安装在承载板11上的螺丝122，上述 定位片121具有一个向穿孔113突出以顶抵该基板10的定位部123。
组装时先将基板IO摆放在承载板11的穿孔113内，而该基板10 的一加工面和承载板11的前侧面111平齐，再以螺丝122将定位片 121安装在承载板11上，安装后所述定位片121的定位部123会向基 板10突出，并因此将基板10架设在该承载板11的穿孔113内。
上述载具1以螺丝122将基板10以可拆解的方式安装于承载板 11上，但是在组装及取下基板10的作业中，必需多次螺转螺丝122， 因此在组装及拆解基板10的操作时很麻烦，也因拆卸麻烦的缘故，而 无法使用自动化设备取放基板10。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种易于拆卸基板以自动取放基板的 载具。
本实用新型可供自动取放基板的载具用来承载所述基板，该载具 包括 一承载板，且承载板具有一前侧面、 一后侧面，及一个贯穿前、 后侧面并界定出一穿孔的孔界定面，所述基板置放于穿孔中。其特征在于载具还包括至少一弹扣单元，且弹扣单元具有一安 装在承载板的前侧周缘并夹设所述基板周缘的弹扣件，及一由后向前 顶抵弹扣件远离所述基板的顶撑杆，该弹扣件具有一固定于承载板上
的固定段、 一由固定段向所述穿孔延伸的驱动段，及一由驱动段向基 板延伸并弹性顶抵基板周缘的夹设段，该顶撑杆顶抵该驱动段以使夹 设段向前摆动并远离基板。
本实用新型的有益效果在于借由该弹扣单元的顶撑杆轴向移动 以控制该弹扣件远离所述基板或夹设于所述基板顶缘上，以易于自动 将基板固定于承载板上或由承载板上取出，达到易于取放基板的功能。
图l是一般载具的侧面视图2是本实用新型可供自动取放的载具的第一优选实施例与一基 板的立体分解图3是该第一优选实施例的侧面剖视图，并说明一弹扣件夹设于 该基板顶缘的情形；
图4是类似于图3的视图，并说明该弹扣件被顶撑远离该基板顶 缘的情形；
图5是本实用新型可供自动取放的载具的第二优选实施例与一基 板的侧面剖视图，并说明一弹扣件夹设于该基板顶缘的情形；
图6是类似于图5的视图，并说明该弹扣件被顶撑远离该基板顶 缘的情形；及
图7是本实用新型可供自动取放的载具的第三优选实施例与一基 板的侧面剖视图。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明 参阅图2、图3与图4，本实用新型可供自动取放基板的载具的优 选实施例用来承载所述基板2以进行溅镀薄膜的程序，该载具包括 一直立的承载板3、两个安装于承载板3上以承载所述基板2底缘的 承载件4，及一安装于承载板3上以夹设于所述基板2顶缘的弹扣单元5。
该承载板3包括一前侧面31、 一后侧面32、 一个贯穿前侧面31 及后侧面32并界定出一穿孔33的孔界定面34,及两个分别由孔界定 面34上缘与下缘向穿孔33内凸伸并邻近后侧面32的抵靠凸缘35。 在本实施例中，以承载板3上具有一个穿孔33以便承载一片基板2 为例进行说明，但是实际实施时，可依据溅镀设备的容量而在一承载 板3上设置多个穿孔33以同时承载多片基板2进入賊镀设备中，因此 实施范围不以穿孔33的数量为限。
所述承载件4 一左一右地安装在承载板3下侧的抵靠凸缘35前侧 面上，且该承载件4顶侧缘上具有一开口朝上且沿横方向延伸的承载 槽41，该承载槽41用于卡合在该基板2底缘。在本实施例中，该承 载件4以螺丝固定的方式固定于该抵靠凸缘35上，但是实际实施时也 可将承载件41直接成形于该承载板3上，因此实施范围不以承载件4 固定方式为限。
该弹扣单元5安装于穿孔33上方以用于夹设所述基板2的上缘， 该弹扣单元5具有一安装在承载板3的上侧抵靠凸缘35前侧面的弹扣 件51、 一由后向前贯穿抵靠凸缘35且可前后轴向移动以顶抵弹扣件 51摆动远离基板2的顶撑杆52，及一设置于该承载板3的后侧上并驱 动该顶撑杆52向前轴向移动的驱动件53。
该弹扣件51具有一固定于抵靠凸缘35前侧的固定段511、 一由 固定段511向下延伸的驱动段512，及一顶抵基板2顶缘前侧的夹设 段513。在本实施例中，该驱动件53是一液压缸，也就是借由驱动件 53驱动该顶撑杆52如图4所示地轴向向前移动以顶抵该驱动段512， 致使该夹设段513向前摆动而远离基板2，而可借由一吸盘臂或机械 手臂(图中未示)将基板2由承载板3上取出。
由此，当该承载板3上需要安装基板2以进行溅镀时，该弹扣单 元5的驱动件53就驱动该顶撑杆52向前轴向移动，并同时顶抵该弹 扣件51的驱动段512，使该夹设段513向前摆动远离基板2的顶缘， 以方便机械手臂将所述基板2放置于该承栽板3上且基板2的底缘置放于承载件4的承载槽41中，此时，该驱动件53就可驱动该顶撑杆 52向后移动，该弹扣件51的夹设段513就如图3所示地弹性夹设于 该基板2的顶缘，该基板2就固定于该承载板3的抵靠凸缘35上，该 承载板3就可移动至溅镀设备中进行溅镀程序，溅镀完成后，该承载 板3移至溅镀设备外，就可再以该驱动件53推抵该顶撑杆52向前移 动，使该弹扣件51的夹设段513如图4所示地向前摆动而远离基板2 以将基板2由穿孔33中取出，也就是借由弹扣单元5的运转就可轻易 地自动固定基板2于承载板3上或由承载板3上取下基板2，不只可 缩短拆卸基板2的时间，也可直接应用于自动化过程中，自动取放基 板2。
参阅图5与图6，本实用新型可供自动取放的载具的第二优选实 施例的构造大致与第一优选实施例相同，其不同处在于该弹扣单元5 的驱动件53是一凸轮，借由驱动件53的转动以顶抵弹扣单元5的顶 撑杆52向前轴向移动，以及借由该弹扣件51的弹力推抵顶撑杆52 向后移动并夹设于基板2顶缘，以达到自动取放基板2的功能。本实 施例与第一优选实施例中都是以驱动件53推抵该顶撑杆52轴向移动 为例进行说明，但是实际实施时可直接将该承载板3的后侧面32靠抵 于一墙面或板面上以推抵顶撑杆52轴向向前移动，因此实施范围不以 顶撑杆52的驱动方式为限。
参阅图7,本实用新型可供自动取放的载具的第三优选实施例的 构造大致与第一优选实施例相同，其不同处在于所述基板3安装于该 承载板3的穿孔33中时，该孔界定面34卡抵于所述基板3的周缘， 以及利用多个弹扣单元5分别安装于该穿孔33的周缘，也就是以该弹 扣单元5取代该承载件4 (可见于图3)。所述基板2置放于穿孔33 中且后侧面32上下缘分别贴靠于所述抵靠凸缘35上，所述弹扣单元 5弹性顶抵于所述基板2的前侧面31周缘上，以将该基板2限位于承 载板3上，且也只需驱动该弹扣单元5就可轻易地由该承载板3上取 下该基板2，达到自动取放基板2的功能。
综上所述，本实用新型的载具借由该弹扣单元5的驱动件53推抵该顶撑杆52轴向移动以驱动该弹扣件51远离所述基板2或夹设于所 述基板2顶缘上，以易于自动将基板2固定于承载板3上或由承载板 3上取出，达到易于取放基板2的功能，所以的确非常实用与进步。
权利要求1.一种可供自动取放基板的载具，用来承载所述基板，该载具包括一块承载板，且承载板具有一个前侧面、一个后侧面，及一面个贯穿前、后侧面并界定出一个穿孔的孔界定面，所述基板置放于穿孔中；其特征在于载具还包括至少一个弹扣单元，且弹扣单元具有一个安装在承载板的前侧周缘并夹设所述基板周缘的弹扣件，及一根由后向前顶抵弹扣件远离所述基板的顶撑杆，该弹扣件具有一个固定于承载板上的固定段、一个由固定段向所述穿孔延伸的驱动段，及一个由驱动段向基板延伸并弹性顶抵基板周缘的夹设段，该顶撑杆顶抵该驱动段，并驱动该夹设段向前摆动远离基板。
2. 如权利要求1所述的可供自动取放基板的载具，其特征在于 还包括一个安装在承载板的前侧下缘处且承载所述基板下缘的承载 件，且该弹扣单元安装于承载板上缘。
3. 如权利要求1所述的可供自动取放基板的载具，其特征在于 该弹扣单元还具有一个设置于该承载板的后侧并驱动该顶撑杆向前轴向移动的驱动件。
4. 如权利要求3所述的可供自动取放基板的载具，其特征在于 该弹扣单元的驱动件是一个液压缸。
5. 如权利要求3所述的可供自动取放基板的载具，其特征在于 该弹扣单元的驱动件是一个凸轮。
6. 如权利要求2所述的可供自动取放基板的载具，其特征在于: 该承载件顶侧缘上具有一个供基板底缘架设的承载槽。
7. 如权利要求1所述的可供自动取放基板的载具，其特征在于: 该承载板还具有一个由孔界定面向穿孔内凸伸并邻近后侧面的抵靠凸 缘，该弹扣单元与承载件都安装于该抵靠凸缘上。
8. 如权利要求1所述的可供自动取放基板的载具，其特征在于: 上述弹扣单元的数量是多个，且分别安装在承载板的前侧面上并分别位于穿孔周缘处，且上述弹扣单元的夹设段延伸至穿孔前侧并弹性顶 抵基板周缘。
专利摘要一种可供自动取放基板的载具，用来承载所述基板，该载具包括一承载板、一安装于承载板上以承载所述基板底缘的承载件，及一安装于承载板上以夹设于所述基板顶缘的弹扣单元。该承载板包括贯穿前、后侧面的一穿孔。该弹扣单元包括一安装在承载板前侧上缘处的弹扣件，及一由后向前顶抵弹扣件远离所述基板的顶撑杆。本实用新型的载具借由该弹扣单元的顶撑杆轴向移动以控制该弹扣件远离所述基板或夹设于所述基板顶缘上，以易于自动将基板固定于承载板上或由承载板上取出，达到易于取放基板的功能。
文档编号C23C14/50GK201162039SQ20082000849
公开日2008年12月10日 申请日期2008年3月24日 优先权日2008年3月24日
发明者郑博仁, 黄泳钊 申请人:北儒精密股份有限公司