专利名称：温控腐蚀槽的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种化学反应槽，具体涉及一种温控腐蚀槽。
背景技术：
在化工领域，对氮氧化硅或其它物料进行腐蚀反应时需用到腐蚀槽，在对腐 蚀槽内的物料进行化学反应时需要控制其反应温度，如当腐蚀槽的温度过高， 无疑会使反应效果大受影响，而现有的腐蚀槽要么未设置相应的设施对其温度 进行控制，要么加设有昂贵的专用温控设备， 一是配置成本高，二是在该专用 设备损坏之后，需整体更换，维修成本高。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种温控腐蚀槽，在腐蚀槽温度偏低时，可及时 对腐蚀槽进行加热，以使其到合适温度，且该腐蚀槽的配置、维护成本低。
本实用新型是通过以下技术方案来实现的
一种温控腐蚀槽，包括耐酸的槽体，该腐蚀槽包括有换热水管、加热装置， 换热水管设于槽体的槽壁上，换热水管上设有进水口、出水口；加热装置上设 有加热进水管、加热出水管；所述换热水管的进水口、出水口分别与加热出水 管、加热进水管相通。
当腐蚀槽内酸液温度过低时，开启加热装置，加热装置对其内的水进行加热， 热水输入换热管并与槽体内的酸液换热，使酸液温度升高。
本实用新型的进一步结构是
该腐蚀槽还包括由压缩机、节流元件、两个换热器连接形成的换热工质循环 回路，该两个换热器中至少有一个为水侧换热器，在水侧换热器的水侧设有换 热器进水管、换热器出水管，换热水管的进水口、出水口分别所述换热器出水 管、换热器进水管相通。当腐蚀槽的温度过高时，开启压缩机，换热工质(如
氟里昂)在压缩机的作用下在两个换热器之间形成循环，水侧换热器为蒸发器， 另 一个换热器为冷凝器，换热工质在水侧换热器内蒸发而吸收热量并将水侧换 热器水侧的水冷却，该冷水输入换热水管中并与槽体中的酸液换热，酸液温度 降低而达到合适温度。该结构中，加热进水管、加热出水管以及换热器进水管、
换热器出水管与同一换热水管连接，也可分别与各自的换热水管连接，即
所述换热水管为两个，其上均设有进水口、出水口，且其中一个所述换热水
管的进水口、出水口分别与换热器出水管、换热器进水管相通，另一个所述换
热水管的进水口、出水口分别与加热出水管、加热进水管相通。
所述换热管可以_没于槽体的内壁，以增强其换热效果，^旦此时所述换热管应
为耐腐蚀管，也可将所述换热管设于槽体的外壁，避免换热管被槽体内的酸液
腐蚀，使用寿命长。
图l是本实用新型实施例一的结构图； 图2是本实用新型实施例二的结构图； 附图标记说明
1、槽体，2、换热水管，3、进水口， 4、出水口， 5、压缩机，6、节流元件， 7、水侧换热器，8、风侧换热器，9、换热器进水管，10、换热器出水管，11、 加热装置，12、加热进水管，13、加热出水管。
具体实施方式
实施例一
如图1所示， 一种温控氮氧化硅腐蚀槽，包括耐酸的槽体l，槽体l采用石 英材料或其它耐酸材料，在槽体1的外壁设有换热水管2,换热水管2上设有进 水口 3、出水口 4;该腐蚀槽还包括加热装置11及由压缩机5、节流元件6、两 个换热器连接形成的换热工质循环回路，该两个换热器中一个为水侧换热器7、 另一个为风侧换热器8，在水侧换热器7的水侧设有换热器进水管9、换热器出 水管10;加热装置11上设有加热进水管12、加热出水管13;换热水管2的进
水口 3同时与换热器出水管10、加热出水管13相通，出水口 4同时与换热器进 水管9、加热进水管12相通。
本实施例中，当槽体1内酸液温度偏低时，加热装置11开启并通过其相应 的换热水管2对槽体1内的酸液进行加热，当槽体1内酸液温度偏高时，关闭 加热装置11及其相应的换热水管2，压缩机5开启，换热工质依次流经压缩才几 5高压端、风侧换热器8、节流元件6、水侧换热器7、压缩机5低压端，水侧 换热器7制冷，其水侧的冷水输入换热水管2中用于对槽体1内的酸液冷却， 以保持槽体l内酸液的温度恒定。
实施例二
如图2所示，本实施例中，换热水管2为两个，其中一个换热水管2的进水 口 3、出水口 4分别与换热器出水管10、换热器进水管9相通，另一个换热水 管2的进水口 3、出水口 4分别与加热出水管13、加热进水管12相通。即在对 腐蚀槽加热、冷却时，分别通过不同的换热水管2，其原理与实施例一相同。
权利要求1.一种温控腐蚀槽，包括耐酸的槽体，其特征在于，该腐蚀槽包括有换热水管、加热装置，换热水管设于槽体的槽壁上，换热水管上设有进水口、出水口；加热装置上设有加热进水管、加热出水管；所述换热水管的进水口、出水口分别与加热出水管、加热进水管相通。
2. 如权利要求1所述温控腐蚀槽，其特征在于，该腐蚀槽还包括由压缩机、 节流元件、两个换热器连接形成的换热工质循环回路，该两个换热器中至少有 一个为水侧换热器，在水侧换热器的水侧设有换热器进水管、换热器出水管， 换热水管的进水口、出水口分别所述换热器出水管、换热器进水管相通。
3. 如权利要求2所述温控腐蚀槽，其特征在于，所述换热水管为两个，其 上均设有进水口、出水口，且其中一个所述换热水管的进水口、出水口分别与 换热器出水管、换热器进水管相通，另一个所述换热水管的进水口、出水口分 别与加热出水管、加热进水管相通。
4. 如权利要求1至3中任一项所述温控腐蚀槽，其特征在于，所述换热管 设于所述槽体的外壁。
5. 如权利要求1至3中任一项所述温控腐蚀槽，其特征在于，所述换热管 为耐腐蚀管，设于所述槽体的内壁。
专利摘要本实用新型公开了一种温控腐蚀槽，包括耐酸的槽体，该腐蚀槽包括有换热水管、加热装置，换热水管设于槽体的槽壁上，换热水管上设有进水口、出水口；加热装置上设有加热进水管、加热出水管；所述换热水管的进水口、出水口分别与加热出水管、加热进水管相通。本实用新型可对腐蚀槽的温度进行控制，且制造、维护成本低。
文档编号C23F1/08GK201178093SQ20082009334
公开日2009年1月7日 申请日期2008年4月15日 优先权日2008年4月15日
发明者峰 尚, 钟建国 申请人:深圳深爱半导体有限公司