专利名称：一种具有线性真空动密封及x射线防护功能的连续真空过渡室的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种连续真空过渡室，具体是一种具有线性真空动密封及x
射线防护功能的连续真空过渡室。
背景技术：
大部分的电子束加工装置，是将被加工件封闭在一个独立的密闭真空仓内进行的。这种装置在每次加工完一件或一批工件后要放大气将工件取出，然后装入新的工件后再抽真空，达到电子束加工所需的工作真空后再进行加工，工作效率低。
部分电子束连续加工装置/生产线，如连续电子束钢带真空镀膜生产线，采用了压辊式的连续动密封方式，由于安装压辊需留出支撑位置，因此留出的漏隙大，真空动密封效果不好，真空泵的负荷很大，需采用大功率真空泵来维持所需的工作真空，并且真空泵容易损坏。
对于连续运行的电子束加工真空设备，特别是对于60KV以上的高压电子束加工设备，X射线的防护会因为必须留出连续运行的进出口而变得较困难。
实用新型内容
本实用新型目的是要提供一种具有线性真空动密封及X射线防护功能的真空过渡室，它能在带状金属材料连续运行过程中，保证真空工作室的真空度/压力达到O. 5-lPa，并使得在材料进出口处的X射线剂量达到国家规定的安全剂量。
实现本实用新型目的的技术方案是
本实用新型连续真空过渡室由过渡室箱体、设置在过渡室箱体内的两套以上的线性动密封装置、箱体两端的导向装置、真空抽气管管道、铅挡板、铅挡板支架和设置在过渡室箱体外的防护铅组成。线性动密封装置又由可调式法兰密封框架、盖板、上下密封压板、上下密封压块组成。上下密封压板的内侧与带状金属的形状匹配，上下密封压板之上为弹性材料的上下密封压块，密封压块压紧在密封压板上，形成真空密封的线性动密封通道。这样的密封通道设置2级以上。动密封装置之间设置有带铅板的上下错开的X射线防护铅挡板，防护铅档板设置在铅挡板支架上，真空过渡室外包有防护铅，真空抽气管与真空泵相连。
本真空过渡室的工作过程是外侧导向装置对带状金属材料起定位导向作用，生产线上的牵引机使金属材料在过渡室前进，经过2级以上的线性动密封装置、密封通道将大气压逐渐降低，使带状金属材料在运行过程中实现连续真 空气锁，通过抽气管抽气能使在带状金属连续通过的状况下，箱内的真空度达
到0. 5-lPa。过渡室内的X射线防护铅档板及过渡室外的防护铅层可使X射线衰 减到安全剂量以下。
本实用新型的优点是在电子束加工设备的真空室左右两侧各装一套导向装
置，在真空室内设置2级以上的线性动密封，能在带状金属材料连续通过的运 行状态下，保证真空工作室的真空度/压力达到0.5-lPa;进出口处X射线剂量 达到安全剂量，真空泵的负荷较小，能保证真空设备长期连续稳定地运行。这 种连续运行的电子束加工设备工作效率高。
图1为本实用新型连续真空过渡室结构示意图。
图中l.过渡室箱体2.过渡室内的线性动密封装置2-L可调式法兰密封 框架 2-2.盖板 2-3.上下密封压板 2-4.上下密封压块3.箱体两端的 导向装置4.真空抽气管管道5.铅档板6.铅档板支架7.过渡箱外的防护 铅8.带状金属具体实施方式
本实用新型连续真空过渡室由过渡室箱体1、过渡室内的线性动密封装置2、 可调式法兰密封框架2-1、盖板2-2、上下密封压板2-3、上下密封压块2-4、 箱体两端的导向装置3、真空抽气管管道4、铅档板5、铅档板支架6、过渡箱 外的防护铅7组成，上下密封压板2-3用摩擦系数小的材料制成，上下密封压 板2-3的内侧与带状金属8的形状匹配，上下密封压板2-3之上为弹性材料制 成的上下密封压块2-4，密封通道设置2级以上，形成线性动密封装置2，在线 性动密封装置2之间设置带铅板的上下错开的X射线铅档板5，铅档板5设置在 铅档板支架6上，过渡室箱体1外设置防护铅7，真空抽气管管道4与真空泵连 通。
权利要求1、一种具有线性真空动密封及X射线防护功能的连续真空过渡室，其特征是它由过渡室箱体(1)、设置在过渡室箱体(1)内的两套以上的线性动密封装置(2)、设置在过渡室箱体(1)两端的导向装置(3)、真空抽气管管道(4)、铅挡板(5)、铅挡板支架(6)和设置在过渡室箱体(1)外的防护铅(7)组成。
2、 根据权利要求1所述的一种具有线性真空动密封及X射线防护功能的连 续真空过渡室，其特征是线性动密封装置由可调式法兰密封框架(2-1)、盖 板(2-2)、上下密封压板(2-3)、上下密封压块(2-4)组成，上下密封压板(2-3) 的内侧与带状金属(8)的形状匹配，上下密封压板(2-3)之上为弹性材料的 上下密封压块(2-4)，密封压块(2-4)压紧在密封压板(2-3)上，形成真空 密封的线性动密封通道。
3、 根据权利要求2所述的一种具有线性真空动密封及X射线防护功能的连 续真空过渡室，其特征是所述的线性动密封通道设置2级以上。
4、 根据权利要求1所述的一种具有线性真空动密封及X射线防护功能的连 续真空过渡室，其特征是所述的铅档板(5)上下错开设置。
专利摘要本实用新型公开了一种具有线性真空动密封及X射线防护功能的连续真空过渡室，其特征是它由过渡室箱体、设置在过渡室箱体内的两套以上的线性动密封装置、箱体两端的导向装置、真空抽气管管道、铅挡板、铅挡板支架和设置在过渡室箱体外的防护铅组成；线性动密封装置的上下密封压块压紧在密封压板上，形成真空密封的线性动密封通道；动密封装置之间设置有带铅板的上下错开的X射线防护铅挡板，真空过渡室外包有防护铅，真空抽气管与真空泵相连。本实用新型的优点是能在带状金属材料连续通过的运行状态下，保证真空工作室的真空度/压力达到0.5-1Pa；进出口处X射线剂量达到安全剂量，真空泵的负荷较小，真空设备长期连续稳定地运行，加工设备工作效率高。
文档编号C23C14/56GK201276593SQ20082011351
公开日2009年7月22日 申请日期2008年10月30日 优先权日2008年10月30日
发明者宋宜梅, 李少林, 黄以平 申请人:桂林实创真空数控设备有限公司