专利名称：金属离子注入设备内动态水冷系统的制作方法
技术领域：
本发明具体涉及一种用于真空设备内动态状况下冷却的金属离子注入 设备内动态水冷系统。
背景技术：
现有的金属离子注入设备工件转动装置只能进行公转和自转，没有水 冷却功能。其缺点是工件在实施离子注入的过程中形成温升，使轻薄型工件因温度的升高 而产生形变和降低表面硬度，导致工件精度和机械性能的大幅降低。
发明内容
本发明的目的是提供一种工件装卸方便、定位准确灵活、工件不变形、 能提高表面硬度和耐磨度的、具有水冷功能的一种金属离子注入设备内动态水冷系统。本发明的技术方案是一种金属离子注入设备内动态水冷系统，真空室下端外侧 依次设有中心转轴装置和侧边驱动装置，中心转轴装置是由轴承支撑的中心转轴、套装于 轴上的内套和固定于真空室的外套组成，外套与内套之间设轴承和密封圈；侧边驱动装置 是由轴承、固定座支撑的侧边驱动轴和轴上端设有的驱动齿轮组成，轴的下端设有碰头与 固定于真空室上的限位开关相配合；驱动齿轮与支撑架支撑的大齿轮环相啮合，大齿轮环 圆周上设有多个工件托盘装置；所述的工件托盘装置是由固于大齿轮环圆周上的工件托盘 和小传动齿轮组成，工件托盘上设有的小传动齿轮与中心轴上端设有中心齿轮相啮合；其 特征是外套外侧设有进、出水口，通过内套的进、出水孔及进出水管与工件托盘内腔体相 连通，又通过串联水管使多个工件托盘相连通。由于采用上述技术方案，转动架采用支撑和中心定位装置，实现上下盘的分离，通 过侧边的驱动使转动架公转，依靠定位装置使工件托盘逐个对准离子注入源，再通过中心 轴的驱动使工件托盘自转。工件托盘可以逐个定位自转，在注入的过程中工件托盘内腔持 续有冷却水循环，对工件进行其冷却。因而具有工件装卸方便、定位准确灵活、工件不变形、 能提高表面硬度和耐磨度、具有水冷功能的优点。
以下结合附图
和具体实施来对本发明的技术方案做进一步详细说明。附图是本发明结构示意图。
具体实施例方式参考附图，一种金属离子注入设备内动态水冷系统，真空室12下 端外侧依次设有中心转轴装置和侧边驱动装置，中心转轴装置是由轴承支撑的中心转轴 10、套装于轴上的内套13和固定于真空室的外套14组成，外套14与内套13之间设轴承和 密封圈11 ；侧边驱动装置是由轴承、固定座15支撑的侧边驱动轴4和轴上端设有的驱动齿 轮16组成，轴的下端设有碰头17与固定于真空室上的限位开关18相配合；驱动齿轮16与 支撑架2支撑的大齿轮环1相啮合，大齿轮环1圆周上设有多个工件托盘装置；所述的工件 托盘装置是由固于大齿轮环1圆周上的工件托盘3和小传动齿轮6组成，工件托盘3上设 有的小传动齿轮6与中心轴上端设有中心齿轮5相啮合；外套14外侧设有进、出水口 19、 20，通过内套13的进、出水孔及进出水管7、9与工件托盘3内腔体相连通，又通过串联水管 8使多个工件托盘3相连通。
权利要求
一种金属离子注入设备内动态水冷系统，真空室(12)下端外侧依次设有中心转轴装置和侧边驱动装置，中心转轴装置是由轴承支撑的中心转轴(10)、套装于轴上的内套(13)和固定于真空室的外套(14)组成，外套(14)与内套(13)之间设轴承和密封圈(11)；侧边驱动装置是由轴承、固定座(15)支撑的侧边驱动轴(4)和轴上端设有的驱动齿轮(16)组成，轴的下端设有碰头(17)与固定于真空室上的限位开关(18)相配合；驱动齿轮(16)与支撑架(2)支撑的大齿轮环(1)相啮合，大齿轮环(1)圆周上设有多个工件托盘装置；所述的工件托盘装置是由固于大齿轮环(1)圆周上的工件托盘(3)和小传动齿轮(6)组成，工件托盘(3)上设有的小传动齿轮(6)与中心轴上端设有中心齿轮(5)相啮合；其特征是外套(14)外侧设有进、出水(19、20)，通过内套(13)的进、出水孔及进出水管(7、9)与工件托盘(3)内腔体相连通，又通过串联水管(8)使多个工件托盘(3)相连通。
全文摘要
本发明具体涉及一种用于真空设备内动态状况下冷却的金属离子注入设备内动态水冷系统。其特征是外套外侧设有进、出水口，通过内套的进、出水孔及进出水管与工件托盘内腔体相连通，又通过串联水管使多个工件托盘相连通。因而具有工件定位准确、束斑范围内注入离子均匀、工件温升小、几何形状稳定，保证工件表面硬度和耐磨性等优点。
文档编号C23C14/48GK101886250SQ200910015430
公开日2010年11月17日 申请日期2009年5月15日 优先权日2009年5月15日
发明者栾庚祖, 王桂岳, 赵松强 申请人:龙口市比特真空技术有限公司