有机el器件制造装置及其制造方法以及成膜装置及成膜方法

专利名称：有机el器件制造装置及其制造方法以及成膜装置及成膜方法
技术领域：
本发明涉及有机EL器件制造装置及其制造方法以及成膜装置及成膜方 法，尤其涉及适合于搬运大型衬底并用蒸镀法制造的有机EL器件制造装置及 其制造方法。
背景技术：
作为显示器件有机EL器件受到重视，作为其制造的有力的方法有真空蒸 镀法。为了制造有机EL器件，不仅是形成发光材料层(EL层)并用电极夹住 该层的结构，而且，为了在阳极上形成正孔穴注入层及输送层，在阴极上形成
EL器件制造装置采用将具有多个处理室的设备组多个相连的结构。作为这样 的现有技术有专利文献l一日本特开2003-027213号公报记载的内容。
然而，就现有的设备组结构而言，由于将各处理部配置成辐射状，并且为 了使设备组间的各处理部互不干涉而分离配置，需要加长各设备组间的距离， 存在作为整个生产线增长的问题。尤其是从过去到现在显示器件所使用的衬底 尺寸也达到1500mm x 1850mm,生产线的长度也越来越长。另外，辐射状的配 置在设备组及处理部之间形成无用空间而使空间效率恶化。
另外，本发明所谓的"设备组"是指具有设置在搬运衬底的方向的至少一 侧的多个衬底处理部和衬底搬入4般出部。

发明内容
因此，本发明的第一目的是提供一种能缩短生产线的长度的有机EL器件
制造装置或其制造方法或者成膜装置或成膜方法。
本发明的第二目的是提供一种具有设备组结构，且空间效率高的有机EL
器件制造装置或/及其制造方法或者成膜装置或成膜方法。
为了达到上述目的，本发明的第一特征是，在具有作为真空室的设备组，
5该设备组具备具备将蒸镀材料蒸镀在衬底上的处理部的真空处理室，将上述衬底搬入或搬出的交接室，以及将上述衬底在上述交接室和上述多个处理室之
间进行搬运的搬运机构的有机EL器件制造装置中；在一个上述真空处理室或多个上述真空处理室中设置多个上述处理部，将上述多个处理部中的至少两个以上的处理部邻接配置在上述搬运机构的 一侧。
为了达到上述目的，本发明的第二特征是在上述第一特征的基础上，具有多个上述设备组，上述多个设备组串联地呈直角连接。
再有，为了达到上述目的，本发明的第三特征是，将衬底从搬入负载室搬入，借助于具有具备多个处理部的至少一个真空室的设备组，向搬出负载室搬出，在上述真空室将蒸镀材料蒸镀到上述衬底上，在上述搬运的过程中，对上述搬运衬底的搬运角度进行修正。
另外，为了达到上述目的，本发明的第四特征是在上述第一至第三特征的任何一个的基础上，上述设备组具有两个设置了多个进行相同处理的上述处理部的上述真空处理室。
为了达到上述目的，本发明的第五特征是在上述第四特征的基础上，将上
上述衬底之后，在与第一处理部点对称的位置的第二处理部进行处理。本发明的效果是，
根据本发明，能够提供能具有设备组结构，能缩短生产线的长度的有机
EL器件制造装置或其制造方法或者成膜装置或成膜方法。
另外，根据本发明，能够提供具有设备组结构，且空间效率高的有机EL
器件制造装置或其制造方法或者成膜装置或成膜方法


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图1是表示本发明的实施方式的有机EL器件制造装置的图。
图2是表示本发明的实施方式的搬运室2和处理室1的结构的概要的图。
图3是本发明的实施方式的搬运室和处理室的结构的示意图及动作说明
图。 .
图4是说明角度修正机构的必要性的图。
图5是表示本发明的第 一实施方式的角度修正机构的第 一实施例的图。图6是表示本发明的第 一 实施方式的角度修正机构的第二实施例的图。图7是表示本发明的第一实施方式的处理室1的处理流程的图。
图8是表示图。
图9是说明本发明的第三实施方式的图。图中
1-处理室，lbu-真空蒸镀室，2-拍殳运室，3-负载设备组，4-交接室，4H-角度修正机构，4D-交接室的放置台，4P-交接室的衬底支撑轴销，5-搬运机械手，6 -衬底，7 -蒸镀部，8 -对准部，9 -处理交接部，10 -闸阀，ll-隔板，31-负载室，81-影孔板，71-蒸发源，100-有机EL器件的制造装置，A—D-设备组。
具体实施例方式
使用图l一图7说明本发明的第一实施方式。有机EL器件制造装置不仅是形成发光材料层(EL层)并用电极夹着的构造，而且形成将在阳极上形成正孔穴注入层及输送层，在阴极上形成电子注入层及输送层等各种材料做成薄膜结构的多层构造，或者进行衬底的清洗。图1表示的是该制造装置的一个例子。
本实施方式的有机EL器件制造装置100大致由以下部分构成搬入处理对象的衬底6 (以下筒称为"衬底，，)的负载设备组3,处理上述衬底6的四个设备组A—D,设置在两个设备组间或者设备组与负载设备组3或下一工序(密封工序)之间的五个交接室4。在下一工序的后方至少还有用于运出衬底的如后述的负载室31那样的卸载室(未图示)。
负载设备组3由为在前后维持真空而具有闸阀10的负载室31和从上述负载室31的接收衬底6，回旋后再将衬底6搬入交接室4的搬运机械手5R构成。各负载室31和交接室4在前后具有闸阀10,在控制该闸阀1G的开闭而维持真空的同时，对负载设备组3或下一个设备组等交接衬底。
有机EL器件制造装置IOO相对于图1的箭头所示的搬运方向串联地配置各设备组，各设备组具有长方形或正方形的形状而非辐射状形状。各设备组A—D具有具有一台搬运机械手5搬运室2,以及从搬运机械手5接收衬底，进行规定的处理并在图面上上下配置的两个处理室1 (第一后标a—d表示设备组，第二后标U、 d表示上侧下侧。在以下用英文字母的后标中，小写字母 表示场所，大写字母表示构成要素)。在各处理室中具有相对于箭头所示的搬
运方向平行地配置的两个处理部。例如，作为真空蒸4t室的处理室lbu具有处 理部lbuL和lbuR。在另一处理室也同样。在图1中由于标号变得复杂，因而 只标注了处理室lbu和led等而未标注后标L (左侧)、R (右侧)。在搬运室2 和各处理室1的各处理部设有闸阀10。
图2表示搬运室2和各处理室1的结构的概要。处理室1的结构随处理内 容而不同，以在真空中蒸镀发光材料而形成EL层的真空蒸镀室lbu位例子进 行说明。图3是该搬运室2b和真空蒸镀室lbu的结构的示意图及动作说明图。 图2的搬运机械手5是整体可上下移动(参照图3的箭头53)的，具有可左 右回旋的联杆构造的臂51，其前端具有两条上下分位两层的衬底搬运用的梳 齿状手52。通过做成上下两层，可以将上层用来搬入，下层用来运出，可以 用 一个动作来同时进行搬入运出的处理。做成两只手还是一只手根据处理内容 决定。在以后的说明中，为使说明简单而以一只手为例进行说明。
另一方面，真空蒸镀室lbu大致由以下部件构成使发光材料蒸发而蒸镀 在衬底6上的蒸镀部，蒸镀在衬底6的必要部分上的对准部8,以及进行搬运 机械手5与衬底的交接，并使衬底6向蒸镀部7移动的处理交接部9。在对准 部8和处理交接部9设有在左侧处理部的8L、 9L，在右侧处理部的8R、 9R。 处理交接部9可以与搬运机械手5的梳齿状手52不干涉地交接衬底6，并具 有梳齿状手91和衬底面控制机构92;该梳齿状手91具有固定衬底6的机构 94,而该衬底面控制机构92使上述梳齿状手91回旋而使衬底6直立并移动到 对准部8或蒸镀部7且与其面对。作为上述固定机构，考虑到在真空中而使用 电磁吸附或夹紧机构等。
对准部8具有图2所示的对准驱动部83,该对准驱动部83用由图8所示 的掩模81M、框架81F构成的影孔板81和衬底上的对准标记84进行衬底6与 影孔板81的对位。
蒸镀部7具有使蒸发源71沿着轨道76上向上下方向移动的上下驱动机构 72,使蒸发源71沿着轨道75上在左右的对准部间移动的左右驱动底座74。 蒸发源71在内部具有昨为蒸镀材料的发光材料，通过加热控制上述蒸镀材料
8(未图示)而可以得到稳定的蒸发速度，如图3引出的局部放大视图所示，做
成从呈线状并列的多个喷嘴73喷射的构造。根据需要，为了得到稳定的蒸镀，
对添加剂也同时进行加热和蒸镀。
在以上的本实施方式中，搬运机械手5为了尽可能简化真空中具有的机 构，其以整体的上下移动，底座部的旋转及使梳齿状手52辐射状伸缩的三个 自由度构成。于是，如图4所示，若将衬底6如虚线所示平行地搬入到交接室 4b，搬运机械手5 b将衬底6以其原状向处理交接部9buL搬运，则衬底6以 相对处理交接部9buL具有某个角度aL的状态倾斜地设置。为此，则需要进 行如下的处理U)如图4的实线所示，在搬运系统中对上述的角度aL进行 修正，从而使长方形的衬底6相对处理交接部9buL平行地重合；或(2 )增加 搬运机械手5的自由度；或(3 )在蒸镀部修正。
首先，说明(1)的本实施方式。于是，在上述实施方式的说明中，其中 构成搬运系统的是负载设备组3的负载室31，搬运机械手5R,交接室4,搬 运室2的搬运机械手5及处理室1的处理交接部9。至少需要在其中任何一处 修正。但是，真空室内需要尽可能做成简单的构造，最好是在负载室31或交 接室4进行修正。由于负载室31和交接室4的构造基本上是相同的，因而以 交4妻室4为例i兌明。
图5是表示作为角度修正机构的第一实施例的交接室的角度修正机构的 图。图5 (a )是从上方见到的将搬运机械手5的梳齿状手52插入到交接室4 中时的立体图，图5 (b)表示的是交接室4的侧视图。
交接室4具有设置在两侧的衬底搬入搬出口的闸阀101、 10E,具有多 个支撑销4P的放置台4D及角度修正机构4H;上述角度修正机构4H由以下部 件构成支撑放置台4D的放置台支撑部4S，使上述放置台支撑部4S左右旋 转的旋转驱动电动机4KM，以及密封放置台支撑部4S的磁密封部4J。
在这种机构中，如图5 (a)的虚线所示，在设备组A的搬运机械手5a将 衬底6以与其放置台平行的状态放置在未旋转状态的放置台4D上之后，假定 搬运机械手5b以与图4的所示的处理交接部9buL重合的方式搬运的场合。这 时，如上所述，只要从搬运机械手5b观察以使衬底6向右旋转aL度的状态 搬运到处理交接部9buL即可。若观察该动作的流程则为，首先，在关闭闸阀10E的状态下打开闸阀101,
利用搬运机械手5a的梳齿状手52a从闸阀的开口部10IK搬入衬底，放置在放 置台4D上。上述梳齿状手52a退出后，在关闭阀体10IB的同时，利用上述角 度修正机构4H使放置台4D向右旋转cxL度。然后，打开闸阀10E,从其开口 部10EK插入搬运机械手5b的梳齿状手5 2b,将衬底6抬起取出。搬运机械手 5a将其底座向处理交接部9buL的方向旋转，在调节联杆长度的同时并将衬底 6放置到处理交接部9buL上。
在以上的说明中，虽然说明的是以与交接室4平行的状态搬入衬底6并设 置在放置台4D上的情况，但在衬底6以角度(3设置的场合，则以衬底6相对 于梳齿状手52b的角度为aL的方式控制放置台4D的角度。
在本实施例中，在放置台4D进行了角度修正之后，以使搬运机械手5b 不会与支撑销4P干涉，可以插入到放置台4D和衬底6之间的方式来决定支撑 销4P的粗细、间隔及梳齿状手52的梳齿的根数、宽度等。在图5 (a)中， 用实线表示角度修正后的衬底6及该时的支撑销4P的状态，虚线表示角度修 正前的状态。
图6是表示交接室4的角度修正机构的第二实施例的图。 在第一实施例中，搬运机械手5b的搬入区域、即搬入角度aL等受到上 述支撑销4P的大小的限制。如下文所述，当各设备组的结构相同，搬运的衬 底的大小一定的场合，可以使角度aL等保持一定。在这种情况下，第一实施 例因机构简单而较佳。但是，若不是这种情况，第一实施例将受到许多制约。 因此，第二实施例的角度修正机构4H具有不让放置台4D旋转而只使衬底6 旋转的机构。其结果，搬运机械手5b的搬入轨迹的形状不变，无论什么样的 角度都能对应，能减小梳齿状手52b的宽度值，能加宽其能进行处理的衬底尺 寸。
图6中，角度修正机构由以下部件构成支撑销4P,固定了上述支撑销 的支撑销旋转台4KD,借助于旋转台支撑部4SJ使上述支撑销旋转台4KD左右 旋转的驱动电动机4KM，以及使上述支撑销旋转台4KD上下移动的上下驱动电 动机4JM。另外，4V是对旋转台支撑部4SS的上下移动进行密封用的波紋管。 另一方面，放置台4D是固定的，其横截面如图6(a)所示，具有支撑衬底6
10的凸部4DT。并且，在放置台4D上具有相对将支撑销4P做成能旋转的各支撑 销或支撑销组能活动的可动槽4SK。
在这种机构中，首先，搬运机械手5 a进入到交接室4b中，将衬底6放 置到放置台4D的凸部4DT上。这时，支撑销4P与支撑销旋转台4KD—起处于 最下位的位置。其后，使支撑销旋转台4KD上升，用支撑销4P支撑衬底6， 使支撑销旋转台4KD旋转所希望的角度，例如ccL角，在该状态下使支撑销旋 转台4KD下降，将衬底6放置到放置台4D上。随后，使搬运机械手5b进入， 把持衬底6而将其从交接室4b搬出。
如以上那样，在本实施例中，就搬运机械手5b而言，无论什么样的角度， 总是能将放置台4D的凸部4DT间作为搬出路径。另外，在本实施例中，虽用 细长的凸部4DT承载衬底6，但也可图用配置成直线状的支撑销承载衬底6。
如以上说明的那样，根据本实施方式，通过在交接室设置衬底的搬运角度 的角度修正机构，可以串联连接具有长方形的处理室大设备组构造的，可以提 供能缩短整个生产线的长度的有机EL器件制造装置或其制造方法。
以提供空间效率高的有机EL器件制造装置或其制造方法。
在以上的说明中，是按着例如不考虑ccR、 ccL的关系来进行说明的。 因此，只要在各交接室4设置角度修正机构，就能与各设备组或各处理室
的尺寸或衬底尺寸相地应。
在这一系列的处理中，如图3所示，在图1的各处理室彼此或一个处理室
中，可以将多个处理部彼此做成相同的形状、相同的配置。
例如，在图l的实施方式中，设备组A—D是相同的形状、相同的配置，
而且，配置在各设备组的上下的两个处理室相对于搬运方向还是线对称，并且
机械手5配置在搬运室，勉强地说配置在设备组的中心位置。其结果，图4 的ccR、 aL则为aR=-ccL=a ，在处理室lbd中则为与处理室lbu交叉的关系， 在处理交接部9bdR取a的值，而在处理交接部9bdL取-a的值。
于是，首先第一，交接室4的角度修正机构若处理相同尺寸的衬底，则不 必取连续的值，只要取一定角度± a这两个值的值即可。在这种情况下，第一实施方式的第一实施例变得有效。 ，
该场合，在同 一设备组内将衬底6从具有CX (或-a)的处理交接部搬运
到具有-a (或a )的处理交接部时，需要在该设备组相接的交接室4进行角 度修正。
图l所示的实施方式中，如下文所述，在同一处理室内的两个处理部的处 理是相同的。因此，在同一设备组内，则为将衬底6从具有a (或-a)的处 理交接部搬运到具有a (或-a)的处理交接部。再有，各设备组的修正角度 若以士oc是相同的，则某些衬底都以修正角度a ，而其它的衬底都以修正角度 -a进行从有机EL器件制造装置100的搬入口到搬出口的处理、搬运。这种情 况下，只要尽可能在上游侧进行一次角度修正即可，只要上述前提条件没有变 化就无需在下游进行角度修正。当然，在上述前提条件没有变化时需要设置角 度修正机构。
作为本实施方式的候补的是负载室31和交接室4a。负载室31虽可以设 置与交接室同样的机构，但在将衬底6搬入负载室31时，也可以使其预先具 有土a的角度搬入。另外，在负载室31中，不是按每个衬底搬入，只要是按 容纳多片的盒单位搬入，可以在上侧的负载室31配置具有a的角度的盒，而 在下侧的负载室31配置具有-a的角度的盒。
根据本实施方式，由于能并列地具有两条生产线，因而生产线总长从表观 上看有时也加长，但就相对于生产量的单位长度而言，与过去比较仍能缩短。
其次，对(2)的有关增加搬运机械手的自由度的方法的实施方式进行说明。
设置使图5所示的搬运机械手5的梳齿状手52左右旋转的自由度。例如， 对于梳齿状手52的联杆连接部52 J设置其自由度。虽然最好不要新设置在真 空室内移动的机构，但仍能起到与上述第一实施方式相同的效果。
在说明用(3)的蒸镀法进行修正的方法之前，使用图7说明从图l到图 3所示的处理室1将在交接室5或其上游将经角度修正后的衬底6搬入处理交 接部9，进行真空蒸镀，直到搬出的处理流程。经本流程处理后，如上所述， 搬运到位于同 一设备组的对角线上的处理部进行同样的蒸镀处理。
本实施方式的真空蒸镀处理的基本方案是，将上表面作为蒸镀面进行搬运的衬底6垂直地立起，搬运到对准部8，进行蒸镀。若搬运时衬底6的下表面 为蒸镀面则需要将其翻转，由于上表面是蒸镀面而只要垂直地立起即可。
下面，参照图3使用图7详细说明本实施方式的真空蒸镀处理流程。图3 中用实线表示衬底6存在的位置。
首先，在R生产线，搬入衬底6R，将衬底6R垂直地立起并移动到对准部 8,进行衬底6R和影孔板81的对位(从步骤Rl至步骤R3 )。这时，衬底由于 是将蒸镀面朝上进行的上表面搬运，因而不用翻转等就能立即进行对位。对位 如图3的引出图所示，用CCD摄像机86摄像，通过用上述对准驱动部83控制 影孔板81R来进行，从而使设置于衬底6上的对准标记84达到设置于掩模81M 的窗口85的中心。本蒸镀若用发红色光(R)的材料，则如图8所示，在与掩 模81M的R对应的部分有窗口，则对该部分进行蒸镀。该窗口的大小按照颜色 不同平均为宽度50jum，高度150jam左右。掩模81M的厚度为0 p m,今后有 进一步减薄的倾向。
若对位结束，就将蒸发源71移动到R生产线侧(步骤R4 ),然后使线状 的蒸发源71向上或下移动进行蒸镀(步骤R5)。在R生产线的蒸镀中，在L 生产线与R生产线同样进行从步骤Rl至步骤R3的处理。即，搬入其它的衬底 6L，将该衬底6L垂直地立起并移动到对准部8L，进行与影孔板81L的对位。 若R生产线的衬底6R的蒸镀结束，则将蒸发源71移动到L生产线(步骤L4 )。 对位于L生产线的衬底进行蒸镀(步骤L5)。面朝上进行的上表面搬运，因而 不用翻转等就能立即进行对位。这时，在蒸发源71从R生产线的蒸镀区域完 全退出前，若衬底6R从对准部8R离开，则由于有不必要地被蒸镀的可能性， 因而在完全退出后，开始衬底6R的从处理室1的搬出动作，然后进入新的衬 底6R的准备。为了避免上述不必要的蒸镀，在生产线之间设有隔板ll。另夕卜， 图3表示步骤R4及步骤L1的状态。即，表示在R生产线开始蒸镀，在L生产 线将衬底搬入到真空蒸镀室lbu中的状态。
其后，通过连续地进行上述流程，除了蒸发部7的移动时间外，可以无浪 费地使用蒸镀材料进行蒸镀。蒸镀所必须的时间和其它处理时间大致为1分 钟，若蒸发源71的移动时间为5秒，则本实施方式可以将过去要费1分钟的 蒸镀时间缩短为5秒。根据上述实施方式，如图6所示，真空蒸镀室lbu处理
13一块衬底的处理周期实际上为蒸镀时间+蒸发源71的移动时间，可以提高生产
率。若以上述条件评价处理时间，则相对于过去的2分钟，本发明为1分钟另 5秒，每一个处理室的生产率可以提高为约两倍。
以上的(1 ) ( 2 )实施方式说明的全是将衬底6的蒸镀面朝上进行搬运， 为了能用竖立的影孔板进行蒸镀而将衬底立起的情况。在其它的蒸镀方法中， 也有将衬底、影孔板都水平放置进行的方法。这种情况如图9所示，多将蒸镀 面朝下，从下方进行蒸镀处理。这种情况下，用(3)大蒸镀部进行修正的方 法也是有效的。
在这样的实施方式中，为了将衬底的处理面作为下面进行搬运，将衬底6 放入到专用的盒中并把持衬底的两端进行搬运。角度调节机构可以适用于上述 实施方式的方法。
另外，为了衬底垂直放置进行蒸镀，影孔板的对位机构等变得复杂，虽难 以使处理室1内的处理交接部9旋转，但在衬底处理面为水平放置的场合，通 过将图5所示的机构设置在处理交接部9，或者若修正角度为一定，则如图9 所示，将对准部8设置成与该角度一致，使蒸发源71与该角度一致地进行扫 描，从而实际上也可以进行角度修正。
本实施方式也可以得到与先前的实施方式相同的效果。
因此，无论由不同的蒸镀面姿势决定的影孔板的姿势如何，都能采用本发明。
另外，在上述说明中，虽以有机EL器件为例进 了说明，但也可以应用 于与有机EL器件具有相同背景的进行蒸镀处理的成膜装置和成膜方法。
权利要求
1.一种有机EL器件制造装置，其具有作为真空室的设备组，该设备组具备具备将蒸镀材料蒸镀在衬底上的处理部的真空处理室，将上述衬底搬入或搬出的交接室，以及将上述衬底在上述交接室和上述多个处理室之间进行搬运的搬运机构；其特征在于在一个上述真空处理室或多个上述真空处理室中设置多个上述处理部，将上述多个处理部中的至少两个以上的处理部邻接配置在上述搬运机构的一侧。
2. 如权利要求1所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，具有多个上 述设备组，将上述多个设备组串联连接。
3. 如权利要求1或2所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，具有与 上述交接室不同的搬入衬底的搬入负载室和搬出衬底的搬出负载室中至少一 方。
4. 如权利要求3所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，在构成将上 述衬底从上述搬入负载室向搬出负载室进行搬运的搬运系统的搬运部中，具有
5. 如权利要求4所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，具有上述修 正机构的上述搬运部在上述交接室、上述搬入负载室和设置于上述处理部的衬 底的处理交接部中至少有一处。
6. 如权利要求5所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，上述修正机 构是使设置于上述搬运部的放置上述衬底的放置台旋转的机构，或者是从上述 放置台离开并使上述衬底旋转的机构。
7. 如权利要求4所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，上述搬运部 是设置于上述设备组、上述搬入负载室或搬出负载室的搬运用机械手。
8. 如权利要求7所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，上述修正机 构是将上述搬运用机械手的搬运上述衬底的手部的角度改变的机构。
9. 如权利要求4所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，上述搬运部 是上述搬入负载室，上述修正机构以预定的角度将上述衬底设置在上述搬入负 载室。
10. 如权利要求1或2所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，将进行上述蒸镀的蒸发源沿着倾斜地搬入设置于上述处理部的衬底的处理交接部 中的上述衬底进行扫描。
11. 如权利要求或2所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，上述 多个为四个以上，具有将上述多个处理部相对上述搬运的方向上下左右对称地 设置，在第一处理部处理了上述衬底之后，在与第一处理部点对称的位置的第 二处理部进行处理的处理机构。
12. 如权利要求1或2所述的有机EL器件制造装置，其特征在于，上述 设备组具有两个上述真空处理室，上述真空处理室设有多个进行相同处理的上 述处理部。
13. —种有机EL器件的制造方法，该方法是将衬底从搬入负载室搬入， 借助于具有具备多个处理部的至少一个真空室的设备组，向搬出负载室搬运， 在上述真空室中将蒸镀材料蒸镀到上述衬底上；其特征在于在上述搬运的过程中对上述搬运衬底的搬运角度进行修正。
14. 如权利要求13所述的有机EL器件的制造方法，其特征在于，上述搬 运角度的修正在上述搬入负载室、向上述真空室搬入或搬出上述衬底的交接 室、以及设置于上述搬入负载室和上述处理部的衬底的处理交接部中至少一处 进行。
15. 如权利要求13所述的有机EL器件的制造方法，其特征在于，上述搬 运角度的修正用设置于上述设备组、上述搬入负载室或搬出负载室的搬运用机 械手进行。
16. 如权利要求13所述的有机EL器件的制造方法，其特征在于，上述搬 运角度的修正通过以所要求的角度设置在上述搬入负载室来进行。
17. 如权利要求13至16中任何一项所述的有机EL器件的制造方法，其 特征在于，上述多个为四个以上，将上述多个处理部相对上述搬运的方向上下 左右对称地设置，在第一处理部处理了上述衬底之后，在与第一处理部点对称 的位置的第二处理部进行处理。
18. —种成膜装置，其具有作为真空室的设备组，该设备组具备具备将 蒸镀材料蒸镀在衬底上的处理部的真空处理室，将上述衬底搬入或搬出的交接室，以及将上述衬底在上述交接室和上述多个处理室之间进行搬运的搬运机构；其特征在于在一个上述真空处理室或多个上述真空处理室中设置多个上述处理部，将 上述多个处理部中的至少两个以上的处理部邻接配置在上述搬运机构的 一侧。
19. 如权利要求18所述的成膜装置，其特征在于，具备多个上述设备组 以及与上述交接室不同的搬入村底的搬入负载室和搬出衬底的搬出负载室中 的至少一方，在构成为从上述搬入负载室向上述搬出负载室搬运上述衬底的搬 运系统的搬运部中，具有修正在上述搬运部搬运的上述衬底的搬运角度的修正 机构。
20. —种成膜方法，该方法是将衬底从搬入负载室搬入，借助于具有具备 多个处理部的至少一个真空室的设备组，向搬出负载室搬运，在上述真空室中将蒸镀材料蒸镀到上述衬底上；其特征在于在上述搬运的过程中对上述搬运衬底的搬运角度进行修正。
21. 如权利要求20所述的成膜方法，其特征在于，上述多个为四个以上， 将上述多个处理部相对上述搬运的方向上下左右对称地设置，在第一处理部处 理了上述衬底之后，在与第一处理部点对称的位置的第二处理部进行处理。
全文摘要
本发明提供一种具有设备组构造，能缩短生产线的长度，空间效率高的有机EL器件制造装置或其制造方法，或者成膜装置或成膜方法。其串联设有多个作为真空室的设备组，该设备组具备具备将蒸镀材料蒸镀在衬底上的处理部的真空处理室，将上述衬底搬入或搬出的交接室，以及将上述衬底在上述交接室和上述多个处理部之间进行搬运的搬运机构；在一个上述真空处理室或多个上述真空处理室中设置多个上述处理部，将上述多个处理部中的至少两个以上的处理部邻接配置在上述搬运机构的一侧；将衬底从搬入负载室搬入，借助于上述设备组，在向搬出负载室搬运的过程中对上述搬运衬底的搬运角度进行修正。
文档编号C23C14/24GK101685848SQ20091016527
公开日2010年3月31日 申请日期2009年8月17日 优先权日2008年9月25日
发明者弓场贤治, 浅田干夫, 若林雅, 落合行雄, 韮泽信广 申请人:株式会社日立高新技术