专利名称：镀膜装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及镀膜加工技术领域，特别涉及一种镀膜装置。
背景技术：
溅镀是利用等离子体产生的离子去撞击靶材，将靶材内的原子撞出而沉积在基材 表面堆积成膜。目前，在对工件进行镀膜时，一般是将工件吊设在旋转料架上，然后将旋转 料架放置在一公转自转镀膜装置的圆环形轨道上，多对靶材则分别相对地设置在轨道的 内、外两侧，从而通过公转自转镀膜装置的圆环形轨道带动旋转料架上的工件相对靶材转 动，使得各工件上能够沉积膜层。为了增加膜层的致密性或者硬度，一般是在被镀的工件上施加电压，通常为负偏 压，较低的电压可以使膜层的致密性或者硬度提高，较高的电压则可以产生电菜，利用电浆 轰击工件表面，可以使工件表面活化，提高膜层的附着性。对于公转自转镀膜装置这样的旋 转机构，一般是采用电刷接触公转自转镀膜装置的驱动模组，然而此种结构电流在传输过 程中通过的传动部件较多，各部件之间相互转动接触，容易导致输入电压不稳定，进而影响 镀膜的质量。
发明内容
有鉴于此，有必要提供一种具有稳定输入电压的镀膜装置。一种镀膜装置，包括驱动模组、设置于驱动模组上的料杆、导电滑环及电压导入 盘，所述料杆用于挂设待镀工件，所述驱动模组用于驱动料杆转动，所述电压导入盘与所述 料杆相连，所述导电滑环包括定子部及可相对定子部转动的转子部，所述定子部上设有定 子导线用于与电压源连接，所述转子部上设有转子导线与电压导入盘连接从而将电压源的 电压通过所述电压导入盘传输到挂设在所述料杆上的待镀工件上。一种镀膜装置，包括转盘、固定设置于转盘上的自转驱动件、料杆、导电滑环及电 压导入盘，所述料杆用于挂设待镀工件，料杆的一端连接于自传驱动件上并可在自转驱动 件的驱动下自转，另一端可转动地连接于电压导入盘上，所述导电滑环包括定子部及可转 动地设置于定子部内的转子部，所述定子部上设有定子导线用于与电压源连接，所述转子 部上设有转子导线与电压导入盘连接从而将电压源的电压通过所述电压导入盘传输到挂 设在所述料杆上的待镀工件上。与现有技术相比，所述镀膜装置通过导电滑环与电压导入盘的配合将电压导入至 待镀工件上，可免去使用传统的电刷机构，简化系统、缩短电流的传输路径，从而可导入稳 定的电压至待镀工件上，有效提升镀膜质量。
下面参照附图结合实施例对本发明作进一步说明。图1为本发明一较佳实施方式的镀膜装置的结构示意图。
主要元件符号说明
权利要求
1.一种镀膜装置，包括驱动模组及设置于驱动模组上的料杆，所述料杆用于挂设待镀 工件，所述驱动模组用于驱动料杆转动，其特征在于还包括导电滑环及电压导入盘，所述 电压导入盘与所述料杆相连，所述导电滑环包括定子部及可相对定子部转动的转子部，所 述定子部上设有定子导线用于与电压源连接，所述转子部上设有转子导线与电压导入盘连 接从而将电压源的电压通过所述电压导入盘传输到挂设在所述料杆上的待镀工件上。
2.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于所述驱动模组包括转盘、公转驱动件及 自转驱动件，所述公转驱动件与所述转盘连接，用于驱动所述转盘自转，所述自转驱动件固 定设置于转盘上并可随转盘转动，所述料杆的一端连接于自传驱动件上并可在自转驱动件 的驱动下自转，另一端可转动地连接于电压导入盘上。
3.如权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于还包括支架及绝缘块，支架的一端固定 连接于转盘上，绝缘块夹设于电压导入盘与支架的另一端之间。
4.如权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于所述导电滑环的转子部的转子导线固 定连接于电压导入盘上且呈对称设置，所述转子部通过转子导线的牵引随电压导入盘转 动。
5.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于还包括支撑杆，所述支撑杆的端部形成 承载部，所述导电滑环的定子部固定设置于所述承载部上。
6.如权利要求5所述的镀膜装置，其特征在于还包括固定块，所述固定块包括抵压 部、定位部及连接部，所述连接部固定连接于支撑杆的承载部上，所述定位部由连接部的内 缘向上延伸且套设于导电滑环的外围，所述抵压部由定位部的顶端弯折向内延伸且与导电 滑环的定子部的顶部相抵靠。
7.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于所述镀膜装置还包括溅镀室以及靶材， 所述溅镀室包括底壁、顶壁及连接所述底壁和顶壁的侧壁，所述料杆、导电滑环及电压导入 盘均设置于溅镀室内，所述靶材设置在所述溅镀室的侧壁上，作为对待镀工件进行溅镀的 溅射源。
8.如权利要求7所述的镀膜装置，其特征在于所述溅镀室的侧壁上开设有与溅镀室 相连通的进气口及抽气口，所述进气口用于将溅镀所需的反应气体通入到溅镀室内，所述 抽气口用于对溅镀室进行抽真空处理。
9.一种镀膜装置，包括转盘、固定设置于转盘上的自转驱动件及料杆，所述料杆用于挂 设待镀工件，其特征在于还包括导电滑环及电压导入盘，所述料杆的一端连接于自传驱动 件上并可在自转驱动件的驱动下自转，另一端可转动地连接于电压导入盘上，所述导电滑 环包括定子部及可转动地设置于定子部内的转子部，所述定子部上设有定子导线用于与电 压源连接，所述转子部上设有转子导线与电压导入盘连接从而将电压源的电压通过所述电 压导入盘传输到挂设在所述料杆上的待镀工件上。
10.如权利要求9所述的镀膜装置，其特征在于还包括支撑杆与固定块，所述支撑杆 的端部形成承载部，所述固定块包括抵压部、定位部及连接部，所述连接部固定连接于支撑 杆的承载部上，所述定位部由连接部的内缘向上延伸且套设于导电滑环的外围，所述抵压 部由定位部的顶端弯折向内延伸且与导电滑环的定子部相抵靠。
全文摘要
一种镀膜装置，包括转盘、固定设置于转盘上的自转驱动件、料杆、导电滑环及电压导入盘，所述料杆用于挂设待镀工件，料杆的一端连接于自传驱动件上并可在自转驱动件的驱动下自转，另一端可转动地连接于电压导入盘上，所述导电滑环包括定子部及可转动地设置于定子部内的转子部，所述定子部上设有定子导线用于与电压源连接，所述转子部上设有转子导线与电压导入盘连接从而将电压源的电压通过所述电压导入盘传输到挂设在所述料杆上的待镀工件上，从而可免去使用电刷，简化系统缩短电流的传输路径，导入稳定的电压至待镀工件上，提升镀膜质量。
文档编号C23C14/34GK102102181SQ20091031199
公开日2011年6月22日 申请日期2009年12月22日 优先权日2009年12月22日
发明者洪新钦 申请人:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司, 鸿海精密工业股份有限公司