专利名称：一种用于晶片加工机台的防呆计时报警方法和装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及半导体加工技术领域，特别涉及一种用于晶片加工机台的防呆计时报警方法和装置。
背景技术：
在半导体制程中，美国N0VELLUS公司生产的化学研磨机台IPEC776在晶片加工过程中，由于机台软件故障较多易造成机台程序紊乱，进而导致机台无动作，且该机台无防呆报警装置，存在设计上的缺陷。这样带来的危害有⑴处于机台研磨头下及清洗装置中的产品晶片(wafer)长时间被研磨液等化学品腐蚀而导致报废；(2)机台停止生产而不被察觉，导致生产中断影响生产进度。
发明内容
本发明提供一种用于晶片加工机台的防呆计时报警方法和装置，能够侦测机台无动作并发出报警。为了达到上述目的，本发明采用以下技术方案一种用于晶片加工机台的防呆计时报警方法，包括步骤Sl 在晶片加工过程中通过所述机台上的信号输出端子，判断所述机台是否无动作；S2 当判断出所述机台无动作时，发出报警。作为对上述技术方案的优化，所述步骤Sl具体包括Sll 当所述机台的研磨机头处于研磨位置时，开始计时；S12:获取当前计时时间，并将当前计时时间与设定值进行比较，如果当前计时时间大于设定值，则判定所述机台无动作，并转至步骤S2 ；反之，则重复执行该步骤。作为对上述技术方案的优化，所述步骤S2之后还包括步骤S3 当所述机台的研磨机头处于非研磨位置时，停止计时；或者，S3’ 当判断出所述机台无动作时，停止计时。一种用于晶片加工机台的防呆计时报警装置，包括判断模块，用于在晶片加工过程中通过所述机台上的信号输出端子，判断所述机台是否无动作；报警模块，用于当判断出所述机台无动作时，发出报警。作为对上述技术方案的优化，所述机台上的信号输出端子包括用于表示所述机台的研磨机头位于研磨位置的第一输出端子；所述判断模块为具有判断计时时间是否大于设定值功能的计时器，所述计时器包括用于触发该计时器开始计时的第一输入端和用于输出计时时间大于设定值信号的输出端；其中，
所述第一信号输入端与所述第一输出端子电连接；所述报警模块为报警器，所述报警器的信号输入端与所述计时器的输出端电连接。作为对上述技术方案的优化，所述机台的信号输出端子还包括用于表示所述机台的研磨机头位于非研磨位置的第二输出端子；所述计时器还包括复位端，所述复位端与所述第二输出端子电连接。作为对上述技术方案的优化，所述机台为美国N0VELLUS公司生产的化学机械研磨机台IPEC776。
作为对上述技术方案的优化，其特征在于，所述机台向所述计时器的第一输入端输出高电平信号触发所述计时器开始计时， 所述机台向所述计时器的复位端输出高电平信号时所述计时器计时清零，所述计时器在其计时时间达到设定值时向所述报警器输出信号，触发报警器报警。作为对上述技术方案的优化，所述设定值为500s。一种晶片加工机台，设置有上述任意一项技术方案所述的防呆计时报警装置。本发明在晶片加工过程中通过所述机台的信号输出端子，判断所述机台是否无动作；当判断出所述机台无动作时，发出报警。因此，本发明能够侦测到机台无动作并发出报警，通知工程师第一时间处理产品，降低产品报废风险，维护机台保证生产的连续。
下面结合附图对本发明进行详细介绍。图1是本发明的用于晶片加工机台的防呆计时报警方法的流程示意图。图2是本发明的用于晶片加工机台的防呆计时报警装置的结构示意图。图3是图2所示防呆计时报警装置所采用的计时器和警报器的连接示意图。
具体实施例方式如图1所示，本发明的一种用于晶片加工机台的防呆计时报警方法，包括Sl 在晶片加工过程中通过所述机台上的信号输出端子，判断所述机台是否无动作；S2 当判断出所述机台无动作时，发出报警。本发明的防呆计时报警方法，在晶片加工过程中通过所述机台的信号输出端子， 判断所述机台是否无动作；当判断出所述机台无动作时，发出报警。因此，本发明能够侦测到机台无动作并发出报警，通知工程师第一时间处理产品，降低产品报废风险，维护机台保证生产的连续。应用时，所述步骤Sl具体可以包括Sll 当所述机台的研磨机头处于研磨位置时，开始计时；S12:获取当前计时时间，并将当前计时时间与设定值进行比较，如果当前计时时间大于设定值，则判定所述机台无动作，并转至步骤S2 ；反之，则重复执行该步骤。在晶片加工过程中，一次研磨都在一定的时间内完成，当超过这个时间时，即可认为机台出现了故障。因此，本发明中上述设定值可以取为一次研磨的上限时间，这样，当计时时间超过该上限时间时，判定机台无动作，并发出报警。进一步地，在计时过程中，为了使计时停止，所述步骤S2之后还可以包括步骤S3 当所述机台的研磨机头处于非研磨位置时，停止计时；或者，S3’ 当判断出所述机台无动作时，停止计时。 另外，在计时停止之后，还可以采用计时清零步骤，以方便下一次计时。与上述用于晶片加工机台的防呆计时报警方法相对应，本发明还提供一种用于晶片加工机台的防呆计时报警装置，如图2所示，包括判断模块11，用于在晶片加工过程中通过所述机台上的信号输出端子，判断所述机台是否无动作；报警模块21，用于当判断出所述机台无动作时，发出报警。本发明的防呆计时报警装置中，在晶片加工过程中判断模块11通过所述机台的信号输出端子，判断所述机台是否无动作；当判断出所述机台无动作时，报警模块21发出报警。因此，本发明能够侦测到机台无动作并发出报警，通知工程师第一时间处理产品，降低产品报废风险，维护机台保证生产的连续。相应地，为了能够通过对晶片加工时间进行计时并通过比较计算时间来方便准确地判断所述机台是否无动作，所述机台上的信号输出端子包括用于表示所述机台的研磨机头位于研磨位置的第一输出端子；所述判断模块11为具有判断计时时间是否大于设定值功能的计时器，所述计时器包括用于触发该计时器开始计时的第一输入端和用于输出计时时间大于设定值信号的输出端；其中，所述计时器的第一输入端与所述机台上的第一输出端子电连接；所述报警模块21为报警器，所述报警器的输入端与所述计时器的输出端电连接。相应地，在计时过程中，为了使计时停止，所述机台的信号输出端子还包括用于表示所述机台的研磨机头位于非研磨位置的第二输出端子；所述计时器还包括复位端，所述复位端与所述第二输出端子电连接。进一步地，本发明所述的机台优选为美国N0VELLUS公司生产的化学机械研磨机台IPEC776。下面以该机台为例，详细说明本发明的防呆计时报警装置。(一 )首先介绍上述机台的特性该机台在非研磨时，研磨机头处于非研磨位置(即上位置(up position)), 机台的信号输出引脚M028为24VDC;在研磨时，研磨机头处于研磨位置(下位置(down position))，机台的信号输出引脚M027为24VDC。该机台的M027引脚所输出的24VDC信号即可用来反馈机台的研磨机头上/下的状态。根据机台设定，正常的研磨时间不会超过500s，因此，研磨机头处于下位置的正常时间不会超过500s，若其超过该时间，则认定机台无动作。( 二)本发明的防呆计时报警装置中判断模块11的实现该实施例中，如图3所示，判断模块11为可以实现以下功能的计时器(1) 一高电平信号输入开始计时，另一高电平信号输入则计时清零；(2)达到设定时间值，计时器输出电压信号。以欧姆龙(0MR0N) H5CX-ASD型号计时器为例，该计时器工作电压为24VDC，采用PNP模式可实现由O开始计时，达到设定值则输出24VDC。计时器的信号(Signal)引脚接通24VDC时开始计时，复位(reset)引脚接通24VDC时计时清零。(三)本发明的防呆计时报警装置中报警模块21的实现如图3所示，该实施例中的报警模块21为发光警报器。该发光警报器工作电压为 24VDC。将上述机台的M028引脚接入计时器的信号引脚，将M027引脚接入计时器的复位引脚。同时，将计时器的电压输出端接入警报器，以便在计时达到设定值时为警报器提供工作电压，使其发出警报。根据机台设定，将计时器的设定值设为500s。当机台的研磨机头处于下位置时， M028引脚输出24VDC，计时器开始计时，当计时达到设定时间500s，即认定机台无动作，计时器输出24VDC电压信号。此时，警报器接收到该电压信号，接通回路工作，发出警报。当机台完成研磨，研磨机头升起至上位置时，M027引脚输出24VDC，此时，计时器复位引脚接收到机台输出的电压信号而复位，计时清零(如果清零之前计时器已开始输出 24VDC电压信号，则此时会停止输出该信号，从而停止触发警报器，报警停止)。与上述用于晶片加工机台的防呆计时报警方法和装置相对应，本发明还提供一种晶片加工机台，其上设置有上述的防呆计时报警装置。上述仅为本发明的较佳实施例，当然，根据实际需要和进一步的探索还可以有其他实施方式。但是，应该明确的是，基于类似上述的或者其他没有表述出的具有相同构思的实施方式的变换，均应涵盖在本发明权利要求的保护范围之中。
权利要求
1.一种用于晶片加工机台的防呆计时报警方法，其特征在于，包括步骤51在晶片加工过程中通过所述机台上的信号输出端子，判断所述机台是否无动作；52当判断出所述机台无动作时，发出报警。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤Sl具体包括Sll 当所述机台的研磨机头处于研磨位置时，开始计时；S12:获取当前计时时间，并将当前计时时间与设定值进行比较，如果当前计时时间大于设定值，则判定所述机台无动作，并转至步骤S2 ；反之，则重复执行该步骤。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述步骤S2之后还包括步骤53当所述机台的研磨机头处于非研磨位置时，停止计时；或者，S3’ 当判断出所述机台无动作时，停止计时。
4.一种用于晶片加工机台的防呆计时报警装置，其特征在于，包括判断模块，用于在晶片加工过程中通过所述机台上的信号输出端子，判断所述机台是否无动作；报警模块，用于当判断出所述机台无动作时，发出报警。
5.根据权利要求4所述的防呆计时报警装置，其特征在于，所述机台上的信号输出端子包括用于表示所述机台的研磨机头位于研磨位置的第一输出端子；所述判断模块为具有判断计时时间是否大于设定值功能的计时器，所述计时器包括用于触发该计时器开始计时的第一输入端和用于输出计时时间大于设定值信号的输出端；其中，所述计时器的第一输入端与所述机台上的第一输出端子电连接；所述报警模块为报警器，所述报警器的输入端与所述计时器的输出端电连接。
6.根据权利要求5所述的防呆计时报警装置，其特征在于，所述机台的信号输出端子还包括用于表示所述机台的研磨机头位于非研磨位置的第二输出端子；所述计时器还包括复位端，所述复位端与所述机台上的第二输出端子电连接。
7.根据权利要求6所述的防呆计时报警装置，其特征在于，所述机台为美国NOVELLUS 公司生产的化学机械研磨机台IPEC776。
8.根据权利要求7所述的防呆计时报警装置，其特征在于，所述机台向所述计时器的第一输入端输出高电平信号触发所述计时器开始计时，所述机台向所述计时器的复位端输出高电平信号时所述计时器计时清零，所述计时器在其计时时间达到设定值时向所述报警器输出信号，触发报警器报警。
9.根据权利要求8所述的防呆计时报警装置，其特征在于，所述设定值为500s。
10.一种晶片加工机台，其特征在于，设置有如权利要求4至9中任一权利要求所述的防呆计时报警装置。
全文摘要
本发明公开了一种用于晶片加工机台的防呆计时报警方法和装置，属于半导体生产技术领域。所述方法包括S1在晶片加工过程中通过所述机台上的信号输出端子，判断所述机台是否无动作；S2当判断出所述机台无动作时，发出报警。因此，本发明能够侦测到机台无动作并发出报警，通知工程师第一时间处理产品，降低产品报废风险，维护机台保证生产的连续。
文档编号B24B55/00GK102267094SQ201010194509
公开日2011年12月7日 申请日期2010年6月4日 优先权日2010年6月4日
发明者吴恩涛, 施杰, 王浩, 胡津, 赵久嵩, 黎阳 申请人:和舰科技(苏州)有限公司