专利名称：溅镀装置的制作方法
技术领域：
本 发明涉及一种溅镀装置。
背景技术：
现有的溅镀装置通常包括圆柱状的中空镀膜腔、设置在镀膜腔内用于承放被镀物 件的基座以及间隔均勻地设置在所述镀膜腔的圆柱状外侧壁上的靶座。所述靶座朝向镀膜 腔内部的一侧上设置有溅镀靶材。在进行镀膜时，所述靶材被加速的带电粒子轰击而向镀 膜腔内溅射靶材原子以附着在被镀物件的表面上形成镀膜层。所述靶座通常固定安装在所述外侧壁上，而且仅在靶座面向镀膜腔的一侧设置有 靶材。当经过一段时间的溅镀后靶材所在的一侧会被四处飞溅的靶材污染而变脏，且靶材 也会损耗，所以必须将整个靶座拆下来进行清洁及更换靶材。然而，拆换靶座比较麻烦且耗 费时间，从而影响到镀膜量产的效率。
发明内容
鉴于此，有必要提供一种可方便清洁及更换靶材的溅镀装置。本发明提供一种溅镀装置，其包括圆筒状的中空镀膜腔、靶座及滑动框架。所述镀 膜腔包括一圆柱状的外侧壁，所述外侧壁的周缘上开设有多个间隔均勻的通孔。所述靶座 包括至少两个与所述通孔的形状相对应的靶材承载部及一端与所述靶座转动连接的转动 轴。所述靶材承载部上设置有用于溅镀的靶材材料，所述通孔与镀膜腔上下端之间的外侧 壁上沿镀膜腔的径向设置有所述滑动框架。所述转动轴与靶座相对的另一端分别滑动连接 在所述滑动框架上。所述靶座螺接固定在所述通孔的四周边缘上以将至少一个所述靶材承 载部密封在镀膜腔的内部。所述靶座在所述滑动框架上滑动并绕转动轴旋转以替换密封在 镀膜腔内的靶材承载部。相对于现有技术，本发明所提供的溅镀装置通过在镀膜腔的外侧壁上滑动连接具 有可旋转替换的多靶材承载部的靶座，以使得所述溅镀装置在更换溅射靶材时只需要将该 靶座拉出旋转便可快速地替换新的靶材承载部，而无须拆装靶座，且在进行溅镀的同时可 对刚撤换的靶材承载部进行清洁及上料，可节省更换靶材的时间，提高工作效率。
图1为本发明实施方式所提供的溅镀装置的结构示意图。图2为图1中溅镀装置的靶座的侧视图。图3为图1中溅镀装置的靶座的滑动状态示意图。图4为图1中溅镀装置的靶座的固定状态示意图。主要元件符号说明溅镀装置1镀膜腔10
靶座12滑动框架14外侧壁100顶盖102底盖104通孔IOOa连接框IOOb 螺孔IOOc
上滑轨140下滑轨142固定框120转动轴122靶材基座124短边120a长边120b螺纹通孔120c靶材承载部124a滑动端122a连接端122b滑轮122c
具体实施例方式如图1及图3所示，本发明实施方式所提供的溅镀装置1包括圆筒状的中空镀膜 腔10、靶座12及滑动框架14。所述靶座12通过滑动框架14可滑动地连接在所述镀膜腔 10上。所述镀膜腔10包括一圆柱状的外侧壁100、一对圆形的顶盖102及底盖104。所 述外侧壁100的外侧圆周上开设有多个间隔均勻的通孔100a。所述通孔IOOa沿平行所述 镀膜腔10的中心轴的方向由所述外侧壁100的一端延伸至另一端。所述每一通孔IOOa的 四周的外侧壁100上沿垂直于所述外侧壁100的方向向外延伸出一连接框100b。在所述每 一连接框IOOb的外端面上分别开设有多个用于固定靶座12的螺孔100c。所述滑动框架14设置在所述镀膜腔10的外侧壁上，其包括平行相对的上滑轨140 及下滑轨142。所述上滑轨140及下滑轨142分别通过各自的一端垂直设置在所述通孔 IOOa与顶盖102及底盖104之间的外侧壁100上。所述上滑轨140及下滑轨142分别沿所 述镀膜腔10的径向向外延伸出一段距离。请一并参阅图2，所述靶座12包括固定框120、转动轴122及靶材基座124。所述 固定框120为一矩形边框，其包括相互平行的一对短边120a及一对长边120b。所述短边 120a与长边120b分别依次垂直相连。所述短边120a和长边120b上分别开设有多个与所 述螺孔IOOc对应的螺纹通孔120c。所述靶材基座124为一矩形结构，其包括至少两个靶材 承载部124a。所述靶材承载部124a上分别设置有用于溅镀的靶材材料。所述转动轴122为一圆杆，其包括滑动端122a、与滑动端122a相对的连接端122b以及设置在所述滑动端 122a上的滑轮122c。 在本实施方式中，所述靶材承载部124a的个数为两个，且彼此平行相隔设置。可 以理解的是，所述每一个靶材基座124还可以包括三个互成60度角的靶材承载部124a，或 者四个互成90度角的靶材承载部124a等，只需要对应地调整靶材基座124的形状及每个 靶材承载部124a之间的角度即可。请一并参阅图2、图3及图4，在进行组装时，所述转动轴122的连接端122b分别 与所述固定框120的短边120a的中部转动连接。所述靶材基座124固定嵌合在所述固定 框120内。所述固定框120及固定嵌合在固定框120中的靶材基座124可绕所述转动轴 122旋转。所述转动轴122上的滑轮122c分别收容在与所述通孔IOOa对应的上滑轨140 及下滑轨142内。所述靶座12沿上滑轨140及下滑轨142滑动至所述镀膜腔10的外侧壁 100处，转动所述固定框120及靶材基座124以使所述其中一个靶材承载部124a朝向所述 外侧壁100上的通孔100a，所述靶座12通过固定框120上的螺纹通孔120c螺接固定在所 述连接框IOOb的螺孔IOOc内以使所述其中一个靶材承载部124a密封在所述镀膜腔10的 内部。在进行溅镀时，所述靶座12上位于镀膜腔10内的靶材承载部124a受到镀膜腔10 内被加速的带电粒子轰击而向镀膜腔10内溅射靶材原子。当经过一段时间的溅镀而需要 更换及清洁被轰击的靶材承载部124a时，先将固定在所述外侧壁100上的固定框120及靶 材基座124沿所述上滑轨140及下滑轨142拉离所述外侧壁100。接着将所述固定框120 连同靶材基座124绕所述转动轴122旋转180度，以使得另一侧的靶材承载部124a朝向外 侧壁100上的通孔100a。最后，将所述另一侧的靶材承载部124a密封在镀膜腔10的内部 就可以再次进行溅镀操作。此时，刚被撤换的靶材承载部124a朝向镀膜腔10的外部，所以 在所述另一侧的靶材承载部124a进行溅镀的同时对被撤换的靶材承载部124a进行清洁并 重新设置靶材材料。所述溅镀装置1通过在镀膜腔10的外侧壁100上滑动连接具有可旋转替换的双 靶材承载部124a的靶座12，以使得所述溅镀装置1在更换溅射靶材时只需要将该靶座12 拉出旋转便可快速地替换新的靶材承载部124a，而无须拆装靶座12，且在进行溅镀的同时 可对刚撤换的靶材承载部124a进行清洁及上料，可节省更换靶材的时间，提高工作效率。本技术领域的普通技术人员应当认识到，以上的实施方式仅是用来说明本发明， 而并非用作为对本发明的限定，只要在本发明的实质精神范围之内，对以上实施例所作的 适当改变和变化都落在本发明要求保护的范围之内。
权利要求
1.一种溅镀装置，其包括圆筒状的中空镀膜腔及靶座，所述镀膜腔包括一圆柱状的外 侧壁，所述外侧壁的周缘上开设有多个间隔均勻的通孔，其特征在于所述靶座包括至少两 个与所述通孔的形状相对应的靶材承载部及一端与所述靶座转动连接的转动轴，所述靶材 承载部上设置有用于溅镀的靶材材料，所述溅镀装置还包括滑动框架，所述通孔与镀膜腔 上下端之间的外侧壁上沿镀膜腔的径向设置有所述滑动框架，所述转动轴与靶座相对的另 一端分别滑动连接在所述滑动框架上，所述靶座螺接固定在所述通孔的四周边缘上以将至 少一个所述靶材承载部密封在镀膜腔的内部，所述靶座在所述滑动框架上滑动并绕转动轴 旋转以替换密封在镀膜腔内的靶材承载部。
2.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于所述靶座还包括固定框及靶材基座，所 述固定框为一矩形框，所述固定框包括相互平行的一对短边及一对长边，所述短边与长边 分别依次垂直相连，所述靶材承载部设置在所述靶材基座上，所述靶材基座固定嵌合在所 述固定框内。
3.如权利要求2所述的溅镀装置，其特征在于所述转动轴为一圆杆，其包括滑动端、 与滑动端相对的连接端以及设置在所述滑动端上的滑轮，所述转动轴的连接端分别与所述 固定框的短边的中部转动连接，所述固定框及靶材基座绕所述转动轴旋转。
4.如权利要求3所述的溅镀装置，其特征在于所述镀膜腔还包括顶盖及底盖，所述滑 动框架包括平行相对的上滑轨及下滑轨，所述上滑轨及下滑轨分别通过各自的一端垂直设 置在所述通孔与顶盖及底盖之间的外侧壁上，所述上滑轨及下滑轨分别沿所述顶盖及底盖 的径向向外延伸出一段距离，所述滑轮分别收容在与所述上滑轨及下滑轨内。
5.如权利要求2所述的溅镀装置，其特征在于所述每一通孔的四周的外侧壁上沿垂 直于所述外侧壁的方向向外延伸出一连接框，在所述每一连接框的外端面上分别开设有多 个螺孔，所述短边和长边上分别开设有多个与所述螺孔对应的螺纹通孔，所述靶座通过固 定框上的螺纹通孔螺接固定在所述外侧壁的螺孔内以将所述其中一个靶材承载部密封在 所述镀膜腔的内部。
全文摘要
本发明提供一种溅镀装置，其包括圆筒状的中空镀膜腔、靶座及滑动框架。所述镀膜腔包括一圆柱状的外侧壁，所述外侧壁的周缘上开设有多个间隔均匀的通孔。所述靶座包括至少两个与所述通孔的形状相对应的靶材承载部及一端与所述靶座转动连接的转动轴。所述靶材承载部上设置有用于溅镀的靶材材料，所述通孔与镀膜腔上下端之间的外侧壁上沿镀膜腔的径向设置有所述滑动框架。所述转动轴与靶座相对的另一端分别滑动连接在所述滑动框架上。所述靶座螺接固定在所述通孔的四周边缘上以将至少一个所述靶材承载部密封在镀膜腔的内部。所述靶座可在所述滑动框架上滑动并绕所述转动轴旋转以方便地替换密封在镀膜腔内的靶材承载部。
文档编号C23C14/34GK102127740SQ201010300418
公开日2011年7月20日 申请日期2010年1月19日 优先权日2010年1月19日
发明者吴佳颖 申请人:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司, 鸿海精密工业股份有限公司