专利名称：卧式镀膜生产线的传动结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及镀膜生产线上使用的设备，具体是一种卧式镀膜生产线的传动结 构。
背景技术：
现国内的卧式连续镀膜生产线，如大型L0W-E玻璃镀膜生产线、大尺寸TC0玻璃 镀膜生产线等，基板尺寸一般较大，如1100*1400*3. 2mm、2200*2600*3. 2mm等，基板在镀膜 过程中需要在真空箱体内勻速前进，因此基板在箱体内需要横向支撑滚，且支持滚的转动 需达到同步传动的目的。在以前的大型镀膜设备中，如L0W-E线，所镀的多为金属膜层，不 需要加温镀膜，因此直接将传动滚子置于箱体内部即可。但随着太阳能电池市场对大尺寸 TC0基板的需求加大，TC0玻璃镀膜设备的研制就迫在眉睫。TC0玻璃在镀膜过程中需要加 热300 400°C，若横向支持滚仍采用长轴进行同步传动的话，轴的变形量就较大，从而导 致基板运行不平稳，严重影响镀膜生产工艺。真空镀膜技术是在真空中把靶材(金属、合金或化合物)进行蒸发(或溅射)，使 其沉积在被涂覆的物体(称基片、基板或基体)上的方法。一般的金属化合物镀膜需要进 行加温，确保成膜温度在300 400°C。连续型镀膜生产线分为卧式和立式的。立式镀膜生 产线，基板玻璃垂直于地面传输，其传动方向的尺寸较小，因此高温下的传动轴变形可不用 考虑。而卧式镀膜生产线，对用的基板为平行于地面方向运动。因此其横向的传动轴跨度 较大，如1100*1400*3. 2mm的基板对用的传动轴，至少需要大于1500mm。而这么长的传动 轴，若使用未特殊处理过的材料，在高温的情况下，很容易发生变形。现有的卧式镀膜生产线多为低辐射玻璃(L0W-E)镀膜生产线，一般只镀金属膜， 对镀膜温度没有要求，因此传动轴内置于真空箱体内，没有影响。在高温下镀大尺寸基板的 卧式镀膜线，国内之前一直未有厂家做过，而国外在此方面多采用特殊处理过的耐高温材 料，作为传动轴，成本高。
实用新型内容针对上述问题，本实用新型旨在提供一种可低成本确保大尺寸基板在高温镀膜时 传动精度的传动结构。为实现该技术目的，本实用新型的方案是一种卧式镀膜生产线的传动结构，包括 传动架和传送轴，传动架的两侧对称的各装置有一个悬臂的传送轮，所述传送轴伸出传动 架两侧的外端部通过同步带传动至传送轮；所述传送轮上面摆置有一用于装载基板的运动 的小车。为使小车能更好的随着传送轮运动，所述小车的两端设置有匹配于传送轮的摩擦 杆。作为进一步的改进，所述传送轮悬臂与传送架结合的端部安装有磁流体。本方案通过使用常规材料进行制备传动轴，不需要使用特殊处理的耐高温材料，大大降低了生产成本，并解决了大尺寸基板卧式镀膜线的同步传动问题。
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型做进一步详细说明。如图1所示，本实 用新型的一种卧式镀膜生产线的传动结构，包括传动架和通过轴承座5设置在传动架上的 传送轴4，传动架的两侧对称的各装置有一个悬臂的传送轮3，所述传送轴4伸出传动架两 侧的外端部通过同步带1传动至传送轮；所述传送轮上面摆置有一用于装载基板的运动的 小车6。小车的两端设置有匹配于传送轮的摩擦杆。所述传送轮悬臂与传送架结合的端部 安装有磁流体2。本实施例采用外置同步传动机构，两端带动引入真空箱体内部的悬臂导轮转动， 导轮上配有两端带有摩擦杆的小车，利用小车载着基板勻速前进，完成镀膜。在不使用特殊 处理过的耐高温材料，通过将横向较宽跨度的传动轴置于真空腔体外面，避免了室体内部 镀膜加温对常规传动轴的影响，此即本专利要解决的技术问题以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡是依据本 实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何细微修改、等同替换和改进，均应包含在本 实用新型技术方案的保护范围之内。
权利要求一种卧式镀膜生产线的传动结构，包括传动架和传送轴，其特征在于传动架的两侧对称的各装置有一个悬臂的传送轮(3)，所述传送轴(4)伸出传动架两侧的外端部通过同步带(1)传动至传送轮；所述传送轮上面摆置有一用于装载基板的运动的小车(6)。
2.根据权利要求1所述的传动结构，其特征在于所述小车的两端设置有匹配于传送 轮的摩擦杆。
3.根据权利要求2所述的传动结构，其特征在于所述传送轮悬臂与传送架结合的端 部安装有磁流体(2)。
专利摘要本实用新型公开了一种可低成本确保大尺寸基板在高温镀膜时传动精度的传动结构，包括传动架和传送轴，传动架的两侧对称的各装置有一个悬臂的传送轮，所述传送轴伸出传动架两侧的外端部通过同步带传动至传送轮；所述传送轮上面摆置有一用于装载基板的运动的小车。本方案通过使用常规材料进行制备传动轴，不需要使用特殊处理的耐高温材料，大大降低了生产成本，并解决了大尺寸基板卧式镀膜线的同步传动问题。
文档编号C23C14/56GK201713573SQ20102020451
公开日2011年1月19日 申请日期2010年5月26日 优先权日2010年5月26日
发明者唐贵民, 姜翠宁, 王克斌, 闫都伦, 黄启耀 申请人:深圳中南光电技术装备有限公司