专利名称：一种通用型oled基片样品架的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种样品架，特别涉及一种用于在OLED真空蒸镀系统的装卸以及工艺腔体中，支撑OLED基片的通用型样品架。
背景技术：
在制备OLED的真空蒸镀系统中，在每一个工艺腔和装卸腔内，完成每一个工艺步骤都需要支撑/固定OLED基片的合适样品架。通常情况下，一个尺寸的样品架，只能支撑一种外形尺寸的基片。如果基片的外形尺寸与样品架可容纳的基片的外形尺寸不相符，则或者更换基片重新加工，或者更换全套真空腔体中的样品架以符合新基片的外形尺寸。目前，OLED基片主要分两大类:一类是通过真空沉积/旋涂/光刻等工艺加工得到的AM/PM驱动的玻璃基片，通常是矩形的；另一类是在硅晶片上，用掺杂/光刻工艺得到的硅基片，通常是圆形的。两种基片的外形是完全不同的。而现有技术，如图1、2所示，是在一对对称的支架臂的相对一侧各开一条凹槽(通常是矩形槽，也可以是圆弧形槽)，D为支架臂的厚度。只有一种凹槽的样品架无法兼容两种外形尺寸完全不同的基片。故而随着样品基片的变更，必须要随之调整装卸真空腔和工艺真空腔中的样品架。这通常需要对真空腔体进行开腔破真空，从而影响真空蒸镀系统的真空度，在更换样品架后，恢复腔体的真空度需要不短的一段时间，会明显影响OLED器件的生产效率。此外，反复装卸不同规格的样品架会对系统中样品架的固定机构造成不可逆的机械损耗。为了尽可能避免上述情况发生，在基片规格有限的条件下，在某些特定的尺寸上，可以设计在矩形玻璃基片和圆形硅基片间通用的样品架。从而避免了制备多套样品架所产生的物料浪费和反复开腔更换样品架对系统的真空度和机械结构的影响。
发明内容
本发明是针对现在OLED基片样品架不通用导致工艺和生产复杂的问题，提出了一种通用型OLED基片样品架，该样品架利用在一对镜面对称的支架臂上，分别开出矩形和圆弧形凹槽，并且使圆弧形凹槽和矩形凹槽的尺寸符合特定要求，从而使得该样品架能够同时用于支撑/固定玻璃基片和硅基基片。本发明的技术方案为:一种通用型OLED基片样品架，包括一对外形对称的长方体支架臂，一对支架臂分别固定在基座上，基座的距离与放置的基片配套，在对称的长方体支架臂相对的一侧，开有一对对称的矩形凹槽和一对对称的圆弧形凹槽，对称的矩形凹槽和对称的圆弧形凹槽分别形成容纳两种基片的大矩形凹槽和正圆形凹槽，支架臂上的矩形凹槽和圆弧形凹槽的深度均小于支架臂厚度的2/3，矩形凹槽和圆弧形凹槽的深度均大于所装基片厚度，由对称的圆弧形凹槽形成的正圆形直径大于由对称的矩形凹槽所形成的大矩形凹槽的宽度，而且大矩形凹槽的对角线长度大于正圆形凹槽的直径。所述由对称的圆弧形凹槽形成的正圆形直径等于所装圆形基片的直径加0.2mm。所述由对称的矩形凹槽所形成的大矩形凹槽的长和宽等于所装矩形基片的长和宽上各加0.2mm。本发明的有益效果在于:本发明通用型OLED基片样品架，该通用样品架在可以用于一定尺寸的矩形玻璃基板的同时，还可以兼容某一尺寸的硅基基板。从而避免了制备和更新样品架带来的物料与时间损失，并且使得更换样品架导致的腔内真空度破坏和意外的机械结构损耗得以避免。
图1为现有技术样品架首I]视 图2为现有技术样品架俯视 图3为本发明通用型OLED基片样品架实例一俯视 图4为本发明通用型OLED基片样品架实例一剖视 图5为本发明通用型OLED基片样品架实例二俯视 图6为本发明通用型OLED基片样品架实例二剖视图。
具体实施例方式如图3、4所不,一种通用型O LED基片样品架，自外向内包括一对外形对称的长方体支架臂110，在支架臂相对的一侧，开有一对矩形凹槽130和一对圆弧形凹槽120。所述一对支架臂110分别固定在有一定距离的基座上。支架臂110固定后,一对矩形凹槽130所构成的大矩形凹槽的尺寸略大于用来制备OLED的玻璃基底的矩形基片(一般在矩形基片的长、宽上各加0.2mm);一对圆弧形凹槽120所形成的正圆形凹槽的尺寸略大于硅基基底的圆形基片(一般在圆形基片的直径上加0.2mm)。如图4所示的D为支架臂110厚度，矩形凹槽的深度为支架臂110厚度的1/2，圆弧形凹槽深度约为支架臂110厚度的1/3。矩形凹槽和圆弧形凹槽的深度都不大于支架臂110厚度的2/3。矩形凹槽130的深度大于圆弧形凹槽120，说明该样品架适用于玻璃基片厚度大于硅基基片的情况。支架臂110定在基座上后，由两个圆弧形凹槽120形成的正圆形凹槽的直径略大于两个矩形凹槽130所形成的大矩形凹槽的宽度。则正圆形基片由机械手放入样品架后，可以被很好地限制在由两道圆弧形凹槽120所形成的正圆形凹槽内，不会发生大范围
O0.2_)的水平移动。此外，当样品架空置，矩形基片被放入由两道矩形槽130形成的大矩形槽中时，也可以不受圆弧形凹槽120存在的影响。同样能够起到对矩形基片支撑/固定的作用。从而实现了对两种尺寸基片的通用。极端地，如果由两个对称的圆弧形凹槽120限定的正圆形凹槽的直径小于等于一对矩形凹槽130所形成的大矩形凹槽的宽度，则首先圆弧形凹槽120不再存在(因为它的深度小于矩形凹槽130)，即使假设它存在，但是放置在该“圆弧形凹槽”内的圆形基片将在上述的大矩形凹槽平面内自由移动，所以该基片将无法被固定。所以在通用型样品架上，圆弧形凹槽120所限定的正圆形凹槽直径应当大于矩形凹槽130所形成的大矩形凹槽的宽度。如图5、6所示，为本发明的另外一个实施例。D为支架臂210的厚度，将一对开有凹槽的长方体形支架臂210固定在距离一定的基座上，使得一对圆弧形凹槽220形成一个能够容纳正圆形基片的正圆形凹槽。它的直径可以大于在相同距离下由矩形凹槽230所形成的大矩形凹槽的长度。此外在该距离上，上述正圆形凹槽的直径大于两个支架臂210的宽度与两个支架臂210的间距三者之和。并且圆弧形凹槽的深度约为支架臂210厚度的一半，大于矩形凹槽230的深度(大约为支架臂210厚度的1/3)。本实施例适用于硅基基片厚度大于玻璃基片厚度的情况。当圆形基片由机械手放入样品架后，可以被很好地限制在由两道圆弧形凹槽220所形成的正圆形凹槽内，不会发生大范围(>0.2mm)的水平移动。此外，当样品架空置，矩形基片被放入由两道矩形槽230形成的大矩形槽中时，也可以不受圆弧形凹槽220存在的影响。两种基片也可以在本实施例所示的样品架上通用。
极端地，当一对圆弧形凹槽220所形成的正圆形凹槽的直径大于矩形凹槽230所形成的大矩形凹槽的对角线时，则较浅的矩形凹槽230，会失去固定相应尺寸基片的效果。相应的矩形基片将会在两道圆弧形凹槽220形成的正圆形凹槽内做大范围的平面运动，无法有效固定。所以在通用型样品架上，上述由圆弧形凹槽220所限定的正圆形凹槽的直径应当小于两条矩形凹槽230所形成的大矩形槽的对角线长度。本发明的两个实施例中，支架臂的几何尺寸，圆弧形凹槽和矩形凹槽的平面尺寸和深度都是由所要固定的矩形玻璃基片和圆形硅基基片的尺寸来决定的。例如:本发明的一个优选方案:
矩形玻璃基板尺寸为:200.0X150.0X0.5mm
圆形娃基基板尺寸为:直径200.0mm (8 inch),厚度0.5mm 与之适配的样品架的单一支架臂尺寸为:205.0X30.0X6.0mm 圆弧槽的尺寸为:直径200.2mm，深度3.0mm 矩形槽的尺寸为:200.2X10.0X3.0mm
支架臂材质:常用廉价不易锈蚀的金属材料，如不锈钢、铝及铝合金等。
权利要求
1.一种通用型OLED基片样品架，包括一对外形对称的长方体支架臂，一对支架臂分别固定在基座上，基座的距离与放置的基片配套，其特征在于，在对称的长方体支架臂相对的一侧，开有一对对称的矩形凹槽和一对对称的圆弧形凹槽，对称的矩形凹槽和对称的圆弧形凹槽分别形成容纳两种基片的大矩形凹槽和正圆形凹槽，支架臂上的矩形凹槽和圆弧形凹槽的深度均小于支架臂厚度的2/3，矩形凹槽和圆弧形凹槽的深度均大于所装基片厚度，由对称的圆弧形凹槽形成的正圆形直径大于由对称的矩形凹槽所形成的大矩形凹槽的宽度，而且大矩形凹槽的对角线长度大于正圆形凹槽的直径。
2.根据权利要求1所述通用型OLED基片样品架，其特征在于，所述由对称的圆弧形凹槽形成的正圆形直径等于所装圆形基片的直径加0.2mm。
3.根据权利要求1所述通用型OLED基片样品架，其特征在于，所述由对称的矩形凹槽所形成的大矩形凹槽的长和宽等于所装矩形基片的长和宽上各加0.2mm。
全文摘要
本发明涉及一种通用型OLED基片样品架，一对外形对称的长方体支架臂分别固定在基座上，基座的距离与放置的基片配套，在对称的长方体支架臂相对的一侧，开有一对对称的矩形凹槽和一对对称的圆弧形凹槽，对称的矩形凹槽和对称的圆弧形凹槽分别形成容纳两种基片的大矩形凹槽和正圆形凹槽，矩形凹槽和圆弧形凹槽的深度均大于所装基片厚度，由对称的圆弧形凹槽形成的正圆形直径大于由对称的矩形凹槽所形成的大矩形凹槽的宽度，而且大矩形凹槽的对角线长度大于正圆形凹槽的直径。该通用样品架兼容形玻璃基板和硅基基板的尺寸。从而避免了制备和更新样品架带来的物料与时间损失，并且使得更换样品架导致的腔内真空度破坏和意外的机械结构损耗得以避免。
文档编号C23C14/24GK103147058SQ20111040173
公开日2013年6月12日 申请日期2011年12月7日 优先权日2011年12月7日
发明者李诺, 刘畅, 余峰 申请人:上海广电电子股份有限公司