专利名称：一种光伏玻璃溅镀靶极自循环冷却装置的制作方法
技术领域：
本发明属于一种光伏玻璃溅镀靶极自循环冷却装置，具体涉及一种光伏玻璃溅镀靶极自循环冷却装置，特别是指一种能散除真空溅镀靶极工作热能，以确保靶极运作正常。
背景技术：
光伏玻璃溅镀靶极主要作为溅镀岂止的来源，是以物理气象沈积方式运作，其工作原理既在真空腔室通入高压电源以解离腔室内工作气体，同时以溅镀靶极为阴极，解离后的工作气体中含有正离子及电子，正离子在高压电场的作用下会被加速冲向阴极的靶极，轰击靶极上的溅镀原材料，使材料以原子方式飞溅在对象的光伏玻璃表面上，形成薄膜。是以，此过程会在靶极上产生极高的热能，需要将废热适时的散除，否则靶极会因为温度过高产生极大的副作用，甚至无法工作。而目前作普遍的作法是，在靶极上通入连接整个系统的冷却水回路，众所周知地，此类方式所常面临耗水量大、水压及水温无法独立控制等问题。
发明内容
综上所述，为了克服现有技术不足，本发明的主要目的在于提供一种光伏玻璃溅镀靶极自循环冷却装置，包含一循环系统单元、一连接该循环系统单元且包括一冰水进水单元、及一设置于冰水进水单元及循环系统单元的温控阀进水系统单元。该冰水进水单元为厂务端进水系统，水温保持在1(T15°C，且一用以将冷却水输出往循环系统、一旁路连接管路及一供已经回流之冷却水。温控阀进水单元未动作时，循环系统以自循环方式循环管内的冷却水至溅镀靶极，可独立控制循环至溅镀靶极的水流及水压，当温控阀进水单元动作时，阀门打开，冷却水进水单元的冷却水进入循环系统单元快速冷却靶极温度，待温度下降后，阀门既关闭，循环系统回到先前状态，循环管内冷却水至靶极，藉此，整体溅镀靶极可独立控制温度，热交换效率佳，且达到省水功效。
本发明之功效在于，利用该循环系统单元、该冷却水进水系统单元与该温控阀进水单元等相配合，达到热能交换，水压及水温控制等功效。第一图系为本发明一种光伏玻璃溅镀靶极自循环冷却装置示意图，主要组件符号说明:1...循环汞浦2...溅镀靶极3...自循环进水管4...自循环出水管5...温控单元
6...自循环出水管温度传感器7...自循环进水管温度传感器8...冷却水进水阀9...自循环旁路管路。
具体实施例方式下面结合附图
对本发明做进一步说明。请参阅第一图所示，一种光伏玻璃溅镀靶极自循环冷却装置，是属于密闭式循环系统，其包括循环汞浦1、溅镀靶极2、自循环进水管3、自循环出水管4、温控单元5、自循环出水管温度传感器6、自循环进水管温度传感器7、冷却水进水阀8及自循环旁路管路9所组成，该冰水进水单元为厂务端进水系统，保持在1(T15°C，且一用以将冷却水输出往循环系统，具体作用是:循环汞浦I将循环水从自循环进水管3将循环水输入至溅镀靶极2，在从自循环出水管路4回至循环汞浦I，如此不断循环以将溅镀靶极2的工作热能散除，同时设有旁路管9以消除多馀水压却保管内压力保一稳定。该温控阀进水单元5是用以侦测管内水温，当自循环出水管温度传感器6读值未超过设定值时，整个系统处于密闭式循环，当自循环出水管温度传感器6温度超过设定值时，温控阀进水单元5动作，同时打开外部冷却水进水阀8，此举，将外部冷却冰水引入密闭式循环中，以快速冷却循环系统中来自溅镀靶极2的热能，循环系统以自循环方式循环管内的冷却水至溅镀靶极2，可独立控制循环至溅镀靶极2的水流及水压，当温控阀进水单元5动作时，冷却水进水阀门8打开，冷却水进水单元的冷却水进入循环系统单元快速冷却靶极温度，待温度下降后，冷却水进水阀门9关闭，循环系统回到先前状态，循环管内冷却水至靶极。以上所述实例是对本发明技术方案的说明而非限制，所属技术领域普通技术
人员的等同替换或者根据现有技术而做的修改，只要未超出本发明技术方案的思路和范围，均应包含在本发 明的权利要求范围之内。
权利要求
1.一种光伏玻璃溅镀靶极自循环冷却装置，包含一循环系统单元、一连接该循环系统单元且包括一冰水进水单元、及一设置于冰水进水单元及循环系统单元的温控阀进水系统单元，该冰水进水单元为厂务端进水系统，水温保持在1(T15°C，且一用以将冷却水输出往循环系统、一旁路连接管路及一供已经回流之冷却水；温控阀进水单元未动作时，循环系统以自循环方式循环管内的冷却水至溅镀靶极，可独立控制循环至溅镀靶极的水流及水压，当温控阀进水单元动作时，阀门打开，冷却水进水单元的冷却水进入循环系统单元快速冷却靶极温度，待温度下降后，阀门既关闭，循环系统回到先前状态，循环管内冷却水至靶极，藉此，整体溅镀靶极可独立控制温度，热交换效率佳，且达到省水功效。
2.根据权利要求1所述之一种光伏玻璃溅镀靶极自循环冷却装置，其特徵在温控阀进水单元于进水口及出水口设置温度传感器。
3.根据权利要求1所述之一种光伏玻璃溅镀靶极自循环冷却装置，该循环系统单元包括一循环汞浦。
全文摘要
本发明系提供一种光伏玻璃溅镀靶极自循环冷却装置，包含一循环系统单元、一连接该循环系统单元且包括一冰水进水单元、及一设置于冰水进水单元及循环系统单元的温控阀进水系统单元。该冰水进水单元为厂务端进水系统，水温保持在10~15℃，且一用以将冷却水输出往循环系统、一旁路连接管路及一供已经回流之冷却水。温控阀进水单元未动作时，循环系统以自循环方式循环管内的冷却水至溅镀靶极，可独立控制循环至溅镀靶极的水流及水压，当温控阀进水单元动作时，阀门打开，冷却水进水单元的冷却水进入循环系统单元快速冷却靶极温度，待温度下降后，阀门既关闭，循环系统回到先前状态，循环管内冷却水至靶极，藉此，整体溅镀靶极可独立控制温度，热交换效率佳，且达到省水功效。
文档编号C23C14/34GK103184417SQ20111045594
公开日2013年7月3日 申请日期2011年12月31日 优先权日2011年12月31日
发明者周文彬, 刘幼海, 刘吉人 申请人:吉富新能源科技(上海)有限公司