专利名称：靶材金属化蒸发镀膜用多功能夹具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种薄膜生产领域中靶材背面金属化蒸发镀膜处理用的多功能夹具。
背景技术：
磁控溅射镀膜是真空镀膜的主要形式之一，是一种成本低、速度快的薄膜形成方法。磁控溅射镀膜在靶材表面引入磁场，带电粒子在磁场的约束下轰击靶材，使靶材发生溅射，沉积成膜。在溅射的过程中靶材需要足够的机械强度经受离子的轰击，且轰击过程中靶材会产生大量的热，需要冷却。因此，通常会把靶材与金属背板焊接，金属板背面由冷却水循环系统冷却。为了使靶材和金属背板能够牢靠的焊接起来，具有足够的联接强度，在焊接前，通常需要把靶材背面金属化蒸发镀膜处理。靶材金属化蒸发镀膜，需要把靶材装入夹具中放置在镀膜机的特定位置，而根据生产的需要，靶材的大小及形状往往又各不相同，因此需要制造大量的夹具，有些夹具由于需求不大，在使用过后长时间闲置，造成资源的浪费。
发明内容针对上述现有技术，本实用新型要解决的技术问题是提供一种能够满足不同大小靶材金属化镀膜的需求且能重复利用的靶材金属化蒸发镀膜用多功能夹具。为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案一种靶材金属化蒸发镀膜用多功能夹具，包括支架和数根夹条，所述支架上开有贯通其上下表面的通孔，在通孔四周的支架上均设置有导轨，夹条通过螺丝固定连接于导轨间。作为优选，支架上的通孔为方形，方形通孔相对两边上的导轨相平行，夹条连接在相互平行的导轨之间。作为优选，所述夹条两侧开有放置靶材的槽道。与现有技术相比，本实用新型具有以下优点夹条间的距离能够通过螺丝的松紧自由在支架上调节，在适用最大尺寸的范围内，能够满足不同大小及形状的靶材金属化镀膜需求，扩大了夹具的实用范围，减少了夹具的需求量；而且加工方便，成本低廉，操作简单，具有普遍适用的多功能性。
图1为本实用新型实施例的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步的描述。参见图1，一种靶材金属化蒸发镀膜用多功能夹具，包括铝制材质的支架1和夹条 2，所述支架1为圆柱形且其中部开有贯通其上下表面的方形通孔，在方形通孔的四周的支架1上均设置有导轨3且方形通孔相对两边上的导轨3相平行，夹条2连接在相互平行的导轨3之间，本实施例所述的导轨3即为贯通支架1上下表面的条形通孔，支架1的方形通孔的侧壁上开有与该条形通孔连通的通孔，夹条2通过该通孔连接在导轨3间，所述夹条2 还通过可调松紧的螺丝4固定于导轨3上，夹条2的数目可根据生产需要加减，作为优选， 本实施例的夹条2两侧开有放置靶材的槽道，用槽道能够更好的放置待镀靶材。 靶材金属化蒸发镀膜时，根据靶材尺寸大小，调节相邻夹条2间的距离，调整到合适位置时，旋紧螺丝4，使夹条2固定，把调整好的夹具放入镀膜机真空室中，在相邻夹条2 的槽道上放置待镀靶材，在镀膜机的蒸发舟中放入蒸镀合金熔料，关闭真空室后抽真空，即可开始镀膜。该夹具可根据靶材大小及形状自由调整，节约了资源，降低了成本，而且操作也很简单。
权利要求1.一种靶材金属化蒸发镀膜用多功能夹具，其特征在于包括支架(1)和数根夹条(2)，所述支架(1)上开有贯通其上下表面的通孔，在通孔四周的支架(1)上设置有导轨(3)，夹条(2)通过螺丝(4)固定连接于导轨(3)间。
2.根据权利要求1所述的靶材金属化蒸发镀膜用多功能夹具，其特征在于支架(1) 上的通孔为方形，方形通孔相对两边上的导轨(3)相平行，夹条(2)连接在相互平行的导轨 (3)之间。
3.根据权利要求1或2所述的靶材金属化蒸发镀膜用多功能夹具，其特征在于所述夹条(2 )两侧开有放置靶材的槽道。
专利摘要本实用新型公开了一种靶材金属化蒸发镀膜用多功能夹具，属于薄膜生产领域，旨在提供一种能够满足不同大小靶材金属化镀膜的需求且能重复利用的靶材金属化蒸发镀膜用多功能夹具；包括支架和数根夹条，所述支架上开有贯通其上下表面的通孔，在通孔四周的支架上均设置有导轨，夹条通过螺丝固定连接于导轨间。由于本实用新型的夹条间的距离能够通过螺丝的松紧自由在支架上调节，在适用最大尺寸的范围内，能够满足不同大小及形状的靶材金属化镀膜需求，扩大了夹具的实用范围，减少了夹具的需求量；而且加工方便，成本低廉，操作简单，具有普遍适用的多功能性。
文档编号C23C14/50GK201990719SQ201120002588
公开日2011年9月28日 申请日期2011年1月6日 优先权日2011年1月6日
发明者房瑞晓, 柴林 申请人:成都超纯应用材料有限责任公司