专利名称：真空设备的感测装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种真空设备的感测装置，特别是指一种用以检测所移送入的一块基板是否位在加工位置的真空设备的感测装置。
背景技术：
一般的真空溅镀设备在运作时，是将一基板水平式地移载入一真空腔体内，同时会通过一设置在该真空腔体内的检测装置，来测知该基板是否位在一镀膜加工位置，例如， 在该基板移至该镀膜加工位置时，其会挡阻在该检测装置的一发射器与一接收器间，造成该发射器所发射出的红外线因受到该基板阻挡，而无法传递至该接收器，这时候，高电压便会施加在阴、阳电极间以驱动辉光放电效应，将该真空腔体中的放电气体(如氩气)高温离子化成等离子体，等离子体中的离子会轰击靶材，使得靶材材料的原子或分子溅飞出，并沉积、附着于该基板表面上以形成薄膜。而在完成上述的镀膜加工后，该基板会继续移动，以移出该镀膜加工位置并进入下一工序，随着该基板移出该发射器与该接收器间，该发射器所发射出的红外线便能毫无阻碍地传递至该接收器，这时候，便得以立刻停止高电压的施加与所驱动的辉光放电作用。然而，由于上述该检测装置的发射器与接收器皆是设置在该真空腔体中，不但会受到充斥在该真空腔体中的游离气体或靶材分子所污染，且存有不耐高温而容易故障、毁坏的虞虑，由于难以长期维持良好的检测效率，相对必须增加定期予以清理、检修等作业的频率，造成维护成本高。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种维护成本较低的真空设备的感测装置。本实用新型的真空设备的感测装置，其设置在该真空设备的一个腔体上，该腔体容置一块基板，并具有一个第一腔壁，以及一个相反于该第一腔壁的第二腔壁；该真空设备的感测装置包含一个设置在该第一腔壁的一个外壁面上的接收器，以及一个设置在该第二腔壁的一个外壁面上的发射器；该发射器发出至少一束直线前进至该接收器，或以夹角小于90度的方式入射该基板的一个板面且因而受阻无法直进至该接收器的光线。本实用新型所述的真空设备的感测装置，该光线与该基板的该板面的夹角是介于 3° 4°间。本实用新型所述的真空设备的感测装置，该腔体的第二腔壁具有一个入射开孔， 该发射器具有一个设置在该腔体的第二腔壁且环绕该入射开孔的固定环座、一个贴抵该入射开孔的一端且嵌置在该固定环座中的入射窗玻璃、一个设置在该固定环座的远离该腔体的一个端面且与该入射窗玻璃相间隔的定位座，以及至少一个设置在该定位座上的发射件，该固定环座、该入射窗玻璃与该定位座相配合界定出一个入射空间，该发射件能发射出该光线，该光线能依序穿透经该入射空间、该入射窗玻璃、该入射开孔而进入到该腔体内。本实用新型所述的真空设备的感测装置，该腔体的第一腔壁具有一个出射开孔，
3该接收器具有一个设置在该腔体的第一腔壁且环绕该出射开孔的定位环座、一个贴抵该出射开孔的一端且嵌置在该定位环座中的出射窗玻璃、一个设置在该定位环座的远离该腔体的一个端面且与该出射窗玻璃相间隔的固定座，以及至少一个设置在该固定座上的接收件，该定位环座、该出射窗玻璃与该固定座相配合界定出一个出射空间，进入该腔体中的该光线依序穿透经该出射开孔、该出射窗玻璃、该出射空间以抵达该接收件。本实用新型的有益效果在于，利用该接收器与该发射器分别设置在该腔体的第一腔壁的外壁面、第二腔壁的外壁面上，配合上该接收器、该基板与该发射器间所构成的特殊相对位置关系，从而让整体的维护成本低，且能长期维持精确的感测效率。
图1是一侧剖示意图，说明本实用新型真空设备的感测装置的一个较佳实施例， 在一块基板尚未移至一个加工位置时的动作状态；图2是一侧视图，说明该较佳实施例的一个接收器的外部结构；图3是取自于图1的一局部放大图，说明该较佳实施例的该接收器的细部构造；图4是取自于图1的一局部放大图，说明该较佳实施例的一个发射器的细部构造；图5是一侧剖示意图，说明该较佳实施例在该基板移至该加工位置时的动作状态。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。如图1与图2所示，本实用新型真空设备的感测装置的一个较佳实施例，其设置在该真空设备的一个呈扁四方体状的腔体1上，用来检测一块平放地移送入该腔体1内的基板3是否位在一个加工位置，以能控制镀膜加工工序的启动与结束时机。当然，该真空设备的感测装置也可以用来控制其他工序(如镀膜前的预热、镀膜后的加热表面改质…等)的作业时机，所以其适用性并不受本实施例所限制。其中，该腔体1具有一个对应该基板3的平行其移送方向的一侧的第一腔壁11， 以及一个对应该基板3的平行其移送方向的相反另一侧且面对该第一腔壁11的第二腔壁 12 ；该第一腔壁11具有一个出射开孔13，该第二腔壁12具有一个入射开孔14，特别是，该出射开孔13的高度是相对低于该基板3，而该入射开孔14的高度是相对高于该基板3。该真空设备的感测装置包含一个设置在该腔体1的第一腔壁11的一个外壁面上且位在该出射开孔13处的接收器2，以及一个设置在该腔体1的第二腔壁12的一个外壁面上且位在该入射开孔14处的发射器4。所以，该发射器4与该接收器2的设置高度也会不同，该发射器4的设置高度是相对高于该基板3，而该接收器2的设置高度是相对低于该基板3。如图2与图3所示，该接收器2具有一个锁固设置在该腔体1的第一腔壁11上且环绕该出射开孔13的定位环座21、一个贴抵该出射开孔13的一端且嵌置在该定位环座21 中的出射窗玻璃22、一个锁固设置在该定位环座21的远离该腔体1的一个端面且与该出射窗玻璃22相间隔的固定座23，以及二个等高地间隔设置在该固定座23上的接收件24。其中，该定位环座21、该出射窗玻璃22与该固定座23相配合界定出一个出射空间25 ；特别是，所述二个接收件M是呈现左下右上的倾斜态样，每一个接收件M的上扬且朝向右的一个接收端是位在该出射空间25中，另外，所述接收件M的数量也可以是一个、三个…。如图4所示，该发射器4的结构基本上是与该接收器2的结构相同，该发射器4具有一个锁固设置在该腔体1的第二腔壁12且环绕该入射开孔14的固定环座41、一个贴抵该入射开孔14的一端且嵌置在该固定环座41中的入射窗玻璃42、一个锁固设置在该固定环座41的远离该腔体1的一个端面且与该入射窗玻璃42相间隔的定位座43，以及二个等高地间隔设置在该定位座43上的发射件44(图中只显示出其中一个)。其中，该固定环座 41、该入射窗玻璃42与该定位座43相配合界定出一个入射空间45 ；特别是，所述二个发射件44是呈现左下右上的倾斜态样，每一个发射件44的下垂且朝向左的一个发射端是位在该入射空间45中，另外，所述发射件44的数量也可以是一个、三个…。本实用新型主要是，如图1、图3与图4所示，当该基板3 (以假想线表示)尚未移送至该加工位置或已远离该加工位置时，该发射器4的所述二个发射件44所分别朝左下方斜射出的一束光线(本实施例为红外线，其行进方向与行程如实线箭头所示)，会依序穿透经该入射空间45、该入射窗玻璃42、该入射开孔14而进入到该腔体1内部，并继续直线前进，最后依序穿透经该出射开孔13、该出射窗玻璃22、该出射空间25而分别抵达所述二个接收件M以被接收。相反地，如图5所示，当该基板3已移送至该加工位置，并横隔在该发射器4与该接收器2间时，所述二个发射件44所发射出的二束光线(其行进方向与行程如实线箭头所示)会以夹角θ小于90度的方式，入射该基板3的面向上的一个板面，由于所述二束光线会被该基板3所阻挡，所以无法继续直进至所述二个接收器2。其中，所述夹角θ指的是所述光线与该基板3的该板面的夹角，在本实施例，所述夹角θ是介于3° 4°间，其中又以3. 12°为佳。更具体而论，当该基板3移至该加工位置时，从该发射器4斜向下发射出的光线， 便会受到该基板3阻隔而无法继续直进至该接收器2，一旦该接收器2未接收到光线，镀膜加工作业便会启动，以在该基板3的该板面上沉积成形出薄膜；而当镀膜加工作业完成后， 该基板3便会继续移动往下一个工序，只要该基板3移开该加工位置，从该发射器4发射出的光线便能顺畅无阻地直线前进至该接收器2，从而使镀膜加工作业随即停止。所以，利用该接收器2与该发射器4是分别设置在该腔体1的第一腔壁11的外壁面、第二腔壁12的外壁面的方式，配合上该接收器2、该基板3 (位在该加工位置时)与该发射器4三者所构成独特的相对位置关系，使得该发射器4与该接收器2能够免于高温刺激与积尘污染，以长时间维持精确的感测效率，并减少清理、维修的频率，有效降低维护成本， 改善一般真空设备的检测装置是设置在腔体1中所造成维修成本较高的问题。另要说明的是，在上述的实施例中，该发射器4与该接收器2是相对该基板3呈右上左下关系(以图1的方向来说明，以下同)，当然，该发射器4与该接收器2的设置位置也可以是相对该基板3呈左下右上、左上右下、右下左上等态样。
权利要求1.一种真空设备的感测装置，其设置在该真空设备的一个腔体上，该腔体容置一块基板，并具有一个第一腔壁，以及一个相反于该第一腔壁的第二腔壁，该真空设备的感测装置包含一个接收器，以及一个发射器；其特征在于该接收器是设置在该第一腔壁的一个外壁面上，该发射器是设置在该第二腔壁的一个外壁面上，且发出至少一束直线前进至该接收器，或以夹角小于90度的方式入射该基板的一个板面且因而受阻无法直进至该接收器的光线。
2.根据权利要求1所述的真空设备的感测装置，其特征在于该光线与该基板的该板面的夾角是介于3° 4°间。
3.根据权利要求1或2所述的真空设备的感测装置，其特征在于该腔体的第二腔壁具有一个入射开孔，该发射器具有一个设置在该腔体的第二腔壁且环绕该入射开孔的固定环座、一个贴抵该入射开孔的一端且嵌置在该固定环座中的入射窗玻璃、一个设置在该固定环座的远离该腔体的一个端面且与该入射窗玻璃相间隔的定位座，以及至少一个设置在该定位座上的发射件，该固定环座、该入射窗玻璃与该定位座相配合界定出一个入射空间， 该发射件发射出该光线，该光线依序穿透经该入射空间、该入射窗玻璃、该入射开孔而进入到该腔体内。
4.根据权利要求3所述的真空设备的感测装置，其特征在于该腔体的第一腔壁具有一个出射开孔，该接收器具有一个设置在该腔体的第一腔壁且环绕该出射开孔的定位环座、一个贴抵该出射开孔的一端且嵌置在该定位环座中的出射窗玻璃、一个设置在该定位环座的远离该腔体的一个端面且与该出射窗玻璃相间隔的固定座，以及至少一个设置在该固定座上的接收件，该定位环座、该出射窗玻璃与该固定座相配合界定出一个出射空间，进入该腔体中的该光线依序穿透经该出射开孔、该出射窗玻璃、该出射空间以抵达该接收件。
专利摘要一种真空设备的感测装置，包含一个设置在一个腔体的一个第一腔壁的一个外壁面上的接收器，以及一个设置在该腔体的一个第二腔壁的一个外壁面上的发射器；该发射器能发出至少一束能直线前进至该接收器，或以夹角小于90度的方式入射该基板的一个板面且因而受阻无法直进至该接收器的光线。本实用新型主要是利用该接收器与该发射器分别设置在该第一腔壁的外壁面与该第二腔壁的外壁面上，配合该接收器、该基板与该发射器间所构成的特殊相对位置关系，让整体的维护成本低，且能长期维持精确的感测效率。
文档编号C23C14/54GK202126508SQ20112021861
公开日2012年1月25日 申请日期2011年6月23日 优先权日2011年6月23日
发明者张延任, 谢昆山, 郑博仁, 黄泳钊 申请人:北儒精密股份有限公司