专利名称：一种滤气旋转轴的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于等离子体化学汽相沉积沉积车床的旋转密封夹头，具体涉及该沉积车床进气端旋转密封夹头中的滤气旋转轴。
背景技术：
等离子体化学气相沉积工艺(即PCVD工艺)是目前光纤芯棒制造的主要方法之一。该工艺是一种管内沉积工艺。其工艺机理是将混合后的反应气体流入高纯石英衬管内， 利用高频微波源产生等离子体使其迅速发生物理化学反应，形成高纯或者具有一定比例掺杂的二氧化硅，在高纯石英衬管内壁直接以玻璃态沉积。现有技术中，在PCVD沉积车床进气端的供气管道中安装有气体过滤器，其作用是对反应气体进行过滤，以保持反应气体的纯净。同时，如果在发生生产事故时造成气体反冲，过滤器在一定程度上能防止外界空气及杂质进入进气管道内，减少其对气体管道的污染。目前PCVD沉积车床所用的气体过滤器为全玻璃结构，由两部分玻璃壳体对接锁紧而成，两者之间夹有一片滤纸。玻璃过滤器一端与进气管道连接，一端与沉积车床的旋转密封夹头连接。该玻璃过滤器虽可便于观察，但其制作和安装的难度大，易于破损，滤纸也容易在发生反冲时被过强的气流冲破。随着光纤预制棒制备技术的进步，对沉积车床的密封性也提出了更高的要求。由于玻璃过滤器串接安装在进气管道中，这不仅破坏了进气金属管道的完整性，而且增加了管道中接头的数量，从而增加了整个进气管路的泄漏风险，使得沉积车床进气系统的密封性能下降，最终将影响光纤预制棒的加工质量。
发明内容本实用新型所要解决的技术问题是针对上述现有技术中存在的不足而提供的一种易于制作和安装，能提高沉积车床进气系统密封性能的滤气旋转轴。本实用新型为解决上述提出的问题所采用的技术方案为包括有转轴，转轴的中部开设轴向通孔，轴向通孔的一侧为进气端，其特征在于在轴向通孔中安设筒状过滤筛网。按上述方案，所述的筒状过滤筛网为圆筒状，一端开口并设置外翻的固定圈，开口朝向轴向通孔进气端。按上述方案，所述的筒状过滤筛网的另一端安设不滤气的封盖。按上述方案，所述的筒状过滤筛网通过密封环座固定在轴向通孔近进气端侧，所述的密封环座包括密封座套和锁紧螺套，密封座套和锁紧螺套通过内外螺纹相配置，密封座套外周安设密封圈与轴向通孔密封配置，筒状过滤筛网的开口端通过锁紧螺套固定在密封座套内腔。按上述方案，所述的筒状过滤筛网为筒状金属过滤筛网，过滤精度为0. 03um。按上述方案，所述的筒状过滤筛网外径为6 12毫米，轴向长度为40 60毫米。本实用新型的有益效果在于1.与现有的全玻璃结构过滤器相比，本实用新型易于制作和安装，结构设置更为合理，且使用寿命长，可靠性高，拆装方便，易于更换；2.过滤筛网安设在旋转夹头的转轴中，不必在进气管道中安设玻璃过滤器，这样可保持沉积车床进气管道的完整性，提高进气管道的密封性能；3.采用筒状过滤筛网，过滤面积大，气阻小，而筒状过滤筛网的另一端安设不滤气的封盖可起到缓冲气流，使气体混合均勻的作用。
图1为本实用新型一个实施例的正剖视结构图，箭头表示气流方向。图2为本实用新型筒状过滤筛网的正剖视结构图。
具体实施方式
以下结合附图详述本实用新型的实施例。包括有安设在沉积车床旋转夹头中的转轴7，转轴的中部开设轴向通孔，轴向通孔的一侧为进气端，轴向通孔呈递增台阶状，从进气端始逐级直径增大，在轴向通孔近进气端侧通过密封环座安设筒状密封筛网2，所述的筒状过滤筛网为圆筒状，由不锈钢丝筛网制成，包括过滤筛筒9，过滤筛筒一端开口并设置外翻的固定圈8，开口朝向轴向通孔进气端安设，另一端安设不滤气的封盖10，筒状过滤筛网外径为8毫米，轴向长度为50毫米，过滤精度为0. 03um。。所述的密封环座包括密封座4和锁紧螺套3，密封座套和锁紧螺套通过内外螺纹相配置，密封座套外周安设外密封圈6与轴向通孔密封配置，筒状过滤筛网开口端的固定圈前端配置密封圈5，通过锁紧螺套将固定圈和密封圈锁紧在密封座套内腔端面，使得筒状过滤筛网密封固定在转轴轴向通孔近进气端侧。转轴轴向通孔的另一侧密封连接高纯石英衬管1，带动高纯石英衬管旋转并提供混合后的反应气体。
权利要求1.一种滤气旋转轴，包括有转轴，转轴的中部开设轴向通孔，轴向通孔的一侧为进气端，其特征在于在轴向通孔中安设筒状过滤筛网。
2.按权利要求1所述的滤气旋转轴，其特征在于所述的筒状过滤筛网为圆筒状，一端开口并设置外翻的固定圈，开口朝向轴向通孔进气端。
3.按权利要求2所述的滤气旋转轴，其特征在于所述的筒状过滤筛网的另一端安设不滤气的封盖。
4.按权利要求1或2所述的滤气旋转轴，其特征在于所述的筒状过滤筛网通过密封环座固定在轴向通孔近进气端侧，所述的密封环座包括密封座套和锁紧螺套，密封座套和锁紧螺套通过内外螺纹相配置，密封座套外周安设密封圈与轴向通孔密封配置，筒状过滤筛网的开口端通过锁紧螺套固定在密封座套内腔。
5.按权利要求4所述的滤气旋转轴，其特征在于所述的筒状过滤筛网为筒状金属过滤筛网，过滤精度为0. 03um。
6.按权利要求5所述的滤气旋转轴，其特征在于所述的筒状过滤筛网外径为6 12毫米，轴向长度为40 60毫米。
专利摘要本实用新型涉及一种用于等离子体化学汽相沉积沉积车床的旋转密封夹头，具体涉及该沉积车床进气端旋转密封夹头中的滤气旋转轴。包括有转轴，转轴的中部开设轴向通孔，轴向通孔的一侧为进气端，其特征在于在轴向通孔中安设筒状过滤筛网。本实用新型易于制作和安装，结构设置更为合理，且使用寿命长，可靠性高，拆装方便，易于更换；过滤筛网安设在旋转夹头的转轴中，不必在进气管道中安设玻璃过滤器，这样可保持沉积车床进气管道的完整性，提高进气管道的密封性能；本实用新型采用筒状过滤筛网，过滤面积大，气阻小，而筒状过滤筛网的另一端安设不滤气的封盖可起到缓冲气流，使气体混合均匀的作用。
文档编号C23C16/455GK202181351SQ201120283068
公开日2012年4月4日 申请日期2011年8月5日 优先权日2011年8月5日
发明者刘涛, 孙建华, 王润涵, 龙胜亚 申请人:长飞光纤光缆有限公司