专利名称：喷头可拆式特气管的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种特气管，具体地说是一种可拆喷头的特气管，属于PECVD镀膜技术领域。
背景技术：
随着光伏行业的迅猛发展，各电池片厂商面临着越来越大的竞争压力，而设备的维护时间和维护成本占了很了很大一部分，特气管是PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor D印osition)镀膜上面的重要零部件，由于其在反应腔式里工作，反应生成的氮化硅会沉积在特气管的出气口处而堵塞气管。PECVD设备领域以R0TH&RAU为代表的特气管一般由一根氨气管，两根左、右硅烷管组成(统称特气管)。特气管在工艺腔中负责向腔体内提供氨气和硅烷，然后在微波的激发下生成等离子体，沉积在太阳能电池片上，然而随着使用时间的加长，生成的沉积物会附着在气管喷气孔，这样喷气孔便逐渐变小，甚至将喷气孔堵住。这样腔室将不能获得较均勻的等离子体而影响电池片镀膜的均勻性。为了保正反应的正常进行，必须定期对特气管进行拆洗维护，而反应生成的氮化硅也会沉积在安装螺钉处，使得特气管的拆洗、更换异常繁琐，甚至有可能在拆洗更换中损坏设备，传统的硅烷管采用整体式，管体与安装板焊接在一起，再用螺钉将安装板固定在设备上，为保证硅烷管牢固可靠，固定板采用8个螺钉固定，当硅烷管需要拆洗时，需要将硅烷管上的特气管8个螺钉都同时拆下，而沉积在安装螺钉上的氮化硅也会增加拆卸的难度，工作量非常大；而随着使用，硅烷管管体损坏时候，则硅烷管的管体部分连同安装板都需要做报废处理，非常浪费。
发明内容本实用新型的目的在于克服上述不足之处，提供一种喷头可拆式特气管，当特气管在使用过程中被沉积的氮化硅堵住时候，在不需要从设备上拆除特气管的基础上通过更换被堵住的喷头便实现设备的维护，降低了设备的维护难度和采购特气管的成本。按照本实用新型提供的技术方案，所述喷头可拆式特气管，包括管体，其特征是 管体上焊接有导套，导套上有一可拆卸的通气套。所述可拆卸的通气套上设置有第二通气孔。所述导套带外螺纹，导套上有一个与设置于管体的第一通气孔同心的通孔。所述可拆卸的通气套通过导套上的外螺纹与导套连接。本实用新型具有如下优点 该实用新型可在设备维护时候不需要完全拆除特气管，便可以解决喷头堵塞的问题；该实用新型喷头与特气管采用螺纹连接，密封性好，更换方便；③由于本实用新型的应用，特气管堵塞的时候不需要拆除清洗，因此不会因用酸清洗腐蚀特气管而影响寿命；设备维护时只需更换该实用新型的可拆喷头即可，所以大大降低了特气管的采购成本。
图1是本实用新型使用状态图。图2是本管体结构图。图3是管体安装导套后的结构图。图4是通气套结构图。
具体实施方式
如图1-2所示，在管体1上焊接有导套3，导套3上有一可拆卸的通气套4。所述可拆卸的通气套4上设置有第二通气孔5。所述导套3带外螺纹，导套3上有一个与设置于管体1的第一通气孔2同心的通孔。所述可拆卸的通气套4通过导套3上的外螺纹与导套3连接。目前市场上所使用的特气管在拆除、清洗的时候十分不便，而本实用新型在使用过程中或者设备维护过程中若可拆通气套4被沉积的氮化硅堵塞，只需卸下该通气套4，而不需要完全更换掉整个特气管，缩短了设备维护成本与时间。
权利要求1.喷头可拆式特气管，包括管体(1)，其特征是管体(1)上焊接有导套(3)，导套(3) 上有一可拆卸的通气套(4)。
2.根据权利要求1所述喷头可拆式特气管，其特征是所述可拆卸的通气套(4)上设置有第二通气孔(5)。
3.根据权利要求1或2所述的喷头可拆式特气管，其特征是所述导套(3)带外螺纹， 导套(3)上有一个与设置于管体(1)的第一通气孔(2)同心的通孔。
4.根据权利要求3所述喷头可拆式特气管，其特征是所述可拆卸的通气套(4)通过导套(3)上的外螺纹与导套(3)连接。
专利摘要本实用新型涉及一种特气管，具体地说是一种可拆喷头的特气管，属于PECVD镀膜技术领域。按照本实用新型提供的技术方案，所述喷头可拆式特气管，包括管体，其特征是管体上焊接有导套，导套上有一可拆卸的通气套。所述可拆卸的通气套上设置有第二通气孔。本实用新型可在设备维护时候不需要完全拆除特气管，便可以解决喷头堵塞的问题；其喷头与特气管采用螺纹连接，密封性好，更换方便；特气管堵塞的时候不需要拆除清洗，因此不会因用酸清洗腐蚀特气管而影响寿命。设备维护时只需更换该实用新型的可拆喷头即可，大大降低了特气管的采购成本。
文档编号C23C16/455GK202297769SQ20112042460
公开日2012年7月4日 申请日期2011年10月31日 优先权日2011年10月31日
发明者代宁, 尤耀明, 李文虎 申请人:无锡绿波新能源设备有限公司