专利名称：钻石晶圆抛光机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及ー种钻石晶圆抛光机。
背景技术：
目前，钻石晶圆抛光机的各个主轴都为联动状态，动カ部分同时驱动各主轴进行联动工作，实际上由于不同钻石晶圆需要加工的程度不同，现有抛光机同步加工的方式存在ー些弊端，即不能根据需要加工的钻石情况选择适当的加工程度转速、正方转、研磨时间等。实用新型内容本实用新型针对目前现有状况存在的问题和不足，提出一种钻石晶圆抛光机。本实用新型所采用的技术方案一种钻石晶圆抛光机，包括支架，磨盘，主轴机构， 以及主轴机构的动カ系统和磨盘的动カ系统，每个主轴机构独立固定在支架上侧，且每个主轴机构有独立的动カ系统；每个主轴的动カ系统包括电机和减速机，电机与减速机传动连接，減速机输出轴上安装的主动齿轮与主轴上固定的从动齿轮匹配啮合。主轴动カ系统的电机设置有正转开关和反转开关。主轴机构设置有旋转部分和轴向顶紧部分，旋转部分包括支撑外壳和轴承套，主轴中部匹配套装于轴承套内，主轴上端安装有从动齿轮，主轴下端连接有载物座；轴向顶紧部分的外壳固定在旋转部分的外壳上端，轴向顶紧部分包括弹簧和活动杆，活动杆与主轴连接并摩擦配合。主轴机构还包括锁紧机构，该锁紧机构是在旋转部分的支撑外壳侧面横向安装有旋紧螺栓，该旋紧螺栓的内端顶压在活动杆上。主轴机构的轴向顶紧部分还设置有加力装置，该加カ装置是在其外壳上端设置有轴向螺纹孔并匹配安装有调节螺栓，该调节螺栓内侧与弹簧连接。本实用新型的积极效果本实用新型将主轴机构设置为彼此独立工作的方式，可以根据需要控制不同的主轴机构的转速、旋转方向和旋转时间，以及可以单独调节每个主轴机构的加力程度，解决了不同钻石晶圆实施不同加工程度的问题，其结构简单，使用效果好，容易生产制造或改造，容易操作控制，非常利于推广实施。
图I是本实用新型侧面结构示意图。图中标号I为支架，2为主轴机构的动力系统，3为主动轮，4为旋转部分的支撑外売，5为锁紧机构的旋钮，6为轴向顶紧部分的外売，7为调节螺栓，8为加カ装置的调节旋钮,9为主轴，10为载物座，11为磨盘。
具体实施方式
參见图，该钻石晶圆抛光机包括支架1，磨盘11。每个主轴机构独立固定在支架I 上侧，且每个主轴机构有独立的动カ系统2。每个主轴的动カ系统2包括电机和減速机，电机与減速机传动连接，減速机输出轴上安装的主动齿轮3与主轴9上固定的从动齿轮匹配啮合，从动齿轮位于外壳内，图中未iU>/jN。主轴动カ系统2的电机可以仅设置单向旋转的开关，也可以设置有正转开关和反转开关。本实施例中，主轴机构设置有旋转部分和轴向顶紧部分。其中，旋转部分包括支撑外壳4和轴承套(位于支撑外壳4内侧)，主轴9的中部匹配套装于轴承套内，主轴9上端安装有从动齿轮，主轴9下端连接有载物座10。轴向顶紧部分的外壳6固定在旋转部分的外壳4上端，轴向顶紧部分包括弹簧和活动杆(均位于其外壳内)，并且轴向顶紧部分还设置有加力装置，该加カ装置是在其外壳6上端设置有轴向螺纹孔并匹配安装有调节螺栓7，该调节螺栓7内侧与弹簧连接，调节螺杆7上端安装有旋钮8。活动杆与主轴9连接并摩擦配
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ロ o同时，主轴机构还包括锁紧机构，该锁紧机构是在旋转部分的支撑外壳4的侧面横向安装有旋紧螺栓，该旋紧螺栓的内端顶压在活动杆上，其外侧设置为旋钮5。
权利要求1.一种钻石晶圆抛光机，包括支架，磨盘，主轴机构，以及主轴机构的动カ系统和磨盘的动カ系统，其特征是每个主轴机构独立固定在支架上侧，且每个主轴机构有独立的动カ 系统；每个主轴的动カ系统包括电机和減速机，电机与減速机传动连接，減速机输出轴上安装的主动齿轮与主轴上固定的从动齿轮匹配啮合。
2.根据权利要求I所述的钻石晶圆抛光机，其特征是主轴动カ系统的电机设置有正转开关和反转开关。
3.根据权利要求I所述的钻石晶圆抛光机，其特征是主轴机构设置有旋转部分和轴向顶紧部分，旋转部分包括支撑外壳和轴承套，主轴中部匹配套装于轴承套内，主轴上端安装有从动齿轮，主轴下端连接有载物座；轴向顶紧部分的外壳固定在旋转部分的外壳上端， 轴向顶紧部分包括弹簧和活动杆，活动杆与主轴连接并摩擦配合。
4.根据权利要求3所述的钻石晶圆抛光机，其特征是主轴机构还包括锁紧机构，该锁紧机构是在旋转部分的支撑外壳侧面横向安装有旋紧螺栓，该旋紧螺栓的内端顶压在活动杆上。
5.根据权利要求3或4所述的钻石晶圆抛光机，其特征是主轴机构的轴向顶紧部分还设置有加力装置，该加カ装置是在其外壳上端设置有轴向螺纹孔并匹配安装有调节螺栓，该调节螺栓内侧与弹簧连接。
专利摘要本实用新型公开了一种钻石晶圆抛光机，包括支架，磨盘，主轴机构，以及主轴机构的动力系统和磨盘的动力系统，每个主轴机构独立固定在支架上侧，且每个主轴机构有独立的动力系统；每个主轴的动力系统包括电机和减速机，电机与减速机传动连接，减速机输出轴上安装的主动齿轮与主轴上固定的从动齿轮匹配啮合。本实用新型将主轴机构设置为彼此独立工作的方式，可以根据需要控制不同的主轴机构的转速、旋转方向和旋转时间，以及可以单独调节每个主轴机构的加力程度，解决了不同钻石晶圆实施不同加工程度的问题，其结构简单，使用效果好，容易生产制造或改造，容易操作控制，非常利于推广实施。
文档编号B24B29/02GK202336791SQ20112048460
公开日2012年7月18日 申请日期2011年11月29日 优先权日2011年11月29日
发明者廖治国, 温峰城, 苑执中 申请人:台钻科技(郑州)有限公司