专利名称：成膜装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种成膜装置，尤其涉及一种构成成膜装置的装入和取出室的结构。本申请基于2010年11月15日申请的特愿2010-255191要求优选权，并在此援引其内容。
背景技术：
作为在半导体基板等形成功能膜的成膜装置，可以例举PVD (Physical VaporDeposition)装置和 CVD (Chemical Vapor Deposition)装置等。以这种PVD装置和CVD装置等为代表的成膜装置至少包括:成膜室，对基板进行成膜；和装入和取出室(装卸腔室)，具有气密性且通过隔离阀(开关部)与成膜室相连。装入和取出室例如将基板从大气压气氛的空间(一侧面)装入于装入和取出室的内部，并对腔室内进行减压后，打开形成在与减压氛围的成膜室连通的另一侧面的隔离阀，将装入腔室内的基板送入成膜室。此外，装入和取出室在减压气氛下，取出在成膜室形成有功能膜的基板，通过另一侧面运送到装入和取出室内(腔室内)，将腔室内转换为大气压气氛后，从一侧面送出完成成膜的基板。S卩，装入和取出室为一种转送腔室，用于在内部为减压气氛的成膜室和大气压气氛的成膜装置之间，在保持成膜室内部的减压气氛状态下取出并装入基板。目前，为了有效地取出并装入多个基板，这种装入和取出室包括运送机构，该运送机构例如将基板的一面沿竖直方向保持直立状态的搬运架(立式搬运架)沿水平方向运送(例如，参照专利文献1、2 )。现有的这种装入和取出室，将需要成膜的基板(成膜前基板)装入于装入和取出室，然后开始对装入和取出室的内部(腔室内部)进行减压，将基板移动至水平方向的一位置并使所述基板避让与成膜室相连的位置(运送位置)。然后，使完成成膜的基板从内部为减压气氛的成膜室移动至装入和取出室，完成成膜的基板移动至水平方向的另一位置。另夕卜，需要成膜的基板移动至与成膜室相连的运送位置，该基板被导入成膜室。而且，将完成成膜的基板再次移动到运送位置，然后使作为装入和取出室的腔室内从减压气氛返回到大气压气氛之后，将该完成成膜的基板取出到装入和取出室的外部。专利文献I国际公开第2010/116721号专利文献2国际公开第2008/129983号但如上所述的具备沿水平方向在与成膜室相连的运送位置和避让位置之间使垂直保持基板的搬运架移动的装入和取出室的成膜装置具有在装入和取出室的水平方向的宽度变大的问题。即，在装入和取出室中，需要保证避让位置在水平方向具有足够的宽度，从而不与位于运送位置的搬运架干扰，因此减小在装入和取出室的水平方向的宽度比较困难。而且，具有如下问题:由于减小在装入和取出室的水平方向的宽度比较困难，不得不增大装入和取出室内的容积，从而增加对装入和取出室的内部进行减压以从大气压气氛转变为真空气氛所需的排气时间。由此，结果会导致在成膜室和成膜室的外部之间取出并装入搬运架时所需的替换时间即装载/取出效率低。另外，具有如下问题:为了使将基板保持为垂直的搬运架沿水平方向在与成膜室相连的运送位置和避让位置之间移动，除了使搬运架沿水平方向移动的移动装置之外，还需要在水平方向延伸的导轨和齿轮等多个构成部件，因此增加成本。进一步地，由于伴随在水平方向延伸的导轨和齿轮等的机械运动的部件产生的微粒，可能会造成装入和取出室的内部污染，基板在通过装入和取出室时其表面会受到污染。
发明内容
本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种成膜装置，该成膜装置包括装入和取出室。该装入和取出室的装入和取出效率优异，易于小型化，并且结构简单，能够以低成本制造。为了解决上述问题、本发明的几种实施方式提供如下的成膜装置。S卩，本发明的成膜装置包括:成膜室，在基板上形成覆膜；搬运架，垂直保持所述基板以使所述基板的一面沿竖直方向；装入和取出室，配置为通过开关部与所述成膜室相连；移动机构，设置在所述装入和取出室内，用于使所述搬运架在使所述搬运架在与所述成膜室之间能够插脱的运送位置和与所述运送位置相邻的避让位置之间移动，并且使所述搬运架沿相对于竖直方向及水平方向分别形成大于0°且小于90°的规定角度的倾斜方向上下移动。优选地，所述移动机构在所述运送位置和相对于所述运送位置位于斜上方的所述避让位置之间，使所述搬运架沿所述倾斜方向上下直线运动。优选地，所述移动机构包括:第一移动机构，使所述搬运架在所述运送位置和相对于所述运送位置位于一斜 上方的第一避让位置之间移动；和第二移动机构，使所述搬运架在所述运送位置和相对于所述运送位置位于另一斜上方的第二避让位置之间移动。优选地，在所述第一移动机构和所述第二移动机构中分别包括支撑所述搬运架并使其移动的伸缩部件，所述第一移动机构的伸缩部件和所述第二移动机构的伸缩部件配置为相互交叉。优选地，所述移动机构使所述搬运架以相对于水平方向45°以上且85°以下的角度沿倾斜方向上下运动。优选地，本发明的成膜装置进一步包括:加热部，设置在靠近所述装入和取出室的所述避让位置的位置，用于加热所述基板。优选地，在本发明的成膜装置中，所述移动机构进一步包括使所述搬运架沿竖直方向移动的第三移动机构。根据本发明的成膜装置，在装入和取出室中，使搬运架沿着相对于竖直方向及水平方向形成规定角度的倾斜方向(即，竖直方向及水平方向)移动。例如，使搬运架在相对于运送位置位于斜上方的避让位置和运送位置之间沿倾斜方向上下直线运动。通过进行这种动作，同现有的使搬运架沿水平方向避让到与运送位置并列的位置的方式相比，能够实现成膜装置的小型化。尤其是，由于使搬运架错开竖直方向及水平方向而避让，因此能够减少搬运架错开竖直方向的量的搬运架在水平方向的移动距离。进一步，相邻的多个搬运架的边缘在竖直方向上处于重合状态，因此能够在装入和取出室收容多个搬运架。于是，能够省略多个搬运架在水平方向上的重合，结果是能够减小装入和取出室在水平方向的宽度，并能够实现成膜装置的小型化。另外，在现有的构成成膜装置的装入和取出室中，只能使搬运架沿水平方向移动，因此需要沿水平方向铺设的导轨和与之配合的轮子等。于是，在现有的成膜装置具有装置复杂而导致的成本增加的问题。另一方面，在构成本发明的成膜装置的装入和取出室中，由于仅需设置沿相对于竖直方向及水平方向分别大于0°且小于90°的角度，即沿倾斜方向提升搬运架的移动机构例如一对油压缸或气缸等即可，因此能够降低成膜装置的制造成本。进一步，本发明在构成成膜装置的装入和取出室中，当使搬运架避让到规定位置时，只需沿相对于竖直方向及水平方向分别大于0°且小于90°的角度，即沿倾斜方向提升搬运架即可。于是，能够减少如以往的沿水平方向铺设的导轨和与之配合的轮子等的产生机械摩擦和接触的运动。因此，能够抑制装入和取出室中的微粒产生，并保持基板表面和装入和取出室内部的清洁状态。
图1为表示本发明的成膜装置主要结构的示意图。图2为从上方观察的构成本发明的成膜装置的装入和取出室的剖视图。图3为从堆积装置(^夕〃力)观察的装入和取出室的剖视图。图4A为表示构成本发明的成膜装置的装入和取出室的动作的剖视图。图4B为表示构成本发明的成膜装置的装入和取出室的动作的剖视图。图4C为表 示构成本发明的成膜装置的装入和取出室的动作的剖视图。图4D为表示构成本发明的成膜装置的装入和取出室的动作的剖视图。图5A为表示构成本发明的成膜装置的装入和取出室的动作的剖视图。图5B为表示构成本发明的成膜装置的装入和取出室的动作的剖视图。图5C为表示构成本发明的成膜装置的装入和取出室的动作的剖视图。图为表示构成本发明的成膜装置的装入和取出室的动作的剖视图。图6A为表示构成本发明的成膜装置的装入和取出室的动作的剖视图。图6B为表示构成本发明的成膜装置的装入和取出室的动作的剖视图。图6C为表示构成本发明的成膜装置的装入和取出室的动作的剖视图。图6D为表示构成本发明的成膜装置的装入和取出室的动作的剖视图。
具体实施例方式下面，参照附图对本发明成膜装置的一实施方式进行说明。本实施方式是为了更好地理解发明宗旨而进行具体说明的内容，如无特别的指定，并不用来限定本发明。另外，在以下说明中使用的附图，其尺寸为可在图上识别结构要素的程度的大小，因此各结构要素的尺寸及比例与实物之间有适当的差异。图1为表示作为本发明成膜装置的一实施方式的组合式(m —B”型)PVD装置(以下简称为成膜装置)整体的示意图。
在本实施例的成膜装置10中，成膜室(成膜腔室)11、装入和取出室(装卸室)10及堆积装置(转装装置)13设置为一列。通过打开以下描述的隔离阀，成膜室11及装入和取出室12连通。另外，同样地通过打开隔离阀，装入和取出室12及堆积装置13连通。并且，载置有基板W的搬运架14可在成膜室11、装入和取出室12及堆积装置13之间相互移动。在成膜室11和装入和取出室12之间形成有隔离阀16，隔离阀16将成膜室11及装入和取出室12的空间内保持为气密状态。另外，在装入和取出室12和堆积装置13之间也形成有隔离阀17，该隔离阀17将装入和取出室12和堆积装置13的空间内保持为气密状态。这些隔离阀16、17在搬运架14移动时打开，在搬运架14不移动时关闭。成膜室(成膜腔室)11包括能够将内部保持为气密状态的腔室主体21。而且在该腔室主体21内设置有加热装置22及阴极单元23。在腔室主体21的一面(一个侧面)形成有开口 24，可供装载有基板W的搬运架14通过，该侧面通过隔离阀16能够连通地连接装入和取出室12。在这种腔室主体21的内部，可通过真空泵(图示略)进行减压。阴极单元23形成为与导入腔室主体21的基板W的一面(一基板面)相对，通过溅射靶在基板W的一面上成膜以形成功能膜。加热装置22对导入腔室主体21的基板W进行加热至成膜最佳温度。作为这种加热装置22，例如可使用护套加热器('> 一 ^ t 一夕)或红外线加热器。堆积装置13例如形成为能够收容多个搬运架14，并通过隔离阀(开关部)17与装入和取出室12能够连通地连 接。在这种堆积装置13中，临时载置成膜前的基板，另外，当将完成成膜的基板向执行其他工序的装置送出时，对基板进行中转。堆积装置13的内部可维持大气压气氛。图2为从上方观察的构成成膜装置的装入和取出室的剖视图。图3为从堆积装置观察的装入和取出室的剖视图。装入和取出室(装卸腔室)12包括能够将内部空间保持为气密状态的腔室主体31。在腔室主体31的正面侧(正面位置)形成有使成膜室(成膜腔室)11和腔室主体31连通的开口 32。在该正面位置，成膜室11和腔室主体31通过隔离阀16相连。另外，在腔室主体31的背面侧(背面位置)形成有使堆积装置(转装装置)13和腔室主体31连通的开口 33。在该背面位置，堆积装置13和腔室主体31通过隔离阀17相连。在腔室主体31的一侧面31a (第一侧面)形成有加热器(加热部)34。该加热器(力口热部)34为用于加热位于后述避让位置的基板W的装置。作为该加热器例如使用护套加热器或红外线加热器。另外，在腔室主体31的另一侧面31b (与第一侧面相反的第二侧面)设置有真空泵35。真空泵35在隔离阀16、17关闭的状态下排出腔室主体31内的气体，通过对腔室主体31进行减压，使腔室主体31成为真空状态。进出这种装入和取出室12的搬运架14为垂直保持基板W以使基板W的一面Wa沿竖直方向G的所谓的立式搬运架。搬运架14例如保持硅片等基板W的边缘，从而使基板W保持为在基本竖直方向上直立的状态。在靠近腔室主体31的底面31c的位置形成有移动机构40及运送导轨36。另外，移动机构40设置于腔室主体31 (装入和取出室12)的下部，并贯穿构成底面31c的壁部。运送导轨36在与腔室主体31的成膜室11相连的开口 32和与堆积装置13相连的开口 33之间延伸。保持有基板W的搬运架14在运送导轨36上移动。另外，在这种运送导轨36的中途适当配置有由运送辊等构成的旋转机构(省略图示)，该运送辊等用于使搬运架14移动。移动机构40由第一移动机构41、第二移动机构42及第三移动机构43构成。这些第一移动机构41、第二移动机构42及第三移动机构43分别由包括能够伸缩的伸缩部件41a、42a、43a的例如油压缸或气缸构成。第一移动机构41配置为伸缩部件41a的延伸方向沿倾斜方向(S卩，竖直方向及水平方向)延伸，所述倾斜方向相对于竖直方向G及水平方向F分别形成大于0°且小于90°的规定的角度。例如第一移动机构41配置为，第一移动机构41的伸缩部件41a相对于水平方向F形成45°以上且85°以下的角度，在本实施方式中例如形成60°。第二移动机构42配置为伸缩部件42a的延伸方向沿倾斜方向(即，竖直方向及水平方向)延伸，所述倾斜方向相对于竖直方向G及水平方向F分别形成大于0°且小于90°的角度。另外，第二移动机构42配置为伸缩部件42a和第一移动机构41的伸缩部件41a相互交叉。例如第二移动机构42配置为，第二移动机构42的伸缩部件42a相对于水平方向F与第一移动机构41的伸缩部件41a反方向地形成45°以上且85°以下的角度，在本实施方式中例如形成60°。而且，相互交叉配置的第一移动机构41的伸缩部件41a和第二移动机构42的伸缩部件42a可配置在腔室主体31的纵深方向(运送导轨36的延伸方向)相互错开的位置。在这种第一移动机构41的伸缩部件41a的前端部分及第二移动机构42的伸缩部件42a的前端部分分别形成有支撑搬运架14的支撑部41b、42b。作为该支撑部41b、42b，例如采用能够在运送导轨36的一部分被切除的部分(凹部，切除部)配置搬运架14的 形成运送导轨36的延伸部的部件。支撑部41b、42b支撑搬运架14的两端部分。第三移动机构43配置为伸缩部件43a的延伸方向沿竖直方向G延伸。这种第三移动机构43使搬运架14从运送导轨36浮上，从而使搬运架14停止移动。参照图2、图4A 图6D对具有如上结构的装入和取出室的作用进行说明。图4A 图6D为阶段性地表示构成本发明的成膜装置的装入和取出室动作的剖视图。另外，在以下的说明中，对从搬运架14取出成膜前的基板并送入成膜室11，并且从成膜室11取出完成成膜的基板并送入搬运架14的一系列动作进行说明。首先，在关闭设置在成膜室11和装入和取出室12之间的隔离阀16的状态下，打开隔离阀17，使装入和取出室12和堆积装置13连通。此时装入和取出室12内部的气氛与堆积装置13内部相同，均为大气压气氛。而且，将支撑成膜前基板Wl的搬运架14A搭载到运送导轨36，并从堆积装置13向装入和取出室12内导入搬运架14A (参照图4A)。当搬运架14A到达装入和取出室12内的规定位置即运送位置PO后，操作第三移动机构43，伸缩部件43a沿竖直方向G向上延伸。通过该动作，搬运架14A从运送导轨36浮上(脱离)，并停止搬运架14A的移动(参照图4B)。然后，操作第二移动机构42，使伸缩部件42a以相对于竖直方向G及水平方向F分别大于0°且小于90°的规定角度沿斜上方延伸。通过该动作，位于运送位置PO的搬运架14A被装运到形成在伸缩部件42a的前端部分的支撑部42b。而且，搬运架14A沿倾斜方向(即，竖直方向及水平方向)进行直线移动。由此，搬运架14A从运送位置PO移动至位于朝向一斜上方(第一移动方向)的第一避让位置Pl (参照图4C)。该第一避让位置Pl为在腔室主体31 (装入和取出室12)内部中靠近加热器34的位置。然后，关闭隔离阀17后操作真空泵35，对装入和取出室12的内部进行减压使之成为与成膜室11的内部相同程度的真空状态。而且，打开隔离阀16使装入和取出室12与成膜室11连通后，将配置在成膜室11内的载置有完成成膜的基板W2的搬运架14B装运到运送导轨36，并将搬运架14B导入装入和取出室12内(参照图4D)。当搬运架14B到达装入和取出室12内的规定位置即运送位置PO后，操作第三移动机构43，伸缩部件43a沿竖直方向G向上延伸。通过该动作，搬运架14B从运送导轨36浮上(脱离)，并停止搬运架14B的移动(参照图5A)。此时，关于搬运架14A、14B的高度(从竖直方向G上的面31C到搬运架14A、14B的距离)，位于第一避让位置Pl的搬运架14A的高度与位于运送位置PO的搬运架14B的高度不同。另外，在水平方向F上，搬运架14A的位置和搬运架14B的位置不同。如此，通过改变搬运架14A及搬运架14B的高度及位置，即使在竖直方向G位于运送位置PO处的搬运架14B的边缘部分和搬运架14A的边缘部分位于部分重合的位置，也不会使搬运架14A、14B互相干扰(接触)。另外，载置于位于第一避让位置Pl处的搬运架14A的基板Wl优选通过加热器(力口热部)34事先升温至导入成膜室11前的规定的成膜温度。由此，能够省却在基板Wl导入成膜室11之后使之升温至规定的成膜温度的升温时间，能够进一步高效地在短时间内进行成膜。然后，操作第一移动机构41，使伸缩部件41a以相对于竖直方向G及水平方向F的规定角度，即以与伸缩部件42a为相对于竖轴为线对称方向上的规定角度沿斜上方延伸。通过该动作，位于运送位置PO处的搬运架14B被装运到形成在伸缩部件41a的前端部分的支撑部41b。而且，搬运架14B沿倾斜方向进行直线移动。由此，搬运架14B从运送位置PO移动到位于朝向另一斜上方(第二移动方向)的第二避让位置P2 (参照图5B)。该第二避让位置P2为在腔室主体31 (装入和取出室12)的内部离开加热器34的位置，与第一避让位置Pl为相反的位置。然后，再次操作第二移动机构42，使伸缩部件42a以相对于竖直方向G及水平方向F的规定角度沿斜下方收缩。通过该动作，位于第一避让位置Pl的搬运架14A沿倾斜方向进行直线移动，返回到运送位置PO (参照图5C)。此时，由于第三移动机构43为伸缩部件43a沿竖直方向G向上延伸的状态，因此搬运架14A保持为从运送导轨36脱离的状态。当搬运架14A到达运送位置PO之后，通过操作第三移动机构43使伸缩部件43a沿竖直方向G向下收缩，将搬运架14A载置于运送导轨36 (参照图OT)。而且，将搬运架14A沿运送导轨36送入成膜室11 (参照图6A)。通过加热器34事先升温到规定的成膜温度的基板Wl在导入成膜室11后迅速进行成膜处理。另一方面，在将搬运架14A送入成膜室11之后，关闭隔离阀16，使装入和取出室12内恢复为大气压气氛。而且，打开关闭的 隔离阀16，使装入和取出室12与大气压气氛的堆积装置13连通。
然后，再次操作第一移动机构41，使伸缩部件41a以相对于竖直方向G及水平方向F的规定角度沿斜下方收缩。通过该动作，位于第二避让位置P2的搬运架14B沿倾斜方向进行直线移动，返回到运送位置PO (参照图6B)。此时，同样地，由于第三移动机构43处于伸缩部件43a沿竖直方向G向上延伸的状态，因此将搬运架14B保持为从运送导轨36脱离的状态。然后，在搬运架14B到达运送位置PO后，通过操作第三移动机构43使伸缩部件43a沿竖直方向G向下收缩，将搬运架14B载置于运送导轨36 (参照图6C)。而且，将搬运架14B沿运送导轨36送往堆积装置13 (参照图6D)。由此，成膜后的基板W2取出到堆积装置13，并完成通过装入和取出室12有效地替换成膜前的基板Wl和成膜后的基板W2的一
次工序。另外，在上述实施方式中，虽然对作为使搬运架沿倾斜方向移动的移动机构包括第一移动机构和第二移动机构的结构进行了说明，但也可以采用包括任一移动机构的结构。此外，在上述实施方式中，虽然对包括使搬运架沿竖直方向移动的第三移动机构的结构进行了说明，但也可以通过设置与前述移动机构不同的其它装置即用于停止搬运架的装置，从而无需特别包括第三移动机构。如上所述，在本发明的成膜装置中，使搬运架14以相对于竖直方向及水平方向分别大于0°且小于90°的规定角度沿倾斜方向移动。例如，在相对于运送位置PO位于斜上方的避让位置P1、P2与运送位置PO之间，使搬运架14沿倾斜方向进行上下直线运动。通过进行如此动作，同现有的使搬运架沿水平方向F避让到与运送位置并列的位置的情况相t匕，能够实现成膜装置10的小型化。尤其是，通过使搬运架14错开竖直方向G而避让，能够在相邻的多个搬运架的边缘在竖直方向G重合的状态下将多个搬运架收容到装入和取出室12内。因此能够省略多个搬运架在水平方向上的重合，结果是能够减小装入和取出室12在水平方向F的宽度，能够实现成膜装置10的小型化。作为一例，能够在水平方向并列放置三个搬运架的现有装入和取出室的宽度为565mm。另一方面，如本发明使三个搬运架中的两个搬运架以相对于竖直方向及水平方向的规定角度倾斜的即能够沿斜上方使搬运架避让的装入和取出室的宽度为305mm。即在本发明的成膜装置中，由于能够省略水平方向的搬运架的重合，因此能够使装入和取出室的宽度为现有的约一半左右。另外，在现有的构成成膜装置的装入和取出室中，为了使搬运架沿水平方向F移动，需要沿水平方向铺设的导轨及与之配合的轮子等。因此在现有的成膜装置具有装置变得复杂且增加成本的问题。另一方面，在构成本发明的成膜装置的装入和取出室中，由于只需设置沿竖直方向及水平方向即沿倾斜方向提升搬运架的移动机构例如一对油压缸或气缸即可，因此能够降低成膜装置的制造成本。进一步，在本发明中，在装入和取出室内将搬运架避让到规定位置时仅需沿竖直方向及水平方向即沿斜向提升即可。因此能够减少如以往的沿水平方向铺设的导轨及与之配合的轮子等的产生机械摩擦、接触的移动。因此能够抑制装入和取出室内产生微粒，并且能够使基板表面和装入和取出室的内部保持洁净状态。工业上的可利用性
本发明可应用于包括装入和取出室的成膜装置。符号说明10…成膜装置、11...成膜室(成膜腔室)、12…装入和取出室(装卸室)、13…堆积装置(转装装置)、14…搬运架、40...移动机构、41...第一移动机构、42...第一移动机构、PO…移动位置、Pl…第一避让位 置、P2…第二避让位置。
权利要求
1.一种成膜装置，其特征在于，包括: 成膜室，用于在基板上形成覆膜； 搬运架，用于垂直保持所述基板以使所述基板的一面沿竖直方向； 装入和取出室，配置为通过开关部与所述成膜室连通；和 移动机构，设置在所述装入和取出室内，用于使所述搬运架在使所述搬运架在与所述成膜室之间能够插脱的运送位置和与所述运送位置相邻的避让位置之间移动，并且使所述搬运架沿相对于竖直方向及水平方向分别形成大于0°且小于90°的规定角度的倾斜方向上下移动。
2.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于， 所述移动机构在所述运送位置和相对于所述运送位置位于斜上方的所述避让位置之间，使所述搬运架沿所述倾斜方向上下直线运动。
3.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于， 所述移动机构包括: 第一移动机构，使所述搬运架在所述运送位置和相对于所述运送位置位于一斜上方的第一避让位置之间移动；和 第二移动机构，使所述搬运架在所述运送位置和相对于所述运送位置位于另一斜上方的第二避让位置之间移动。
4.如权利要求3所述的成膜装置，其特征在于， 在所述第一移动机构和所述第二移动机构中分别包括支撑所述搬运架并使之移动的伸缩部件，所述第一移动机构的伸缩部件和所述第二移动机构的伸缩部件配置为相互交叉。
5.如权利要求1至4中的任一项所述的成膜装置，其特征在于， 所述移动机构使所述搬运架以相对于水平方向45°以上且85°以下的角度沿倾斜方向上下运动。
6.如权利要求1至5中的任一项所述的成膜装置，其特征在于，进一步包括: 加热部，设置在靠近所述装入和取出室的所述避让位置的位置，用于加热所述基板。
7.如权利要求1至6中的任一项所述的成膜装置，其特征在于， 所述移动机构进一步包括使所述搬运架沿竖直方向移动的第三移动机构。
全文摘要
该成膜装置(10)包括成膜室(11)，用于在基板(W)形成覆膜；搬运架(14)，用于垂直保持所述基板(W)以使所述基板(W)的一面沿竖直方向；装入和取出室(12)，配置为通过开关部(17)与所述成膜室(11)连通；移动机构(40)，设置在所述装入和取出室内，用于使所述搬运架(14)在使所述搬运架(14)在与所述成膜室(11)之间能够插脱的运送位置(P0)和与所述运送位置相邻的避让位置(P1、P2)之间移动，并且使所述搬运架(14)沿相对于竖直方向及水平方向分别形成大于0°且小于90°的规定角度的倾斜方向上下移动。
文档编号C23C14/50GK103119192SQ20118004517
公开日2013年5月22日 申请日期2011年11月15日 优先权日2010年11月15日
发明者早坂智洋, 高桥康司, 久保昌司, 长岛雅弘 申请人:株式会社爱发科