专利名称：太阳能电池板非晶硅膜均匀沉积专用装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种非晶硅太阳能电池沉积设备部件，特别涉及一种太阳能电池板非晶硅膜均勻沉积专用装置。
背景技术：
随着非晶硅太阳能薄膜电池生产技术的日趋成熟，各种非晶硅的太阳能产品遍布全球。其中，等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)生产非晶硅太阳能薄膜电池的工艺已被广泛使用。等离子体增强化学气相沉积技术是借助于辉光放电等离子体使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应，从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。专利号为 ZL201120073512. 2，名称为“一种新型大面积沉积非晶硅的反应盒”，就是等离子体增强化学气相沉积技术的一种设备，但采用这种设备来生产的非晶硅太阳能薄膜电池，由于沉积非晶硅时，反应气体的气流分布不均勻，导致沉积的非晶硅层膜厚不够均勻，在一定程度上影响了太阳能电池的转换效率。
发明内容
为了克服上述缺陷，本发明提供了一种能够使沉积非晶硅时反应气体气流分布均勻的太阳能电池板非晶硅膜均勻沉积专用装置。本发明为了解决其技术问题所采用的技术方案是 一种太阳能电池板非晶硅膜均勻沉积专用装置，包括
一不锈钢上方通管，所述上方通管横截面呈上、中、下三层空间； 一不锈钢下方通管，所述下方通管横截面呈上、下两层空间； 一中心铝电极板，所述中心铝电极板的一端安装有一铜质电极杆； 两块铝质门板，所述铝质门板安装于装置两侧； 两块堵头板，所述堵头板分别安装于装置两端；
所述上方通管和下方通管的内端与装置内待加工的电池片放置区域之间均设有一金属板，所述金属板固定连接在铝质门板上，所述金属板的厚度与装置内电池片厚度一致。作为本发明的进一步改进，所述金属板与待加工的电池片之间的间隙小于1毫米。作为本发明的进一步改进，所述上方通管和下方通管的内端边缘分别与所述金属板的边缘贴合于一起。作为本发明的进一步改进，所述不锈钢上方通管中间的隔层上钻制有若干气流孔。作为本发明的进一步改进，所述不锈钢上方通管的一端设有进气口，所述进气口连接所述上方通管的上层空间。作为本发明的进一步改进，所述不锈钢上方通管的底部设有不锈钢倒“U”形槽，不锈钢倒“U”形槽两侧各钻制有一排气流孔。
作为本发明的进一步改进，所述不锈钢下方通管中间的隔层上钻制有若干气流孔。作为本发明的进一步改进，所述不锈钢下方通管的一端有出气口，所述出气口连接所述下方通管的下层空间。作为本发明的进一步改进，所述不锈钢下方通管的顶部也设有不锈钢“U”形槽，所述不锈钢“U”形槽两侧各钻制有一排气流孔。作为本发明的进一步改进，所述不锈钢下方通管底部安装有轮轴，所述轮轴上安装有载重轮；所述下方通管的两侧安装有合页。作为本发明的进一步改进，所述中心铝电极板周围套有呈“U”形槽的聚四氟乙烯边条。本发明在反应时，沉积非晶硅所需要的反应气体从装置上方通管的进气口流进上方通管的上层空间，然后经过上方通管的第一层隔板上的气流孔减压均压，流入中间层空间，再经过第二层隔板上的气流孔再次均压，流入下层空间，再通过上方通管底部的两排气流孔，分别均勻地流入装置的两个反应空间。气体经过三层空间的均压之后，能够明显提高上方通管底部两排气流孔处的气压均勻性，流入反应空间的气流可以达到很平缓的效果。 需要特别强调的是，现有技术中的上、下方通管与待加工的电池片之间存在有较大间隙，使得气流在刚流进反应空间时，间隙使得一部分气流方向产生偏移，造成经过电池片表面的气流不均勻和不稳定，造成沉积完成后的非晶硅薄膜厚度不均勻，进而影响电池片的电性能。本发明中，在上、下方通管与装置内电池片放置区域之间添加的金属板，用来填充空间， 保证了气流的稳定性和均勻性，避免了气流由于流通空间大小不同而造成的沉积不均勻现象。在高真空的恒温环境里，在射频的作用下，反应气体在两个反应空间里发生反应。未反应完的气体从下方通管的顶部两排气流孔流入下方通管的上层空间，再从下方通管的中间隔层上的气流孔流入下层空间，然后从下方通管的出气口被抽走。反应过程中，反应气体从装置的上方通管均勻地流入反应空间里，在反应空间里的气体密度均勻，沉积出来的非晶硅膜的厚度也就比较均勻，从而提高了非晶硅太阳能薄膜电池的各种电性能。本发明的有益效果是
与技术成熟的非晶硅沉积工艺相结合，本发明提供了一种太阳能电池板非晶硅膜均勻沉积专用装置，所述装置能够明显改善反应装置中反应气体在非晶硅沉积空间内的气流分布的均勻性，相比现有装置，本装置沉积完成后非晶硅膜的均勻性得到更好的改善，有效地提高了非晶硅膜的均勻性和非晶硅太阳能薄膜电池的电性能，进而达到了提高其对太阳能转换效率的效果。
图1为本发明提供的太阳能电池板非晶硅膜均勻沉积专用装置的横向截面图。图2为本发明提供的太阳能电池板非晶硅膜均勻沉积专用装置的纵向截面图。图3为本发明提供的太阳能电池板非晶硅膜均勻沉积专用装置的上方通管的横向截面图。图4为本发明提供的太阳能电池板非晶硅膜均勻沉积专用装置的下方通管的横向截面图。
图5为本发明提供的太阳能电池板非晶硅膜均勻沉积专用装置的中心铝电极板的纵向截面图。
具体实施例方式为了加深对本发明的理解，下面将结合实施例和附图对本发明作进一步详述，此处所描述的具体实施例仅用于解释本发明，并不构成对本发明保护范围的限定。参照图1和图2所示一种太阳能电池板非晶硅膜均勻沉积专用装置，其包括 一不锈钢上方通管2，所述上方通管2横截面呈上、中、下三层空间；所述不锈钢上方通
管2中间的隔层上钻制有若干气流孔9。所述不锈钢上方通管2的一端设有进气口 15，所述进气口 15连接所述上方通管2的上层空间。所述不锈钢上方通管2的底部设有不锈钢倒” U”形槽7，不锈钢倒“U”形槽7两侧各钻制有一排气流孔9。一不锈钢下方通管3，所述下方通管3横截面呈上、下两层空间；所述不锈钢下方通管3中间的隔层上钻制有若干气流孔9。所述不锈钢下方通管3的一端有出气口 16，所述出气口 16连接所述下方通管3的下层空间。所述不锈钢下方通管3的顶部也设有不锈钢”U”形槽7，所述不锈钢”U”形槽7两侧各钻制有一排气流孔9，所述不锈钢下方通管3底部安装有轮轴14，所述轮轴上安装有载重轮13 ；所述下方通管3的两侧安装有合页8。一中心铝电极板4，所述中心铝电极板4的一端安装有一铜质电极杆10 ；所述中心铝电极板4周围套有呈“U”形槽的聚四氟乙烯边条6。两块铝质门板5，所述铝质门板5安装于装置两侧；紧贴上方通管2和下方通管3 ； 所述铝质门板5通过合页8与所述下方通管3连接；
两块堵头板11，所述堵头板11分别安装于装置两端；通过螺栓与上方通管2、下方通管 3相连接，使反应盒1内部构成两个大面积的沉积空间；
所述上方通管2和所述下方通管3的内端与装置内待加工的电池片17放置区域之间均设有一金属板12，所述金属板固定连接在铝质门板5上，所述金属板12的厚度与装置内电池片17厚度一致。所述上方通管2和所述下方通管3的内端边缘分别与所述金属板12 的边缘贴合于一起。所述金属板12与待加工的电池片之间的间隙小于1毫米。参见图3，所述上方通管2的中间隔层上钻制有若干气流孔，第一层隔层上的气流孔直径为dl，第二层隔层上的气流孔直径为d2，上方通管底部的两排气流孔直径为d3。优选地，我们选择dl>d2>d3，使得气流有一个合理的减压、均压过程。参见图4，所述的下方通管3的中间隔层上的气流孔直径为d4，下方通管的顶部两排气流孔的直径为d5，一般地，我们选择d4=d3，d5=d2，使得反应气体的进气流量与出气流量达到平衡状态。所述的金属板12采用钢板、铜板、铝板等均可以。
权利要求
1.一种太阳能电池板非晶硅膜均勻沉积专用装置，包括一不锈钢上方通管O)，所述上方通管( 横截面呈上、中、下三层空间； 一不锈钢下方通管(3)，所述下方通管C3)横截面呈上、下两层空间； 一中心铝电极板G)，所述中心铝电极板的一端安装有一铜质电极杆(10)； 两块铝质门板(5)，所述铝质门板(5)安装于装置两侧； 两块堵头板(11)，所述堵头板(11)分别安装于装置两端；其特征在于所述上方通管( 和所述下方通管(3)的内端与装置内待加工的电池片 (17)放置区域之间均设有一金属板(12)，所述金属板(12)固定连接在所述铝质门板(5) 上，所述金属板(1 的厚度与装置内电池片(17)厚度一致。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池板非晶硅膜均勻沉积专用装置，其特征在于所述金属板与待加工的电池片之间的间隙小于1毫米。
3.根据权利要求1或2所述的太阳能电池板非晶硅膜均勻沉积专用装置，其特征在于 所述上方通管( 和所述下方通管(3)的内端边缘分别与所述金属板的边缘贴合于一起。
全文摘要
本发明公开了一种太阳能电池板非晶硅膜均匀沉积专用装置，其包括一不锈钢上方通管，所述上方通管横截面呈上、中、下三层空间；一不锈钢下方通管，所述下方通管横截面呈上、下两层空间；一中心铝电极板，所述中心铝电极板的一端安装有一铜质电极杆；两块铝质门板，所述铝质门板安装于装置两侧；两块堵头板，所述堵头板分别安装于装置两端；所述上方通管和下方通管与装置内电池片放置区域之间均设有一金属板，所述金属板的厚度与装置内电池片厚度一致。本发明能明显改善装置中反应气体在非晶硅沉积空间内的气流分布的均匀性，进而达到提高对太阳能转换效率的效果。
文档编号C23C16/455GK102534566SQ20121012410
公开日2012年7月4日 申请日期2012年4月26日 优先权日2011年9月28日
发明者周庆明 申请人:江苏庆丰能源有限公司