高效石墨舟的制作方法
【专利摘要】本发明涉及真空镀膜设备【技术领域】，尤其是一种高效石墨舟。其包括舟体、舟片、支脚、上电极和下电极，舟片设置在舟体内，支脚安装在舟体底部，上电极和下电极分别位于舟体的上部和下部，舟体由基座和副座组合而成。将舟体设计成由基座和副座连接而成的组合体，可大大适应沉淀室的结构，充分利用空间，扩大舟体的容量，并根据需要做出多种组合，从而大大提高生产效率。
【专利说明】高效石墨舟
【技术领域】
[0001]本发明涉及真空镀膜设备【技术领域】，尤其是一种高效石墨舟。
【背景技术】
[0002]PECVD是等离子体增强化学气相沉积技术的简称，其原理是利用低温等离子体作能量源，样品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电使样品升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一系列化学反应和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜。石墨舟是其中的重要部件，直接影响到电场的分布、等离子的产生、气流的走向、膜的品质等。现有的石墨舟由于石墨舟片数量有限，而使得石墨舟的载片量受到限制，生产效率低下。
【发明内容】
[0003]为了克服现有的石墨舟载片少，生产效率低的不足，本发明提供了一种高效石墨舟。
[0004]本发明解决其技术问题所米用的技术方案是:一种闻效石墨舟，包括舟体、舟片、支脚、上电极和下电极，舟片设置在舟体内，支脚安装在舟体底部，上电极和下电极分别位于舟体的上部和下部，舟体由基座和副座组合而成。
[0005]根据本发明的另一个实施例，进一步包括基座为长方体，副座为半圆柱体。
[0006]根据本发明的另一个实施例，进一步包括副座通过螺丝连接在基座上部，组合成拱形。
[0007]本发明的有益效果是，将舟体设计成由基座和副座连接而成的组合体，可大大适应沉淀室的结构，充分利用空间，扩大舟体的容量，并可根据需要做出多种组合，从而大大提闻生广效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0008]下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
[0009]图1是本发明的结构示意图。
[0010]图中1.舟体，2.舟片，3.支脚，4.上电极，5.下电极，6.基座，7.副座。【具体实施方式】
[0011]如图1是本发明的结构示意图，一种高效石墨舟，包括舟体1、舟片2、支脚3、上电极4和下电极5，舟片2设置在舟体I内，支脚3安装在舟体I底部，上电极4和下电极5分别位于舟体I的上部和下部，舟体I由基座6和副座7组合而成。基座6为长方体，副座7为半圆柱体。副座7通过螺丝连接在基座6上部，组合成拱形。
[0012]将舟体I设计成由基座6和副座7连接而成的组合体，可大大适应沉淀室的结构，充分利用空间，扩大舟体I的容量，增加舟片2的数量，并可根据需要做出多种装配组合，从而大大提1?生广效率。`
【权利要求】
1.一种高效石墨舟，包括舟体(1)、舟片(2)、支脚(3)、上电极(4)和下电极(5)，舟片(2)设置在舟体(1)内，支脚(3)安装在舟体(1)底部，上电极(4)和下电极(5)分别位于舟体(1)的上部和下部，其特征是，舟体(1)由基座(6)和副座(7)组合而成。
2.根据权利要求1所述的高效石墨舟，其特征是，基座(6)为长方体，副座(7)为半圆柱体。
3.根据权利要求1所述的高效石墨舟，其特征是，副座(7)通过螺丝连接在基座(6)上部，组合成拱形。`
【文档编号】C23C16/50GK103510077SQ201210217097
【公开日】2014年1月15日 申请日期:2012年6月28日 优先权日:2012年6月28日
【发明者】沈文伟 申请人:沈文伟