专利名称：蒸镀用掩模板及其制造方法
技术领域：
本发明涉及OLED显示屏制造技术领域，特别涉及一种蒸镀用掩模板及其制造方法。
背景技术：
有机电致发光器件，具有自发光、反应时间快、视角广、成本低、制造工艺简单、分辨率佳及高亮度等多项优点，被认为是下一代的平面显示器新兴应用技术。在OLED(Organic Light-Emitting Diode,有机电致发光二极管)技术中，真空蒸镀中的掩模板技术是一项非常重要和关键的技术，该技术的精度等级直接影响OLED产品的质量和制造成本。 传统的蒸镀用的掩模板是先在掩模板上加工出所需要的蒸镀孔，再将该掩模板焊接到板框上。然而，在将掩模板焊接到板框上时，需要将掩模板拉平拉紧，而在掩模板上已经制好了蒸镀孔，在拉平的过程中，蒸镀孔会受到绷紧力而变形，使蒸镀孔偏离原来的设计尺寸和形状，造成形状和尺寸误差，而由于OLED显示屏的制造工艺对蒸镀孔的精度要求非常高，这种误差显然会对蒸镀效果产生非常大的负面影响，直接降低蒸镀效果，使生产出来的OLED显示屏存在较大的缺陷。
发明内容
本发明的主要目的在于，针对上述现有技术中的不足，提供一种蒸镀用掩模板及其制造方法，可以有效避免蒸镀孔变形，提高掩模板的精度和稳定性。为实现上述发明目的，本发明采用以下技术方案。本发明提供一种蒸镀用掩模板，包括板框和拉平固定于板框上的掩模板，所述掩模板上设置有多个规则排列的蒸镀孔，所述多个蒸镀孔位于掩模板的中央，所述蒸镀孔的外围设置有至少一排缓冲孔，每个所述缓冲孔与所述蒸镀孔平行设置。优选地，所述掩模板横向设置有N列蒸镀孔，纵向设置有M行蒸镀孔，每行蒸镀孔的左右两边分别设置有一个所述缓冲孔，每列蒸镀孔的上下两边亦分别设置有一个所述缓冲孔，形成一圈缓冲带。优选地，每个所述蒸镀孔内部设置有条形网格，所述蒸镀孔外设置有一排或一列缓冲孔，每排缓冲孔为N个，每列缓冲孔为M个，并分别与所述网格平行设置。优选地，所述缓冲孔为矩形通孔或盲孔。优选地，所述掩模板由镍铁合金或铟瓦合金制成，厚度为30 100 μ m。优选地，所述板框由镍铁合金或铟瓦合金制成，厚度为14-50 mm，宽度为30-80mmD本发明还提供一种上述蒸镀用掩模板的制造方法，该方法依次包括以下步骤 将所述掩模板裁成稍大于所述板框大小的尺寸，平放在所述板框上，将掩模板的四边
拉平并贴紧在所述板框上；将所述掩模板焊接于所述板框上；
沿所述板框的外边缘切除多余的部分；
在所述掩模板的外围开设至少一排缓冲孔；
在掩模板的中间开设所述蒸镀孔，并使所述缓冲孔与蒸镀孔平行设置。优选地，所述沿板框的外边缘切除多余的部分的步骤具体为
采用激光工艺将所述多余部分切除。 优选地，所述在蒸镀孔的外围开设至少一排缓冲孔的步骤具体包括
沿掩模板的横向开设N列蒸镀孔，沿纵向设置有M行蒸镀孔，每行蒸镀孔的左右两边分别开设一个所述缓冲孔，每列蒸镀孔的上下两边亦分别开设一个所述缓冲孔，或者
每个所述蒸镀孔内部设置有条形网格，在所述蒸镀孔外设置有一排或一列缓冲孔，每排缓冲孔为N个，每列缓冲孔为M个，并分别与所述网格平行设置。优选地，所述在掩模板上位于板框内处开设所述蒸镀孔的步骤具体为
采用激光切割工艺或化学蚀刻工艺开设所述蒸镀孔。本发明先将掩模板焊接于板框上，再在掩模板位于板框内处开设蒸镀孔，并在蒸镀孔旁设置缓冲孔，使得在蒸镀用掩模板制造完成后，掩模板上的蒸镀孔不会发生变形，在生产大尺寸的蒸镀用掩模板时，效果更加明显，因此可以有效地提高掩模板的精度和稳定性，显著提升OLED显示屏特别是大尺寸OLED显示屏的制造精度，降低制造成本。
图1是本发明实施例中蒸镀用掩模板的结构示意图一。图2是本发明实施例中蒸镀用掩模板的结构示意图二。图3是本发明实施例中蒸镀用掩模板的制造方法的流程示意图。本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施例方式以下将结合附图及具体实施例详细说明本发明的技术方案，以便更清楚、直观地理解本发明的发明实质。图1是本发明实施例中蒸镀用掩模板的结构示意图一；图2是本发明实施例中蒸镀用掩模板的结构示意图二。参照图1所示，本实施例提供一种蒸镀用掩模板，包括板框I和拉平固定于板框上的掩模板2，掩模板2上设置有规则排列的多个蒸镀孔3，该多个蒸镀孔3位于掩模板2的中央，并位于板框I内部。在蒸镀孔3的外围设置有一圈缓冲孔4，用于缓冲掩模板2的绷紧力给蒸镀孔3带来的张力，从而保护蒸镀孔3不变形。本实施例的掩模板2在横向设置有N列蒸镀孔3，在纵向设置有M行蒸镀孔3，每行蒸镀孔3的左右两边分别设置有一个缓冲孔4，每列蒸镀孔3的上下两边亦分别设置有一个缓冲孔4，使每个缓冲孔4均与蒸镀孔3平行。参照图2所示，若每个蒸镀孔3的内部设置有条形网格31，则只需在蒸镀孔3外设置有一排或一列缓冲孔，且该排或该列缓冲孔4与上述网格31平行设置。其中，每排缓冲孔4为N个，每列缓冲孔4为M个，使每排蒸镀孔3分别对应一个缓冲孔4，每列蒸镀孔3也分别对应一个缓冲孔4，并且各自对齐，由于来自掩模板2的与网格31平行的方向的张力施加在网格31上，不会使蒸镀孔3变形，无需设置缓冲孔4，而来自掩模板2的张力则完全由缓冲孔4吸收。为了更均匀地分散上述张力，本实施例的缓冲孔4设置为宽度较小的矩形通孔或盲孔。使蒸镀孔3所受到的张力尽可能小，以保证其形状和尺寸不会发生改变。本实施例的掩模板2由镍铁合金或铟瓦合金制成，厚度为30 100 μ m,板框I由镍铁合金或铟瓦合金制成，厚度为14-50 _，宽度为30-80 _。需要说明的是，本发明所说的板框I的宽度不是指板框I的外框的宽度，也非内框的宽度，而是指板框I的外框与内框之间的用于固定掩模板2的那部分的宽度。采用上述结构的掩模板2，可以使蒸镀孔3的实际尺寸与最初的设计尺寸基本一致，不会因受到掩模板2的张力而发生变化，特别是当掩模板2为大尺寸时，蒸镀孔3的精 度保持效果更加显著，从而可以生产出高质量的OLED显示屏。图3是本发明实施例中蒸镀用掩模板的制造方法的流程示意图。参照图3所示，本实施例提供一种加工上述蒸镀用掩模板的制造方法，该方法主要包括以下步骤
S1:将掩模板裁成稍大于板框大小的尺寸，平放在板框上，将掩模板的四边拉平并贴紧在板框上；
52:将掩模板焊接于板框上；
53:沿板框的外边缘切除多余的部分；
54:在掩模板的外围开设至少一排缓冲孔；
55:在掩模板的中间开设蒸镀孔，并使缓冲孔与蒸镀孔平行设置。其中，在步骤S3中，沿板框的外边缘切除多余的部分的步骤具体为采用激光工艺将多余部分切除。因为激光切割技术的切割精度较高，而且无需复杂的装夹工艺，恰可用于切除多余部分。在步骤S4中，在掩模板的外围，位于板框内部的位置上开设至少一排缓冲孔，缓冲孔的数量对应于预设的蒸镀孔的数量，即若蒸镀孔为M行、N列，则沿横向开设N个缓冲孔，沿纵向开设M个缓冲孔，或者，若每个蒸镀孔内部设置有条形网格，在蒸镀孔外设置有至少一排或至少一列缓冲孔，每排缓冲孔为N个，每列缓冲孔为M个，并分别与上述网格平行设置。这些缓冲孔构成一个缓冲带，设置在蒸镀孔外围，可均匀地分散掩模板的张力，避免蒸镀孔因受力变形而产生误差。在步骤S5中，在上述矩形缓冲带内开设蒸镀孔，并使蒸镀孔与缓冲孔对应平行，横向设置的缓冲孔与横排(M行)的蒸镀孔平行，纵向设置的缓冲孔与纵列(N列)的蒸镀孔平行。本实施例采用激光切割工艺或化学蚀刻工艺来加工蒸镀孔，因为激光切割工艺和化学蚀刻工艺无需复杂的装夹工序，也不会对掩模板造成损伤，因此，采用激光切割工艺和化学蚀刻工艺来开设蒸镀孔能满足实际工艺需求，而且也能将蒸镀孔加工成喇叭状，满足OLED显示屏的蒸镀需求。采用本方法可以使掩模板上的蒸镀孔的形状和尺寸保持原有的设计精度，避免了传统的先加工蒸镀孔，再将掩模板焊接于板框上的制造工艺中会使蒸镀孔变形的现象，从而可以加工出大尺寸、高质量的OLED显示屏。
综上所述，本发明先将掩模板焊接于板框上，再在掩模板位于板框内处开设蒸镀孔，并在蒸镀孔旁设置缓冲孔，使得在蒸镀用掩模板制造完成后，掩模板上的蒸镀孔不会发生变形，在生产大尺寸的蒸镀用掩模板时，效果更加明显，因此可以有效地提高掩模板的精度，显著提升OLED显示屏特别是大尺寸OLED显示屏的制造精度，降低制造成本。
以上所述仅为本发明的优选实施例，并非因此限制其专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。
权利要求
1.一种蒸镀用掩模板，包括板框和拉平固定于板框上的掩模板，所述掩模板上设置有规则排列的多个蒸镀孔，其特征在于所述多个蒸镀孔位于掩模板的中央，所述蒸镀孔的外围设置有至少一排缓冲孔，每个所述缓冲孔与所述蒸镀孔平行设置。
2.如权利要求1所述的蒸镀用掩模板，其特征在于所述掩模板横向设置有N列蒸镀孔，纵向设置有M行蒸镀孔，每行蒸镀孔的左右两边分别设置有一个排所述缓冲孔，每列蒸镀孔的上下两边亦分别设置有一个所述缓冲孔，形成一圈缓冲带。
3.如权利要求2所述的蒸镀用掩模板，其特征在于每个所述蒸镀孔内部设置有条形网格，所述蒸镀孔外设置有一排或一列缓冲孔，每排缓冲孔为N个，每列缓冲孔为M个，并分别与所述网格平行设置。
4.如权利要求1所述的蒸镀用掩模板，其特征在于所述缓冲孔为矩形通孔或盲孔。
5.如权利要求1所述的蒸镀用掩模板，其特征在于所述掩模板由镍铁合金或铟瓦合金制成，厚度为30 100 μ m。
6.如权利要求5所述的蒸镀用掩模板，其特征在于所述板框由镍铁合金或铟瓦合金制成，厚度为14-50 mm,宽度为30-80 mm。
7.—种权利要求1所述蒸镀用掩模板的制造方法，其特征在于，依次包括以下步骤将所述掩模板裁成稍大于所述板框大小的尺寸，平放在所述板框上，将掩模板的四边拉平并贴紧在所述板框上；将所述掩模板焊接于所述板框上；沿所述板框的外边缘切除多余的部分；在所述掩模板的外围开设至少一排缓冲孔；在掩模板的中间开设所述蒸镀孔，并使所述缓冲孔与蒸镀孔平行设置。
8.如权利要求7所述的制造方法，其特征在于，所述沿板框的外边缘切除多余的部分的步骤具体为采用激光工艺将所述多余部分切除。
9.如权利要求7所述的制造方法，其特征在于，所述在蒸镀孔的外围开设至少一排缓冲孔的步骤具体包括沿掩模板的横向开设N列蒸镀孔，沿纵向设置有M行蒸镀孔，每行蒸镀孔的左右两边分别开设一个所述缓冲孔，每列蒸镀孔的上下两边亦分别开设一个所述缓冲孔，或者每个所述蒸镀孔内部设置有条形网格，在所述蒸镀孔外设置有一排或一列缓冲孔，每排缓冲孔为N个，每列缓冲孔为M个，并分别与所述网格平行设置。
10.如权利要求7所述的制造方法，其特征在于，所述在掩模板上位于板框内处开设所述蒸镀孔的步骤具体为采用激光切割工艺或化学蚀刻工艺开设所述蒸镀孔。
全文摘要
本发明涉及一种蒸镀用掩模板及其制造方法，包括板框和拉平固定于板框上的掩模板，掩模板上设置有规则排列的多个蒸镀孔，所述多个蒸镀孔位于掩模板的中央，所述蒸镀孔的外围设置有至少一排缓冲孔，缓冲孔与所述蒸镀孔平行设置。本发明可使得在蒸镀用掩模板制造完成后，掩模板上的蒸镀孔不会发生变形，在生产大尺寸的蒸镀用掩模板时，效果更加明显，因此可以有效地提高掩模板的精度，显著提升OLED显示屏特别是大尺寸OLED显示屏的制造精度，降低制造成本。
文档编号C23C14/04GK103014618SQ20121056966
公开日2013年4月3日 申请日期2012年12月25日 优先权日2012年12月25日
发明者唐军 申请人:唐军, 钱超