专利名称：风量调节装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及加工设备技术领域，尤其涉及一种风量调节装置。
背景技术：
硅外延是一种典型化学气相淀积(CVD)技术。它的工艺过程是在单晶硅衬底上沿着原来的结晶方向生长一层导电类型、电阻率、厚度和晶格结构及其完整性都符合要求的新单晶层。在外延工艺技术中，工艺腔室的温度均匀性和冷却效果是一项很重要的技术参数。在一些工艺过程中还需要阶段性改变腔室温度，以便能更好的提高生产率，此时空气流量控制装置将会起到至关重要的作用。如何能准确控制这些参数来对应工艺的需求，是所有风循环冷却过程中要解决的问题。通常使用普通风阀来解决这一问题，在减小风量的过程中风阻会快速的增加，风阻增加会带来风量的减少，这样在整个控制曲线中很难调整到一个合适的点，也很难实现不同阶段的多种风量；在外延工艺中使用的气体多数为易燃易·爆气体，而普通风阀的电动执行器又存在安全隐患。
发明内容(一 )要解决的技术问题本发明要解决的技术问题是提供一种风量调节装置，能够在外延工艺不同阶段提供多种适合的风量。( 二 )技术方案为解决上述问题，本发明提供了一种风量调节装置，包括沿风道的轴向设有开口的支承体、可滑动地改变与所述开口重合部分面积的控制滑板、以及驱动所述控制滑板滑动的滑动调节件。优选地，所述支承体包括位于所述控制滑板板面两侧的上板和下板、以及于所述控制滑板边缘外侧连接在所述上板和下板之间的中间隔板。优选地，所述支承体还包括限制于所述控制滑板的滑动边缘两侧的滑块。优选地，所述滑动调节件为气缸驱动装置，所述控制滑板与气缸驱动装置的气缸活塞连接。优选地，所述气缸驱动装置还包括容置所述气缸活塞的气缸、以及于气缸活塞伸出的一侧固定在所述气缸上的活塞锁紧件，所述气缸通过气缸伸缩控制电磁阀与所述压缩气体供气管路连通，所述活塞锁紧件通过气缸锁紧控制电磁阀与所述压缩气体供气管路连通。优选地，所述气缸外周设有沿气缸轴向位置可调的第一磁环和第二磁环，所述第一磁环更靠近所述活塞锁紧件设置，其中，所述气缸活塞伸出到达第一磁环时，所述第一磁环向所述气缸锁紧控制电磁阀发出锁紧信号；所述气缸活塞缩回到达第二磁环时，所述第二磁环向所述气缸锁紧控制电磁阀发出锁紧信号。优选地，所述气缸伸缩控制电磁阀分别通过进气管与排气管与所述气缸连通，所述进气管上设有进气调速阀；所述排气管上设有排气调速阀。优选地，所述控制滑板与所述气缸活塞之间通过运动连接件连接，所述气缸通过气缸安装板与所述支承体连接。优选地，所述滑动调节件为螺栓调节机构，所述螺栓调节机构包括安装在所述支承件上的固定部，以及活动端与所述控制滑板连接的螺栓。(三)有益效果本实用新型可以实现多种不同风口开度的定位，可以很方便的调节风量的大小，能在外延工艺时实现热量分布均匀、加热与冷却的平衡、不同工艺阶段时的多种温度，避免了传统调节装置的复杂结构，和较繁琐的操作过程。本实用新型采用气缸作为滑动调节件对控制滑板的滑动进行控制，不会产生电火 花，在有易燃易爆气体的环境中没有安全隐患。本实用新型风口是利用滑板的滑动来实现开关的，在调节过程中风口由一个开口构成，做到风阻增加比较小，控制效果理想，避免了传统百叶窗式风阀调节时靠很多窄槽过风增加风阻的情况。
图I为根据本实用新型实施例一的结构示意图；图2为图I的俯视图；图3为根据本实用新型实施例一支承件与控制滑板的结构示意图；图4为图3的A-A剖视图；图5为根据本实用新型实施例一滑动调节件的结构示意图；图6为根据本实用新型实施例一滑动调节件气动控制原理示意图；其中，100 :支承体；101 :上板；102 :下板；103 :中间隔板；104 :滑块；200 :控制滑板；300 :气缸驱动装置；301 :气缸活塞；302 :气缸；303 :活塞锁紧件；304 :第一磁环；305 :第二磁环；306 :锁紧件进气口 ；307 :气缸伸缩控制电磁阀；308 :气缸锁紧控制电磁阀；309 :进气调速阀；310 :排气调速阀；311 :压缩气体供气管路；312 :带逆流功能的减压阀；400 :运动连接件；500 :气缸安装板。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本发明进行详细说明如下。实施例一如图I和图2所示，本实施例记载了一种风量调节装置，包括沿风道的轴向设有开口的支承体100、可滑动地改变与所述开口重合部分面积的控制滑板200、以及驱动所述控制滑板200滑动的滑动调节件。通过所述滑动调节件使得所述控制滑板200滑动并定位在适合的位置，从而使得控制滑板200与开口重合部分的面积可调，使得没有被控制滑板200遮挡的开口部分形成的风口的大小可调。在本实施例中，所述支承体100包括位于所述控制滑板200板面两侧的上板101和下板102、于所述控制滑板200边缘外侧连接在所述上板101和下板102之间的中间隔板103、以及限制于所述控制滑板200的滑动边缘两侧的滑块104。如图3和图4所示，本实施例中，所述上板101、下板102和中间隔板103用螺钉固定在一起，控制滑板200在滑动调节件的控制下在上板101与下板102之间滑动，滑块104对控制滑板200起到滑动导向的作用，控制滑板200滑动时只与滑块104接触。滑块104的材料采用聚四氟乙烯材料，滑板的表面经过磨床加工后表面粗糙度很低，这样控制滑板200滑动时与滑块104的摩擦力很小，滑动就可以很灵活。控制滑板200的滑动边缘与滑块104之间的间隙靠很小的公差保证，使得控制滑板200在运动时灵活而不晃动。如图5和图6所示，在本实施例中，所述滑动调节件为气缸驱动装置300，所述气缸驱动装置300包括与所述控制滑板200连接的气缸活塞301、容置所述气缸活塞301的气 缸302、以及于气缸活塞301伸出的一侧固定在所述气缸302上的活塞锁紧件303。其中，所述活塞锁紧件303用于在需要固定所述气缸活塞301位置时，锁紧气缸活塞301。所述气缸302通过气缸伸缩控制电磁阀307与所述压缩气体供气管路311连通，用于实现所述气缸活塞301的伸缩控制。所述活塞锁紧件303通过气缸锁紧控制电磁阀308与所述压缩气体供气管路311连通。如图5所示，所述活塞锁紧件303上设有锁紧件进气口 306，用于通过进气管与所述气缸锁紧控制电磁阀308连通。通过气缸锁紧控制电磁阀308的控制实现所述活塞锁紧件303对气缸活塞301的锁紧或放开。所述气缸302外周设有沿气缸302轴向位置可调的第一磁环304和第二磁环305，所述第一磁环304设于更靠近所述活塞锁紧件303的位置，其中，所述气缸活塞301伸出到达第一磁环304时，所述第一磁环304向所述气缸锁紧控制电磁阀308发出锁紧信号；所述气缸活塞301缩回到达第二磁环305时，所述第二磁环305向所述气缸锁紧控制电磁阀308发出锁紧信号。使用时，当气缸活塞301伸出到达第一磁环304时，气缸锁紧控制电磁阀308控制锁紧件进气口 306进气以锁住气缸活塞301 ;当气缸活塞301缩回时，气缸锁紧控制电磁阀308控制锁紧件进气口 306排气，使得锁紧的气缸活塞301被松开，气缸活塞301缩回；当气缸活塞301运行到第二磁环305处时，第二磁环305发出到位锁紧信号，气缸锁紧控制电磁阀308控制锁紧件进气口 306进气将气缸活塞301再次锁住。通过这样调整第一磁环304和第二磁环305的位置，就可以控制气缸活塞301的伸出和缩回长度。所述气缸伸缩控制电磁阀307分别通过进气管与排气管与所述气缸302连通，所述进气管上设有进气调速阀309 ;所述排气管上设有排气调速阀310。通过对进气调速阀309和排气调速阀310进行调节，可以控制气缸活塞301伸出或缩回的速度。所述控制滑板200与所述气缸活塞301之间通过运动连接件400连接，所述气缸302通过气缸安装板500与所述支承体100连接。工作时，压缩气体经过滤和压力调整，分别供给气缸锁紧控制电磁阀308和气缸伸缩控制电磁阀307，当气缸伸缩控制电磁阀307控制压缩气体进入气缸302，使控制气缸活塞301缩回，所述气缸活塞301带动控制滑板200将风道关闭，同时气缸锁紧控制电磁阀308控制锁紧件进气口 306排气，使活塞锁紧件303处于松开状态。活塞缩回到位后，气缸锁紧控制电磁阀308动作，使得压缩气体进入所述活塞锁紧件303，活塞锁紧件303将气缸活塞301锁住；当风道打开时，气缸锁紧控制电磁阀308控制活塞锁紧件303松开，气缸伸缩控制电磁阀307状态切换，压缩气体推动气缸活塞301伸出，同时控制滑板200打开风道。当气缸活塞301伸缩到位并被锁紧件303锁住时，气缸伸缩控制电磁阀307切换到中位，带逆流功能的减压阀312可以保持气缸两侧压力平衡。通过调节进气调速阀309和排气调速阀310来控制气缸活塞301的行进速度。实施例二 本实施例的支承件和控制滑板部分与实施例一相同，不同的是本实施例中的所述滑动调节件还可以为螺栓调节机构，所述螺栓调节机构包括安装在所述支承件上的固定部，以及活动端与所述控制滑板连接的螺栓。通过手工调节螺栓，使得控制滑板的位置发生变化，进而改变风口的大小。本实用新型提供的风量调节装置，可在有易燃易爆气体存在的环境下使用；在调·节过程中调节方便，风阻增加比较小，控制效果理想。以上实施方式仅用于说明本发明，而并非对本发明的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本发明的范畴，本发明的专利保护范围应由权利要求限定。
权利要求1.一种风量调节装置，其特征在于，包括沿风道的轴向设有开口的支承体、可滑动地改变与所述开口重合部分面积的控制滑板、以及驱动所述控制滑板滑动的滑动调节件。
2.如权利要求I所述的风量调节装置，其特征在于，所述支承体包括位于所述控制滑板板面两侧的上板和下板、以及于所述控制滑板边缘外侧连接在所述上板和下板之间的中间隔板。
3.如权利要求2所述的风量调节装置，其特征在于，所述支承体还包括限制于所述控制滑板的滑动边缘两侧的滑块。
4.如权利要求I所述的风量调节装置，其特征在于，所述滑动调节件为气缸驱动装置，所述控制滑板与气缸驱动装置的气缸活塞连接。
5.如权利要求4所述的风量调节装置，其特征在于，所述气缸驱动装置还包括容置所 述气缸活塞的气缸、以及于气缸活塞伸出的一侧固定在所述气缸上的活塞锁紧件，所述气缸通过气缸伸缩控制电磁阀与所述压缩气体供气管路连通，所述活塞锁紧件通过气缸锁紧控制电磁阀与所述压缩气体供气管路连通。
6.如权利要求5所述的风量调节装置，其特征在于，所述气缸外周设有沿气缸轴向位置可调的第一磁环和第二磁环，所述第一磁环更靠近所述活塞锁紧件设置，其中，所述气缸活塞伸出到达第一磁环时，所述第一磁环向所述气缸锁紧控制电磁阀发出锁紧信号；所述气缸活塞缩回到达第二磁环时，所述第二磁环向所述气缸锁紧控制电磁阀发出锁紧信号。
7.如权利要求5所述的风量调节装置，其特征在于，所述气缸伸缩控制电磁阀分别通过进气管与排气管与所述气缸连通，所述进气管上设有进气调速阀；所述排气管上设有排气调速阀。
8.如权利要求4所述的风量调节装置，其特征在于，所述控制滑板与所述气缸活塞之间通过运动连接件连接，所述气缸通过气缸安装板与所述支承体连接。
9.如权利要求I所述的风量调节装置，其特征在于，所述滑动调节件为螺栓调节机构，所述螺栓调节机构包括安装在所述支承件上的固定部，以及活动端与所述控制滑板连接的螺栓。
专利摘要本实用新型公开了一种风量调节装置，包括沿风道的轴向设有开口的支承体、可滑动地改变与所述开口重合部分面积的控制滑板、以及驱动所述控制滑板滑动的滑动调节件。本实用新型提供的风量调节装置，可在有易燃易爆气体存在的环境下使用；在调节过程中调节方便，风阻增加比较小，控制效果理想。
文档编号C23C16/455GK202705464SQ20122019331
公开日2013年1月30日 申请日期2012年4月28日 优先权日2012年4月28日
发明者刘 东, 崔娟娟, 李一吾, 刘俊豪 申请人:北京七星华创电子股份有限公司