专利名称：一种适用于大尺寸及超薄玻璃的镀膜设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种平板显示领域的玻璃镀膜设备，尤其涉及到一种新型的适用于大尺寸和超薄玻璃的镀膜设备。
背景技术：
如图I所示是现有技术中的结构图，图中由箱体I、基片架2、加热器3、导杆4、传动轮5构成。目前的导电玻璃生产线可以归纳为两大类第一类是设备两侧均设镀膜靶位，靶 位较少，适合于传统导电玻璃的生产，此类设备无法生产多层膜产品或者高透类产品，但是生产常规产品产量高，第二类是设备单面设有镀膜靶位，靶位设置较多，真空室的数量也较多，这类设备所生产产品除涵盖前一类设备的产品外，由于靶位增多，还可以生产高透膜产品以及多层膜产品，但是相比前一类设备产量减半，而且这两类设备的设计基本上是基于小尺寸玻璃考虑，但是产量较低，镀膜利用率不高，而且对于超薄玻璃，其良品率不高，生产过程中易出现破损现象，以上两类设备存在以下不足之处I、第一类设备虽产量较高，但是产品涵盖范围窄，不利于公司产品的升级换代；第二类设备虽涵盖产品范围广，但是产量过低，无法提高生产效率。即适用范围窄产量低，不利于产品拓展。2、该两类设备的设计以355. 6X406. 4mm尺寸的产品为主流标准产品，因此其基片架及夹具等的设计均按照355. 6X406. 4mm尺寸考虑，所采取的弹簧夹具与基片架上下横梁焊接在一起，所以玻璃尺寸变更，会出现夹具错位或者一片玻璃要横跨两个夹具的现象，易造成玻璃划伤或者因夹具夹不紧掉片。为避免上述情况可能针对不同尺寸的产品设计对应的横梁夹具，这样在产品更换时就需要更换整套横梁，耽误生产、时间较长且成本高；对于尺寸稍大的玻璃其镀膜有效区利用率低，这也直接导致这两类设备生产稍大尺寸玻璃产量极低的原因。主要适用于小尺寸玻璃，不适合大尺寸玻璃。3、这两类设备的基片架及靶位的设计均与水平面垂直，这种设计对于小尺寸厚玻璃而言(I. Imm, O. 7mm等)，可以完全满足其生产需要，但是对于3代以上尺寸的薄玻璃(O. 4mm、0. 33mm)，如果以这种方式装夹，易造成玻璃弯曲破裂，而且在基片架的行走过程中，会由于传动的稍微不平稳造成玻璃的颤动，使玻璃易与腔体内的加热器等部件擦碰。因此这两类设备不适合大尺寸薄玻璃的生产。4、对于双面膜产品，需要先镀第一面膜，然后完成检验包装等工序，等待镀第二面膜，等第一面膜制备完成后，再重新调整工艺，镀第二面膜层，镀第二面膜时，玻璃基板同样要经过清洗、镀膜、检验包装等工序，这样等于完成这双面膜产品，要完成两个完整的镀膜工艺，而且在镀第二面膜清洗时，第一次的包装材料就已经浪费不能回收利用，而且在工时上翻番，造成人力才力的浪费，导致成本高。
发明内容[0008]本发明要解决的技术问题在于提供了一种新型的适用于大尺寸及超薄玻璃的镀膜工艺及镀膜设备。为解决上述技术问题，本发明通过以下方案要来实现一种适用于大尺寸及超薄玻璃的镀膜设备，该镀膜设备由箱体、基片架、加热器、导杆、传动轮、靶位构成，所述导杆卡进传动轮的卡槽内，与靶位连接在一起，靶位采用双面设计，基片架与靶位倾斜适当角度，并以垂直于水平面的箱体的中心轴线为中心，两面倾斜，保持玻璃基板在镀膜时与靶面平行，靶基距一致，基片架所采用的夹具采取可移动的方式设计，在装夹玻璃的过程中采用整体框架结构，采取镶嵌的方式装载在基片架上，加热器与基片架倾斜方式一致，固定在箱体上。本发明的优点是产量高、设备双面可同时完成不同类型产品，适用于大尺寸以及大尺寸超薄玻璃生产的新型设备，其制造成本与现有技术相当，但是通过可移动夹具、靶位及基片架的倾斜式设计等，使其解决了现有技术设备无法高质量的生产大尺寸超薄玻璃、含盖产品范围窄，对于特殊产品效率低、不利于产品拓展的弊端，其设计思路独特新颖，具有领先地位。以下结合附图
对本发明作详细说明图I为现有技术的玻璃镀膜工艺结构示意图；图2为本发明的结构示意图。
具体实施方式
如图2所示，该玻璃镀膜设备由箱体I、基片架2、加热器3、导杆4、传动轮5、靶位6构成，所述导杆4卡进传动轮5的卡槽内，与靶位6连接在一起，靶位6采用双面设计，基片架2与靶位6倾斜适当角度，并以垂直于水平面的箱体I的中心轴线为中心，两面倾斜，保持玻璃基板在镀膜时与靶面平行，靶基距一致，基片架2所采用的夹具采取可移动的方式设计，在装夹玻璃的过程中采用整体框架结构，采取镶嵌的方式装载在基片架2上，加热器3与基片架2倾斜方式一致,固定在箱体I上。采取移动夹具、基片架2与靶位6倾斜适当角度、设备双面采用不同靶位6设计的理念，逐一克服了上述背景技术中的困难，使该生产设备即可涵盖更多的产品，又可提高产品质量，更重要的是解决了现有技术不能生产超大超薄玻璃的弊端，达到了国际领先水平，其具体技术方案如下I、本发明涉及的设备涵盖的产品广本发明所涉及的设备综合了以上两类设备的特点，采取设备双面设置靶位6，但是双面可设置不同类型不同数量的靶位6，这样设备的两面可以同时生产不同的产品，即设备可以涵盖更多的产品，又不造成过多的资源浪费。2、本发明涉及的设备，关键部件采取倾斜方式目前国外有选择较大倾斜角度的设备，由于倾斜角度过大导致设备只能作成单面生产结构，从而导致产量低。而本发明选择合适的倾斜角度，使得设备两面均可做倾斜设计，其倾斜方式是以垂直于水平面的腔体的中心轴线为中心，设备的关键部位分别向两侧倾斜相同的角度，本发明中的关键部件为阴极靶位和承载玻璃的基片架2，阴极靶位与基片架2上装载玻璃的框架倾斜同样的角度，这样保证玻璃基板在镀膜时与靶面平行，靶基距一致。这种结构的设计特别适合大尺寸超薄玻璃，尤其是厚度为O. 33mm的玻璃，现有技术玻璃基板垂直于水平面，由于玻璃重心以及玻璃在镀膜过程中加热变形、夹具夹持的松紧程度及传动的平稳度等的影响，大尺寸超薄玻璃易于破裂，而本发明的倾斜设计，使得玻璃的装夹方式基本为倚靠在基片架中承载玻璃的框架上，夹具仅起固定作用，不存在玻璃受力不均或者受热变形的现象，大大减少了玻璃的破损，提高了产品良率。3、可本发明涉及的设备，基片架2夹具采取可移动的方式现有技术采用夹具于基片架2横梁焊接在一起的方式，不利于产品尺寸的更换，而且在基片架喷砂过程中夹具容易被损坏，本发明对于厚玻璃基板采取移动弹簧夹具的方式，抛弃了现有技术夹具与基片架2焊接固定的方式，利用卡槽式固定法将夹具与基片架2横梁固定在一起，如果玻璃尺寸变化，则移动夹具位置使其能够满足不同尺寸玻璃的夹持，因此在更换规格时只需要移动夹具，而不需要针对不同尺寸制作对应的横梁和夹具，不仅节省了成本而且缩短了换规格调工艺的时间。4、本发明涉及的设备对于大尺寸超薄玻璃，其装夹结构采用整体框架结构对于 大尺寸超薄玻璃，则玻璃采取镶嵌的方式装载在基片架2上，其横竖梁按照玻璃尺寸固定成一个框架结构，在更换尺寸时可将整个框架直接固定在现有基片架2的外框架结构上，不需再调整夹具位置，不同尺寸的玻璃横梁可以共用，但是有专用的竖梁，框架结构可在生产前提前装配好，其上的夹具位置同样可以根据产品尺寸移动，不用另外更换夹具。5、本发明涉及的设备，其基片架2有效区域的设计综合了现有常用尺寸产品以及包含4. 5代面板的大尺寸基板，因此有效区域设计合理，利用率高。6、本发明涉及的设备，其设备两侧由于配置靶位6的不同，可以同时完成两种完全不同类型的产品而互不干扰，比如设备一面生产消影产品、高透产品或者多层膜产品，而设备的另外一面完全可以生产常规类产品。7、本发明涉及的设备，对于消影类产品，现有技术都是单面设备，即设备单面配置有靶位6，因此需要完成一面后再重复前一次的工序进行第二面镀膜，在等待镀第二面的过程中，中间增加的包装周转环节浪费了大量的包装材料，而且这种方式容易污染玻璃表面，造成第二次清洗困难，最终导致产量低成本高的现象，而本发明涉及的设备，由于设备两面配置了不同功能的靶位6，因此可以在设备一面完成消影面的同时，直接用周转小车完成周转，设备的另一面可同时完成产品第二面的镀膜工作，这种方式既减少了周转环节包装材料的浪费，也使在镀第二面膜层时，能够及时发现二次镀膜对第一面膜层的影响，以便尽快调整工艺，避免了现有技术等所有产品完成一面膜层后再完成第二面膜层，一旦对第一面膜层造成影响，已经无法挽救的局面，也就是能够及时避免批量不良的产生。对于此类产品，本发明所涉及的设备其生产产能是现有技术的两倍以上。
权利要求1.一种适用于大尺寸及超薄玻璃的镀膜设备，其特征在于该镀膜设备由箱体(I)、基片架(2)、加热器(3)、导杆(4)、传动轮(5)、靶位(6)构成，所述导杆(4)卡进传动轮(5)的卡槽内，与祀位(6)连接在一起，祀位(6)采用双面设计,基片架(2)与祀位(6)倾斜适当角度，并以垂直于水平面的箱体(I)的中心轴线为中心，两面倾斜，保持玻璃基板在镀膜时与靶面平行，靶基距一致，基片架(2)所采用的夹具采取可移动的方式设计，在装夹玻璃的过程中采用整体框架结构 ，采取镶嵌的方式装载在基片架(2)上，加热器(3)与基片架(2)倾斜方式一致，固定在箱体(I)上。
专利摘要本实用新型公开了一种适用于大尺寸及超薄玻璃的镀膜设备，该镀膜设备由箱体、基片架、加热器、导杆、传动轮、靶位构成，所述导杆卡进传动轮的卡槽内，与靶位连接在一起，靶位采用双面设计，基片架与靶位倾斜适当角度，并以垂直于水平面的箱体的中心轴线为中心，两面倾斜，保持玻璃基板在镀膜时与靶面平行，靶基距一致，基片架所采用的夹具采取可移动的方式设计，在装夹玻璃的过程中采用整体框架结构，采取镶嵌的方式装载在基片架上，加热器与基片架倾斜方式一致，固定在箱体上，解决了现有技术设备无法高质量的生产大尺寸超薄玻璃、含盖产品范围窄，对于特殊产品效率低、不利于产品拓展的弊端。
文档编号C23C14/34GK202671421SQ201220220438
公开日2013年1月16日 申请日期2012年5月16日 优先权日2012年5月16日
发明者姜翠宁 申请人:深圳市正星光电技术有限公司