专利名称：一种真空中用于高压电的绝缘转接装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种真空镀膜领域，特别是一种真空中用于高压电的绝缘转接装置。
背景技术：
目前在真空镀膜装备中，高压电源引入真空室之后，一种方法是在高压线引入的地方直接连接高压轰击棒，这样高压轰击棒的位置不能装配在镀膜中心区域，装配位置受到局限性很大，工艺效果较差；另一种方法是高压电线直接转接高压轰击棒，由于缺乏转接防护装置，高压电线很快就会由于放电破损，不能正常工作，严重的时候不能完成一个工艺周期。有些设备中采用了转接装置对高压电源进行转接，由于反复镀铝之后，绝缘效果就会持续下降而不能长期使用。高压轰击棒属于易损部件，现有装置拆卸安装都很不方便。
实用新型内容本实用新型的发明目的在于:针对上述存在的问题，提供一种高压轰击棒可以装配在镀膜中心区域，加装了转接防护装置，高压轰击棒更换方便，且能长期使用的一种真空中用于高压电的绝缘转接装置。本实用新型采用的技术方案是这样的:一种真空中用于高压电的绝缘转接装置，包括真空室外大气侧的高压线引入装置，真空室内侧的轰击棒；在高压线在真空室内延伸了一段距离后再转接到轰击棒，对于高压线在真空室内的延伸部分加装了转接防护装置，所述的轰击棒顶端设有“L”形挂口。优选地，所述的转接防护装置包括绝缘挑头、压板、绝缘压板、密封圈、高压挂头、绝缘套、屏蔽护罩、屏蔽套；所述的高压线的端口通过压板、绝缘压板、密封圈固定在绝缘基座内且与高压挂头连接；所述的高压挂头设有与轰击棒顶端挂口相配的挂口 ；所述的绝缘套包裹在转接部位；所述的屏蔽护罩通过螺栓固定在绝缘挑头上；所述的屏蔽套通过螺栓固定在绝缘套上。优选地，在所述的绝缘挑头与绝缘套之间设有密封圈。优选地，所述的屏蔽护罩与屏蔽套之间物理隔绝。优选地,所述的绝缘套上设有放电槽。综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是:1、高压直流离子清洗轰击装置从小门室体顶部通过绝缘挑头延伸至室体的中心，远离零件最大公自转面，这样有足够空间来产生等离子体，而不受零件最大公自转面的影响，这样就能最大程度的发挥轰击离化的作用。2、将从真空室体外引入的高压电线引入到真空室体内部后，通过密封圈、及压板、绝缘板、绝缘挑头、高压挂头、绝缘套等部件形成密封，在高压线接头部分形成非真空的一个空间，这样就避免了高压线接头部分的容易在真空中的放电现象，同时也解决了高压线因为是多芯线缆而产生的微漏现象对真空室体的影响。[0012]3、轰击棒通过L型的挂口挂接到高压触头上，使轰击棒的装卸方便简洁。4、绝缘套上有防止电弧爬升的放电槽,防止电弧从绝缘套的前段向上爬升,起到了防止导电性镀膜层污染绝缘件，从而防止表面放电打火问题。
图1是一种真空中用于高压电的绝缘转接装置剖视图。图2是轰击棒示意图图中标记:I为高压线引入装置，2为转接防护装置，3为轰击棒，21为绝缘挑头，22为压板，23为绝缘压板，24为密封圈，25为高压挂头，26为绝缘套，27为屏蔽护罩，28为屏蔽套。
具体实施方式
以下结合附图，对本实用新型作详细的说明。为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，
以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。如图1所示，一种真空中用于高压电的绝缘转接装置，将从真空室体外引入的高压电线11引入到真空室体内部后，通过密封圈24、及压板22、绝缘压板23、绝缘挑头21、高压挂头25、绝缘套26等部件形成密封，在高压线11接头部分形成非真空的一个空间，这样就避免了高压线11接头部分的容易在真空中的放电现象，同时也解决了高压线因为是多芯线缆而产生的微漏现象对真空室体的影响。屏蔽护罩27、屏蔽套28通过螺钉及螺柱固定在绝缘件上，相互之间也是物理隔绝的，这样轰击棒3高压等离子放电时，不会与屏蔽护罩27与屏蔽套28形成电压差，起到了屏蔽的作用；同时也防止了经过反复镀铝之后蒸发出来的铝对绝缘件造成的二次污染造成绝缘不良或绝缘性能下降问题。在绝缘挑头21与绝缘套26之间的密封圈24的主要作用是防止电弧从高压接触头处的放电，绝缘套26对高压转接部件紧紧包裹，起到了真空中对高压电的绝缘和灭弧作用。轰击棒3通过L型的挂口挂接到高压挂头25上，使轰击棒3的装卸方便简洁。绝缘套26上的凹槽主要是起防止镀膜材料直接沉积在表面后引起沿着绝缘套放电问题。以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种真空中用于高压电的绝缘转接装置，包括真空室外大气侧的高压线引入装置(1)，真空室内侧的轰击棒(3)，其特征在于，在高压线(11)在真空室内延伸了一段距离后再转接到轰击棒(3)，对于高压线(11)在真空室内的延伸部分加装了转接防护装置(2)，所述的轰击棒(3)顶端设有“L”形挂口。
2.根据权利要求1所述的一种真空中用于高压电的绝缘转接装置，其特征在于，所述的转接防护装置(2)包括绝缘挑头(21)、压板(22)、绝缘压板(23)、密封圈(24)、高压挂头(25)、绝缘套(26)、屏蔽护罩(27)、屏蔽套(28);所述的高压线(11)的端口通过压板(22)、绝缘压板(23)、密封圈(24)固定在绝缘基座(21)内且与高压挂头(25)连接；所述的高压挂头(25)设有与轰击棒(3)顶端挂口相配的挂口 ；所述的绝缘套(26)包裹在转接部位；所述的屏蔽护罩(27)通过螺栓固定在绝缘挑头(21)上；所述的屏蔽套(28)通过螺栓固定在绝缘套(26)上。
3.根据权利要求2所述的一种真空中用于高压电的绝缘转接装置，其特征在于，在所述的绝缘挑头(21)与绝缘套(26)之间设有密封圈(24)。
4.根据权利要求2所述的一种真空中用于高压电的绝缘转接装置，其特征在于，所述的屏蔽护罩(27)与屏蔽套(28)之间物理隔绝。
5.根据权利要求2所述的一种真空中用于高压电的绝缘转接装置，其特征在于，所述的绝缘套(26)上设有放电槽。
专利摘要本实用新型公开了一种真空中用于高压电的绝缘转接装置，包括真空室外大气侧的高压线引入装置，真空室内侧的轰击棒，在高压线(11)在真空室内延伸了一段距离后再转接到轰击棒，对于高压线在真空室内的延伸部分加装了转接防护装置，轰击棒顶端设有“L”形挂口。本实用新型由于转接防护装置，高压电线不会由于高压放电破损，高压轰击棒可以装配在镀膜中心区域，轰击棒的安装拆卸也很方便。
文档编号C23C14/22GK203007384SQ20122044804
公开日2013年6月19日 申请日期2012年9月5日 优先权日2012年9月5日
发明者范多旺, 夏荣斌, 牛晓山, 刘吉林, 牛步亭, 马庭忠 申请人:常州大成绿色镀膜科技有限公司, 兰州交大国家绿色镀膜工程中心有限责任公司, 兰州大成科技股份有限公司