一种采用磁控溅射镀彩色膜的方法
【专利摘要】本发明涉及一种采用磁控溅射镀彩色膜的方法，该方法是：在真空室内，通过磁控溅射的方法，将靶材上的锡元素电离并使它沉积到工件表面，在电场作用下，工件表面的锡与氧气反应形成氧化锡并附着于阳极基板上成膜。采用本发明的方法，所镀氧化锡膜根据厚度，可以呈现银白、粉红、绿、蓝和金黄等色彩。膜层艺简单，成本低，膜层附着力好，并具有很好的耐腐蚀性。
【专利说明】一种采用磁控溅射镀彩色膜的方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种采用磁控溅射镀彩色膜的方法。
【背景技术】
[0002] 采用真空镀膜的方法已经能够制备很多中色彩鲜艳的膜层，其中很多已经广泛应 用到我们生产生活的各个方面，但是由于真空镀膜本身条件的限制，真空镀膜产生的颜色 色彩种类相对自然颜色还是比较缺乏；本发明采用磁控溅射的方法，在材料表面镀制氧化 锡膜，通过控制膜的成份、厚度，可以产生银白色、粉红色、绿色、蓝色和金黄色等产品，丰富 了真空镀膜在装饰行业的应用。
【发明内容】
[0003] 本发明的目的是提供一种采用磁控溅射镀彩色膜的方法，可以实现所镀的彩色膜 层为单层氧化锡膜，其反射光颜色为多种单色光，而且附着力强、不导电。
[0004] 本发明的采用磁控溅射镀彩色膜的方法，其特征在于：在真空室中，通入工作氩气 和氧气，借由真空室内设置的锡靶和阳极基板电离出氩离子，氩离子受到电场加速具有高 能量后，轰击阴极锡靶表面，将动量转移给锡靶原子，锡靶原子获得动量后逸出靶材表面， 在电场作用下，与氧气反应形成氧化锡并附着于阳极基板上形成彩色膜。
[0005] 本发明具有以下优点：
[0006] 通过改变氧化锡薄膜的折射率和厚度使产品产生某一特定颜色；产品颜色为膜层 折射或反射不同波长的光而产生，不易褪色，外观看起来具有绚丽的金属反光色泽，特别高 雅美观；可通过调节膜层厚度及折射率，制成银白色、粉红、绿色、蓝色和金黄色等产品；
[0007] 业界主要应用于电子产品外壳镀制一层金属或金属氧化物，以达到反光颜色为多 种单色光的目的。本发明则是主要应用于电子产品显示屏幕，以达到反光颜色为多种单色 光的目的；
[0008] 所镀膜层为单层氧化锡膜，工艺简单，成本降低；
[0009] 彩色膜为不导电层，不影响射频通讯；膜层附着力好，具有很好的耐腐蚀性。
【具体实施方式】
[0010] 本发明提供一种采用磁控溅射镀彩色膜的方法，其特征在于：在真空室中，通入工 作氩气和氧气，借由真空室内设置的锡靶和阳极基板电离出氩离子，氩离子受到电场加速 具有高能量后，轰击阴极锡靶表面，将动量转移给锡靶原子，锡靶原子获得动量后逸出靶材 表面，在电场作用下，与氧气反应形成氧化锡并附着于阳极基板上形成彩色膜。
[0011] 这里要说明的是，本发明的方法在实施前，跟业界产品镀膜的方式类似，都要将基 片进行前处理，包括纯清水洗净〉超音波溶剂清洗〉超音波纯水清洗〉烘干；然后装夹于治 具上〉电枪除尘〉本发明的磁控溅射〉印刷油墨〉烘烤〉清洁〉检查〉包装。这里我们就 以电子显示屏幕为例，对于详细的操作我们就不进行分析介绍。
[0012] 电子显示屏幕的镀膜包括：
[0013] 1)基片前处理，该工序的目的是为了除去基片表面的灰尘、油腻、白点、指纹；
[0014] 2)装夹于卡具上；
[0015] 3)电枪除尘，目的是在溅镀前再次除去基片上的灰尘，增加膜层的附着力；
[0016] 4)磁控溅射在基片镀氧化锡膜层；
[0017] 5)印刷油墨可起保护膜层的作用，使膜层在油墨底色的映照下，呈现绚丽的金属 颜色光泽；
[0018] 6)烘烤，在160°C烘箱内，烘烤0.5h，该工艺主要为了干燥固化油墨；
[0019] 7)清洁，用酒精擦拭去除不洁、异物等；
[0020] 8)检查，确认是否存在刮擦伤、白点、颜色不均等不良；
[0021] 9)包装。
[0022] 值得一提的是，采用本发明实现的彩色膜的反光颜色包括：白色、黄色、粉色、蓝色 以及绿色等。该些反光颜色可通过改变氧化锡膜的厚度实现。这里我们以黄色为例，所述 溅射的起始压力为8. OX KT5Pa,溅射过程中的压力为：2. OX KT3Pa,我们将阳极基板设为 运动的，把阴极锡靶材设为静止的，在制程中，我们将阳极基板的运行速度设定为15mm / s，加于阴极锡靶材上面的电功率为0.6KW，通入的氩气速度为：100ml / min，通入的氧气速 度为：10ml / min,经过4趟的溉射处理,所述的趟数是指祀材从起点到终点,或者从终点到 起点为一趟，往返为两趟，即可做出反光颜色为黄色。
[0023] 表一是列出了生成其他几种颜色，所需要的较佳的条件，可见，本发明制备不同颜 色的方法是通过改变氧化锡膜的厚度实现。
[0024]
[0025] 表一
【权利要求】
1. 一种采用磁控溅射镀彩色膜的方法，其特征在于：在真空室中，通入工作氩气和氧 气，借由真空室内设置的锡靶和阳极基板电离出氩离子，氩离子受到电场加速具有高能量 后，轰击阴极锡靶表面，将动量转移给锡靶原子，锡靶原子获得动量后逸出靶材表面，在电 场作用下，与氧气反应形成氧化锡并附着于阳极基板上形成彩色膜。
2. 根据权利要求1所述的采用磁控溅射镀彩色膜的方法，其特征在于：所述的氧化锡 膜的反光颜色包括：金黄色、银白色、粉红色、蓝色以及绿色。
3. 根据权利要求2所述的采用磁控溅射镀彩色膜的方法，其特征在于：所述的彩色膜 的反光颜色是通过改变氧化锡膜的厚度实现。
4. 根据权利要求2所述的采用磁控溅射镀氧化锡膜的方法，其特征在于：所述溅射的 起始压力为8. OX l(T5Pa，溅射过程中的压力为：2. OX l(T3Pa。
5. 根据权利要求3所述的采用磁控溅射镀彩色膜的方法，其特征在于：所述的阴极锡 靶是静止的，所述的阳极基板是运动的，在制备反光颜色为黄色的彩色膜时，所述的阳极 板的移动速度为15mm / s，加于阴极锡祀材上面的电功率为0.6KW，通入的氩气速度为： 100ml / min,通入的氧气速度为：10ml / min。
【文档编号】C23C14/08GK104451570SQ201310429215
【公开日】2015年3月25日 申请日期:2013年9月17日 优先权日:2013年9月17日
【发明者】袁萍 申请人:无锡慧明电子科技有限公司