专利名称：一种长带衬底保温罩的制作方法
技术领域：
本实用新型是属于物理真空沉积镀膜技术领域，尤指一种物理真空沉积镀膜中对长带衬底起保温作用的长带衬底保温罩。
背景技术：
在物理真空沉积镀膜技术中，镀膜装置的沉积腔室配有加热系统，可移动的长带衬底由非加热区进入加热区，加热系统加热，但是由于长带衬底裸露在沉积腔室中，长带衬底升温较慢、温度不稳定、温区的均匀性差，导致移动中的长带衬底到达沉积区时温度未满足要求，引起镀膜时膜的均匀性差，以及加热系统能耗高等缺点。为此，本发明人设计并申请了中国专利“一种对长带衬底加热的保温装置”(中国专利申请号:201220672159.4)，其设计了一种可对长带衬底保温的装置，具有一由若干方向围壁构成的本体，该本体至少带有前、后和底侧的围壁，且上侧为全开放口 ；在底侧的围壁上开设沉积孔；在前侧的围壁上分别开设一组测温探头用孔；其还带有左、右侧的围壁，该左、右侧的围壁上开设供沉积镀膜作业的长带通过的通道槽口 ；在底侧的围壁上开设圆形的沉积孔；在前围壁上分别开设一组测温探头用孔；在后围壁上开设激光入射孔；在前、后侧围壁的上边缘带有一组具有螺钉孔的凸臂；该装置在一定程度上解决了现有技术中的问题，但仍存有一些缺陷:1.围壁过高，使得被围设的空间过大，相对的节能不足；2.激光入射孔道开设的槽孔直通面积大，相对散热多，不利于保温；3.羽辉观察孔为独立开设的一封闭孔，即不利于加工，也容易遮挡一部分的视线；4.沉积孔为圆形，而长带衬底为直边，这样物理真空沉积镀膜时，易有一部分的沉积物沉积在非长带衬底的部分，造成污染。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种长带衬底保温罩，使可移动的长带衬底从非加热区进入加热区时，长带衬底温度迅速提升，受热均匀，温度稳定，镀膜时膜的均匀性好，节约能源。为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案:—种长带衬底保温罩，具有一由若干方向围壁构成的本体，该本体至少带有前、后和底侧的围壁，且上侧为全开放口 ；在底侧的围壁上开设方形沉积孔；在前侧的围壁上分别开设一组测温探头用孔。所述长带衬底保温罩的本体还带有左、右侧的围壁，该左、右侧的围壁上开设供沉积镀膜作业的长带通过的通道槽口。所述长带衬底保温罩中，在后侧部分的围壁上开设一个激光入射孔道，由该激光入射孔道的上口向下设置一斜向板，使得长带衬底保温罩中的容室与外部直通面积减小。所述长带衬底保温罩中，在前、后侧围壁的上边缘带有一组具有U型螺钉孔的凸臂。所述的测温探头采用热电偶。[0011]所述各侧的围壁高度均等为8-30mm，安装固定后的底壁距长带衬底的垂直距离为l_5mm ;优选是，各侧的围壁高度为8-15mm，安装固定后的底壁距长带衬底的垂直距离为本实用新型的有益效果是:本保温罩在沉积腔室内对于可移动的长带衬底实行围设，以起到保温作用。使长带衬底从非加热区进入加热区时，可移动的长带衬底在加热区内由于被保温装置在一定程度上封闭而保温，从而使升温迅速，受热均匀，以保证在到达沉积区时，长带衬底温度满足要求，有效地起到了提高镀膜均匀性的作用，并且起到节约能源的效果。
图1为本实用新型长带衬底保温罩一实施例的结构示意图(立体视图)。图2为图1所示实施例的结构示意图(主视)。图3为图1所示实施例的结构示意图(后视)。图4为图1所示实施例的结构示意图(仰视)。图5为图1所示实施例的结构示意图(左视)。图6为图2中D-D向截面结构示意图。
具体实施方式
本实用新型长带衬底保温罩用于物理真空沉积镀膜中，主要是对沉积腔室内行进作业中的走带(即长带衬底)进行围设，以期外露部分尽量少，尽可能不使长带衬底上方加热装置发出的热量散失，起到保温的作用。本实用新型长带衬底保温罩可以是一个具有若干方向围壁组合起来的本体，该本体至少带有前、后和底侧的围壁，且上侧为全开放口，根据需要，除在其上相应的位置上要开设沉积孔和一组测温探头用孔外(该组测温探头用孔可根据需求增减、换位，整体大小可变换)，还可选择性的开设激光入射孔。图1至图6示出了本长带衬底保温罩一较佳的实施例，该实施中，该本体I整体呈长方形态，带有前、后、左、右和底侧的围壁，以期可以将行进在加热装置下方的长带衬底尽可能的全部罩笼；在左、右侧的围壁上开设供沉积镀膜的长带通过的通道槽口 3 ;在底侧的围壁上开设一定尺寸的长方形或方形沉积孔5，该长方形或方形沉积孔5的尺寸大小可根据长带的宽度和所需沉积区域的长度大小对应开设；在前侧的围壁上分别开设一组测温探头用孔2。请参阅图1至图3所示，所述前、后壁的上边缘设有一组凸台，该凸台开设有一组与上方的加热器组件连接用的固定螺钉孔7，该固定螺钉孔7优选为U型孔，以利于组装。根据全面的需要，如果考虑让本实用新型长带衬底保温罩可以同时适用于磁控溅射、电子束蒸发获热蒸发和脉冲激光沉积等镀膜作业，可以在本体I的后侧部分的围壁上开设激光入射孔道4，该激光入射孔道4或独立，或与底侧围壁上开设的方形沉积孔5联通(如图1中所示)，再由上口向下置一斜向板41 (如图1和图3中所示)，不仅可以满足激光束与靶面45度角的方向入射，还能使得长带衬底保温罩中的容室与外部直通面积减小，让长带衬底的保持良好的工艺环境。[0024]上述各侧的围壁高度应均等，在能保证长带衬底工作时正常通过的前提下，围壁要尽可能的低，随着高度的减小，使底部更贴近衬底，更利于保温，并更节能。使用时，将固定螺钉孔7与上方的加热器组件固定连接，移动的长带衬底可被包容在本实用新型对长带衬底加热的保温装置所容置的空间内，作业时，长带逐步进入加热区，加热系统启动工作，由于本实用新型对长带衬底加热的保温装置的存在，在加热区内，可移动的长带衬底所在加热区一定程度上被封闭而保温，从而使升温迅速，受热均匀，以保证长带衬底工艺环境温度满足要求，从而镀膜的均匀性良好，且起到节约能耗的效果。上述各实施例可在不脱离本实用新型的范围下加以若干变化，故以上的说明所包含及附图中所示的结构应视为例示性，而非用以限制本实用新型申请专利的保护范围。
权利要求1.一种长带衬底保温罩，具有一由若干方向围壁构成的本体，其特征在于:该本体至少带有前、后和底侧的围壁，且上侧为全开放口 ；在底侧的围壁上开设长方形或方形沉积孔；在前侧的围壁上分别开设一组测温探头用孔。
2.根据权利要求1所述的长带衬底保温罩，其特征在于:所述的本体还带有左、右侧的围壁，该左、右侧的围壁上开设供沉积镀膜作业的长带通过的通道槽口。
3.根据权利要求1或2所述的长带衬底保温罩，其特征在于:在本体后侧部分的围壁上开设一个激光入射孔道，由该激光入射孔道的上口向下设置一斜向板。
4.根据权利要求1所述的长带衬底保温罩，其特征在于:在前、后侧围壁的上边缘带有一组具有U型螺钉孔的凸臂。
5.根据权利要求1所述的长带衬底保温罩，其特征在于:所述的测温探头采用热电偶。
6.根据权利要求1或2所述的长带衬底保温罩，其特征在于:所述各侧的围壁高度均等为8-30mm,安装固定后的底壁距长带衬底的垂直距离为l_5mm。
7.根据权利要求6所述的长带衬底保温罩，其特征在于:所述各侧的围壁高度为8-15mm,安装固定后的底壁距长带衬底的垂直距离为l_3mm。
专利摘要一种长带衬底保温罩，是一个除上侧全开放的由若干方向围壁构成的本体，在左、右侧的围壁上开设供沉积镀膜作业的长带通过的通道槽口；在底侧的围壁上开设长方形或方形的沉积孔；在前围壁上分别开设一组测温探头用孔；在后围壁上开设激光入射孔道，该孔道是在后侧的围壁上开一个方形槽孔，由上口向下倾斜设置一挡板，使得该装置所容置的空间与外部直通面积减小，但又不影响脉冲激光沉积镀膜；在前、后围壁的上边缘设一组具有U型螺钉孔的凸臂。该装置可使长带衬底进入加热区时温度迅速提升且稳定，镀膜均匀性好，节约能耗。
文档编号C23C14/54GK203034087SQ20132000601
公开日2013年7月3日 申请日期2013年1月7日 优先权日2013年1月7日
发明者杨坚 申请人:北京有色金属研究总院