真空磁控溅射工艺中密封油的回收利用装置制造方法
【专利摘要】本实用新型是一种回收利用装置，特别涉及一种真空磁控溅射工艺中密封油的回收利用装置。内部钢罩由底座与罩体组成，罩体的上部设有与之相固定的底座，海绵固定架的外壁设有与之相贴合的海绵层，海绵层的外壁设有与之相贴合的双层不锈钢网层，气体输送管的头部伸至内部钢罩中，气体输送管的头部设有均匀分布的扩散孔，内部钢罩外套有外部钢罩，外部钢罩通过支架与气体输送管相固定连接，所述的支架与气体输送管的拼接处设有导油孔。真空磁控溅射工艺中密封油的回收利用装结构紧凑，有效节约能源，具有一定的环保性。
【专利说明】真空磁控溅射工艺中密封油的回收利用装置
【技术领域】
[0001]本实用新型是一种回收利用装置，特别涉及一种真空磁控溅射工艺中密封油的回收利用装置。
【背景技术】
[0002]真空磁控溅射工艺是在真空环境下对玻璃进行溅射镀膜，这就需要保证真空磁控溅射腔室内始终处于真空状态，扩散泵需要每隔I分钟对腔室内的空气进行外排。在气体外排的过程中，为了防止室外的气体在大气压的作用下进入腔室，采用油帘幕的方式对排气口进行不间断的密封。正是因此，在腔室内空气外排过程经过油帘幕时必然将部分油带出，混合在气体中向外排出，既浪费了油，又对环境造成一定的影响。
【发明内容】
[0003]本实用新型主要是解决现有技术中存在的不足，结构紧凑，以实现节油及环保功能的真空磁控溅射工艺中密封油的回收利用装置。
[0004]本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的:
[0005]一种真空磁控溅射工艺中密封油的回收利用装置，包括内部钢罩、外部钢罩和气体输送管，所述的内部钢罩由底座与罩体组成，所述的罩体的上部设有与之相固定的底座，所述的罩体由海绵层、海绵固定架与双层不锈钢网层组成，所述的海绵固定架的外壁设有与之相贴合的海绵层，所述的海绵层的外壁设有与之相贴合的双层不锈钢网层，所述的气体输送管的头部伸至内部钢罩中，所述的气体输送管的头部设有均匀分布的扩散孔，所述的内部钢罩外套有外部钢罩，所述的外部钢罩通过支架与气体输送管相固定连接，所述的支架与气体输送管的拼接处设有导油孔。
[0006]作为优选，所述的气体输送管的顶部呈密封状，所述的气体输送管为钢管。
[0007]空气与油的混合气体经过排气口进入气体输送管，高速流动的混合气体经过扩散孔进入内部钢罩中，混合气体首先经过海绵层，混合气体中的油被吸附到海绵层中，随着重力作用，逐渐渗到外部钢罩内表面，并通过导油孔回流至油箱内。其中内部钢罩中的海绵固定架用于固定海绵层，双层不锈钢网层用于固定海绵层的同时，使得海绵层在内部气体往外流动时挤压海绵层，使海绵层内密封油溢出并滴落。
[0008]因真空腔室内气体每隔I分钟进行外排，海绵层中吸附的密封油有足够时间进行回落，防止油长时间吸附于海绵层中，排气过程中继续带走密封油。
[0009]因此，本实用新型提供的真空磁控溅射工艺中密封油的回收利用装，结构紧凑，有效节约能源，具有一定的环保性。
【专利附图】
【附图说明】
[0010]图1是本实用新型的结构示意图。【具体实施方式】
[0011]下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。
[0012]实施例:如图1所示，一种真空磁控溅射工艺中密封油的回收利用装置，包括内部钢罩1、外部钢罩2和气体输送管3,所述的内部钢罩I由底座4与罩体5组成,所述的罩体5的上部设有与之相固定的底座4，所述的罩体5由海绵层6、海绵固定架7与双层不锈钢网层8组成，所述的海绵固定架7的外壁设有与之相贴合的海绵层6，所述的海绵层6的外壁设有与之相贴合的双层不锈钢网层8，所述的气体输送管3的头部伸至内部钢罩I中，所述的气体输送管3的头部设有均匀分布的扩散孔9，所述的内部钢罩I外套有外部钢罩2，所述的外部钢罩2通过支架10与气体输送管3相固定连接，所述的支架10与气体输送管3的拼接处设有导油孔11。所述的气体输送管3的顶部呈密封状，所述的气体输送管3为钢管。
【权利要求】
1.一种真空磁控溅射工艺中密封油的回收利用装置，其特征在于:包括内部钢罩(I)、外部钢罩(2)和气体输送管(3)，所述的内部钢罩(I)由底座(4)与罩体(5)组成，所述的罩体(5)的上部设有与之相固定的底座(4)，所述的罩体(5)由海绵层(6)、海绵固定架(7)与双层不锈钢网层(8)组成，所述的海绵固定架(7)的外壁设有与之相贴合的海绵层(6)，所述的海绵层(6)的外壁设有与之相贴合的双层不锈钢网层(8)，所述的气体输送管(3)的头部伸至内部钢罩(I)中，所述的气体输送管(3)的头部设有均匀分布的扩散孔(9)，所述的内部钢罩(I)外套有外部钢罩(2)，所述的外部钢罩(2)通过支架(10)与气体输送管(3)相固定连接，所述的支架(10)与气体输送管(3)的拼接处设有导油孔(11)。
2.根据权利要求1所述的真空磁控溅射工艺中密封油的回收利用装置，其特征在于:所述的气体输送管(3)的顶部呈密封状，所述的气体输送管(3)为钢管。
【文档编号】C23C14/35GK203564932SQ201320439260
【公开日】2014年4月30日 申请日期:2013年7月23日 优先权日:2013年7月23日
【发明者】马书红, 顾建烽, 赵张金, 周兴国 申请人:杭州和合玻璃工业有限公司