表面精密加工装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种表面精密加工装置，属于精密加工【技术领域】。该装置包括真空室，在真空室内设置有加工装置，加工装置上用夹具夹有工件，其中，加工装置上连接有横向驱动装置和纵向驱动装置；工件垂直上方设置有光栅遮挡物，光栅遮挡物上方设置有激光干涉仪和传感器，激光干涉仪和传感器上分别设置有信号线与设置在真空室外的工位机相连接；真空室侧面上设置有离子发生器，离子发生器发射口与工件相对。本实用新型通过采用离子束加工方式针对工件表面进行加工，并利用真空室来控制，通过传感器反馈，并通过控制器控制离子发生器，从而有效地根据要求针对表面进行精密加工，达到精密加工的要求。
【专利说明】表面精密加工装置【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种表面精密加工装置，属于精密加工【技术领域】。
【背景技术】
[0002]目前，随着精密、超精密加工的要求不断提出，而且随着工艺水平的普遍提高，精密加工的要求也越来越高，对此，也需要采用其他方式予以完善加工方式，以提高加工效果。特别是对于表面加工过程中的要求，更是需要采用一些合适的方式予以完善，目前所用方式无法到达更加精密的要求，因此有必要采用一些合适的方式，其中，利用粒子加工方式就是其中之一。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的在于提供一种表面精密加工装置，以便利用粒子加工器针对材料表面进行加工，从而达到更高精密加工程度。
[0004]为了实现上述目的，本实用新型的技术方案如下。
[0005]一种表面精密加工装置，包括真空室，在真空室内设置有加工装置，加工装置上用夹具夹有工件，其中，加工装置上连接有横向驱动装置和纵向驱动装置；工件垂直上方设置有光栅遮挡物，光栅遮挡物上方设置有激光干涉仪和传感器，激光干涉仪和传感器上分别设置有信号线与设置在真空室外的工位机相连接；真空室侧面上设置有离子发生器，离子发生器发射口与工件相对。
[0006]进一步地，离子发生器上连接有控制器，控制器上连接有控制台，用以对离子发生器予以控制和调节。
[0007]进一步地，光栅遮挡物一侧连接有光栅驱动装置。
[0008]进一步地，工件与水平成30度夹角设置在加工装置上。
[0009]该实用新型中，利用离子束进行表面加工，将经过预磨削加工的工件放置入真空度保持在1.33X 10?的真空室中，离子发生器射出的离子束以高达30K电子伏的强度作用在被加工的表面上，并以2 μ m~10 μ m/h的速率去除表层材料,从而达到10nm乃至更高的形状精度。在工作过程中，离子发生器射出的离子束打在工件上的强度和加工过程均由工位机及控制台来实现，根据激光干涉仪对被加工表面形状的检测结果，借助光栅驱动装置来调节光栅遮挡物改变离子束强度，通过控制器控制离子发生器，通过横向驱动装置和纵向驱动装置控制工件位置，并由传感器来测量和控制真空室中的温度，使之保持恒定，从而有效地针对工件表面进行精密加工。
[0010]该实用新型的有益效果在于:本实用新型通过采用离子束加工方式针对工件表面进行加工，并利用真空室来控制，通过传感器反馈，并通过控制器控制离子发生器，从而有效地根据要求针对表面进行精密加工,达到精密加工的要求。
【专利附图】
【附图说明】[0011]图1是本实用新型实施例中所用装置结构图。
[0012]图中标记说明:1、真空室；2、工件；3、横向驱动装置；4、纵向驱动装置；5、控制台；
6、工位机；7、控制器8、离子发生器；9、激光干涉仪；10、传感器；11、光栅遮挡物；12、光栅
驱动装置。
【具体实施方式】
[0013]下面结合附图对本实用新型的【具体实施方式】进行描述，以便更好的理解本实用新型。
[0014]如图1所示的表面精密加工装置，包括真空室1，在真空室I内设置有加工装置，力口工装置上用夹具夹有工件2，其中，加工装置上连接有横向驱动装置3和纵向驱动装置4 ;工件2垂直上方设置有光栅遮挡物11，光栅遮挡物11上方设置有激光干涉仪9和传感器10，激光干涉仪9和传感器10上分别设置有信号线与设置在真空室I外的工位机6相连接；真空室I侧面上设置有离子发生器8，离子发生器8发射口与工件2相对。离子发生器8上连接有控制器7，控制器7上连接有控制台5，用以对离子发生器8予以控制和调节。光栅遮挡物11 一侧连接有光栅驱动装置12。工件2与水平成30度夹角设置在加工装置上。
[0015]该实用新型中，利用离子束进行表面加工，将经过预磨削加工的工件2放置入真空度保持在1.33X10_3Pa的真空室I中，离子发生器8射出的离子束以高达30K电子伏的强度作用在被加工的表面上，并以Iym?5μπιΛ的速率去除表层材料，从而达到IOnm乃至更高的形状精度。在工作过程中，离子发生器8射出的离子束打在工件上的强度和加工过程均由工位机6及控制台5来实现，根据激光干涉仪9对被加工表面形状的检测结果，借助光栅驱动装置12来调节光栅遮挡物11改变离子束强度，通过控制器7控制离子发生器8，通过横向驱动装置3和纵向驱动装置4控制工件2位置，并由传感器10来测量和控制真空室I中的温度，使之保持恒定，从而有效地针对工件2表面进行精密加工。
[0016]以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本【技术领域】的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本实用新型的保护范围。
【权利要求】
1.一种表面精密加工装置，包括真空室，在真空室内设置有加工装置，加工装置上用夹具夹有工件，其特征在于:所述加工装置上连接有横向驱动装置和纵向驱动装置；所述工件垂直上方设置有光栅遮挡物，所述光栅遮挡物上方设置有激光干涉仪和传感器，所述激光干涉仪和传感器上分别设置有信号线与设置在真空室外的工位机相连接；所述真空室侧面上设置有离子发生器，所述离子发生器发射口与工件相对。
2.根据权利要求1所述的表面精密加工装置，其特征在于:所述离子发生器上连接有控制器，所述控制器上连接有控制台。
3.根据权利要求1所述的表面精密加工装置，其特征在于:所述光栅遮挡物一侧连接有光栅驱动装置。
4.根据权利要求1所述的表面精密加工装置，其特征在于:所述工件与水平成30度夹角设置在加工装置上。
【文档编号】B24B1/00GK203579322SQ201320789496
【公开日】2014年5月7日 申请日期:2013年12月5日 优先权日:2013年12月5日
【发明者】苏兴存 申请人:青岛丰光精密机械股份有限公司