一种可调式装片装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种可调式装片装置，包括：一固定组件和一调节组件，调节组件安装在固定组件上，通过调节调节组件的位置安装不同规格的基片。与现有技术相比，该装片装置稳固安装基片，操作方便，依据基片的大小，灵活变化安装的宽度与高度，适用于安装各种不同规格的基片，装置的横截面积小，在真空镀膜生产线中占用镀膜腔室空间小，结构简单，用材少，节约资源，便于大规模生产，因此其应用前景十分广阔。
【专利说明】—种可调式装片装直
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及装片装置【技术领域】，具体说，是涉及一种真空镀膜生产线的可调式装片装置。
【背景技术】
[0002]镀膜生产线中磁控溅射是为了再低气压下进行高速溅射，必须有效地提高气体的离化率。通过在粑阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以提高溅射率的方法，而在镀膜中就需要特殊的装片装置固定基片。
[0003]基片的大小不定，通常需要依据基片的大小建立基片架。目前市场上使用的装片装置为一种基片架，基片预设安装在基片架上，如专利号为201320051676.4的一种可调基片架，包括第一外横杆、第二外横杆、第一竖杆、第二竖杆、第一调节横杆、第二调节横杆、弹性压条和弹性压片；所述第一外横杆、第一竖杆、第二外横杆和第二竖杆两两联组成一个长方形的框架，框架四个角用螺钉连接，第一、二竖杆上设有凹槽和通孔，第一、二调节横杆通过通孔安装在竖杆上。但是该可调节基片架中，孔的位置固定，只能将第一、二调节横杆依据孔的位置调节。然而，基片的大小是不固定的，并且每个基片的大小会有偏差，有可能第一、二调节横杆依据孔的位置调节位置时，不满足基片的大小。并且该弹性元件的位置固定，不能移动，也不能依据需要固定基片的数量，设置弹性元件。
[0004]为了解决上述固定，市场上又出现了一种基片架，该基片架在调节横杆后再增加了一辅助杆，辅助杆辅助基片在基片架上固定，但这种基片架使基片架架体的横截面积增大，这样导致真空镀膜室的基片架进出口都必须加宽，这样造成真空镀膜室加工工艺复杂。
【发明内容】
[0005]针对现有技术存在的上述问题，本发明的目的是提供一种可调式装片装置，将基片稳固安装，以方便镀膜生产，其横截面积小，结构简单，适合安装各种不同规格的基片。
[0006]为实现上述发明目的，本实用新型采用的技术方案如下:
[0007]—种可调式装片装置，包括:一固定组件和一调节组件，调节组件安装在固定组件上，通过调节调节组件的位置安装不同规格的基片；
[0008]固定组件包括第一支撑杆、第二支撑杆、第一挡板和第二挡板，第一支撑杆、第一挡板、第二支撑杆和第二挡板两两连接形成一方形框架，第一支撑杆和第二支撑杆上分别设有至少两个导槽区域；调节组件安装在固定组件上，调节组件包括至少两个调节梁和至少一组定位件，定位件可拆卸的安装在调节梁上，调节梁安装在第一支撑杆和第二支撑杆的导槽区域上；
[0009]导槽区域进一步包括一导槽和一安置区，导槽设置在安置区内，导槽呈竖直方向；
[0010]固定组件的第一支撑杆和第二支撑杆上进一步分别设有中心安置区域，中心导位区域设置在第一支撑杆和第二支撑杆中心；[0011]调节梁安装在第一支撑杆和第二支撑杆的导槽区域和/或中心安置区域，调节梁包括一第一端部、一第二端部和一横梁，横梁的两端连接第一端部和第二端部，第一端部和第二端部的厚度小于横梁的厚度，第一端部和第二端部的厚度一致；
[0012]定位件包括一第一定位元件和一第二定位元件，第一定位元件拆卸安装在一调节梁上，第二定位元件可拆卸安装在另一调节梁上，第一定位元件的安装位置高于第二定位元件的位置。
[0013]优选地，第一支撑杆、第一挡板、第二支撑杆和第二挡板两两连接形成一长方形框架，以增大安装面积。
[0014]更优选地，安置区的长度不小于导槽的长度，安置区的宽度不小于导槽的宽度。
[0015]优选地，导槽区域包括第一导槽区域和第二导槽区域，第一导槽区域的面积大于第二导槽区域。
[0016]更优选地，第一导槽区域设置在第一支撑杆和第二支撑杆的两端部，第二导槽区域设置在第一支撑杆和第二支撑杆中间部位，第一导槽区域进一步包括一第一导槽和第一安置区，第一导槽呈竖直方向设置在所述第一安置区内，第一安置区的长度不小于所述第一导槽的长度，第一安置区的宽度不小于第一导槽的宽度；第二导槽区域进一步包括一第二导槽和一第二安置区，第二导槽呈竖直方向设置在第二安置区内，第二安置区的长度不小于第二导槽的长度，第二安置区的宽度不小于第二导槽的宽度，第一安置区的面积大于第二安置区，第一导槽的长度长于第二导槽。
[0017]优选地，中心导位区域进一步包括一中心安置孔和一中心安置区，中心安置孔设置在中心安置区的中心，中心安置区自第一支撑杆和第二支撑杆上去除材料形成，中心安置区的深度与安置区一致。
[0018]优选地，调节梁安装在第一支撑杆和第二支撑杆的导槽区域和/或中心安置区域，调节梁包括一第一端部、一第二端部和一横梁，横梁的两端连接第一端部和第二端部，第一端部和第二端部的厚度小于横梁的厚度，第一端部和第二端部的厚度一致。
[0019]更优选地，第一端部和第二端部的厚度与安置区的深度一致，这样减小整个装置的横截面积，方便装置进入真空镀膜腔。
[0020]更优选地，第一端部上设置有调节孔，调节孔的直径与导槽的宽度一致。
[0021]更优选地，第二端部上设置有调节槽，调节槽的长度大于调节孔的直径，调节槽的宽度与导槽的宽度一致，这样防止调节梁在真空镀膜腔室中出现热变形现象，导致装片装置上基片不能稳固安装。
[0022]优选地，调节梁进一步包括一第一凹槽、一第二凹槽和一间隔柱，第一凹槽和第二凹槽分列在间隔柱的两侧，第一凹槽和第二凹槽去除材料形成，第一凹槽和第二凹槽的深度与安置区的深度一致。
[0023]更优选地，第一定位元件和第二定位元件通过螺钉安装在调节梁上。
[0024]更优选地，第一定位元件为一弹性元件；第二定位元件为一卡槽。
[0025]更优选地，一组定位件可拆卸安装在调节梁上时，第一定位元件安装在一调节梁的第二凹槽上，第二定位元件安装在另一调节梁的第一凹槽上；换句话说，一个调节梁上可同时安装第一定位元件和第二定位元件，第一定位元件安装在第二凹槽上，第二定位元件安装在第一凹槽上；在同一调节梁上，第二定位元件安装位置高于第一定位元件，然而在一组定位件时，第一定位元件的安装位置高于第二定位元件。
[0026]优选地，第一挡板和第二挡板与第一支撑杆和第二支撑杆之间通过螺栓连接。
[0027]优选地，第一挡板上活动设置有装片导向件，装片导向件进一步包括第一导向元件、第二导向元件和第三导向元件，第二导向元件与第一挡板连接，第一导向元件与第二导向元件活动连接，第三导向元件设置在第一导向元件和第二导向元件之间。
[0028]更优选地，装片导向件与镀膜生产线中的定位导向件配合。
[0029]更优选地，第三导向元件为磁条。
[0030]更优选地，镀膜生产线中的定位导向件为磁条。
[0031]更优选地，定位导向件与第三导向元件相排斥，定位导向件与第三导向元件同为磁性元件且同磁极。
[0032]更优选地，定位导向件与第三导向元件相吸弓丨，定位导向件与第三导向元件同为磁性元件且磁极相异。
[0033]更优选地，定位导向件与第三导向元件相吸引，第三导向元件为磁性元件，定位导向件为铁制材料制成。
[0034]更优选地，定位导向件与第三导向元件相吸引，定位导向件为磁性元件，第三导向兀件为铁制材料制成。
[0035]优选地，第二挡板上设置有移动轴，移动轴与第二挡板活动连接。
[0036]更优选地，移动轴的长度不小于第二挡板的长度。
[0037]更优选地，移动轴的长度与第二挡板的长度一致。
[0038]与现有技术相比，本实用新型提供一种可调式装片装置，该装片装置稳固安装基片，操作方便，依据基片的大小，灵活变化安装的宽度与高度，适用于安装各种不同规格的基片，装置的横截面积小，在真空镀膜生产线中占用镀膜腔室空间小，结构简单，用材少，节约资源，便于大规模生产，因此其应用前景十分广阔。
【专利附图】
【附图说明】
[0039]图1为本实用新型提供的可调式装片装置一种优选实施方式示意图；
[0040]图2为本实用新型提供的可调式装片装置中第一端部与第一导槽区域安装剖视放大图A-A ；
[0041]图3为本实用新型提供的一种可调式装片装置中第二端部与第一导槽区域安装剖视放大图B-B ；
[0042]图4为本实用新型提供的一种可调式装片装置中第一端部与第二导槽区域安装剖视放大图C-C ；
[0043]图5A为本实用新型提供的一种可调式装片装置第一种安装基片示意图；
[0044]图5B为本实用新型提供的一种可调式装片装置第二种安装基片示意图；
[0045]图5C为本实用新型提供的一种可调式装片装置第三种安装基片示意图。
【具体实施方式】
[0046]下面结合实施方式及附图对本实用新型作进一步详细、完整地说明。
[0047]图1至图4，为本实用新型提供的一种可调式装片装置一种优选实施方式的示意图。如图1至图4所示，该装片装置包括一固定组件10和一调节组件20，调节组件20安装在固定组件10上，基片安装在调节组件20上。
[0048]固定组件10包括一第一支撑杆11、一第二支撑杆12、一第一挡板13和一第二挡板14，第一支撑杆11、第一挡板13、第二支撑杆12和第二挡板14两两连接形成一长方形框架，第一支撑杆11和第二支撑杆12上分别设有至少两个导槽区域15。导槽区域15进一步包括一导槽151和安置区152，导槽151呈竖直方向设置在安置区152内。安置区152的长度不小于导槽151的长度，安置区152的宽度不小于导槽151的宽度。
[0049]导槽区域15包括第一导槽区域15A和第二导槽区域15B，第一导槽区域15A的面积大于第二导槽区域15B。第一导槽区域15A设置在第一支撑杆11和第二支撑杆12的两端部，第二导槽区域15B设置在第一支撑杆11和第二支撑杆12中间部位。第一导槽区域15A进一步包括一第一导槽151A和第一安置区152A，第一导槽151A呈竖直方向设置在第一安置区152A内。第一安置区152A的长度不小于第一导槽151A的长度,第一安置区152A的宽度不小于第一导槽151A的宽度。第二导槽区域15B进一步包括第二导槽151B和第二安置区152B，第二导槽151B呈竖直方向设置在第二安置区152B内。第二安置区152B的长度不小于第二导槽151B的长度，第二安置区152B的宽度不小于第二导槽151B的宽度。第一安置区152A的面积大于第二安置区152B，第一导槽151A的长度长于第二导槽151B，这样可更加灵活地变化调节梁21之间的高度。优选地，第一支撑杆11和第二支撑杆12设有2个第一导槽区域15A和2个第二导槽区域15B。
[0050]固定组件10的第一支撑杆11和第二支撑杆12上进一步分别设有中心安置区域16，中心导位区域16设置在第一支撑杆11和第二支撑杆12中间，中心导位区域16进一步包括一中心安置孔161和一中心安置区162,中心安置孔161设置在中心安置区162的中心，中心安置区162自第一支撑杆11和第二支撑杆12上去除材料形成，中心安置区162的深度与安置区152 —致。
[0051]调节组件20安装在固定组件10上，调节组件20包括至少两个调节梁21和至少一组定位件22，定位件22可拆卸安装在调节梁21上，调节梁21安装在第一支撑杆11和第二支撑杆12的导槽区域15和/中心导位区域16上。
[0052]每一个调节梁21包括一第一端部211、一第二端部212和一横梁213,横梁213的两端连接第一端部211和第二端部212，第一端部211和第二端部212的厚度小于横梁213的厚度，第一端部211和第二端部212的厚度一致。图2为第一端部211的剖视放大图，图3为第二端部212的剖视放大图，第一端部211和第二端部212的厚度与安置区152的深度一致，这样当调节梁21安装在第一支撑杆11和第二支撑杆12的安置区152上时，减小整个装置的横截面积，方便装置进入真空镀膜腔。
[0053]图2为第一端部211与第一导槽区域154A安装剖视放大图A_A，图4为第一端部211与第二导槽区15B域安装剖视放大图C-C。如图2和图4所示，第一端部211上设置有调节孔2111，调节孔2111的直径与导槽151的宽度一致，第二端部212上设置有调节槽2121，调节槽2121的长度大于调节孔2111的直径，调节槽2121的宽度与导槽151的宽度一致，这样防止调节梁21在真空镀膜腔室中出现热变形现象，导致装片装置上基片不能稳固安装，图3为第二端部212与第一导槽区域15A安装剖视放大图B-B。
[0054]每一个调节梁21的横梁213进一步包括第一凹槽2131、第二凹槽2132和一间隔柱2133，第一凹槽2131和第二凹槽2132分列在间隔柱2133的两侧，第一凹槽2131和第二凹槽2132去除材料形成，第一凹槽2131和第二凹槽2132的深度与安置区152的深度一致。
[0055]定位件22包括一第一定位元件221和一第二定位元件222，第一定位元件221拆卸安装在一调节梁21上，第二定位元222件可拆卸安装在另一调节梁21上，第一定位元件221的安装位置高于第二定位元件222。第一定位元件221和第二定位元件222通过螺钉安装在调节梁21上。
[0056]一组定位件22可拆卸安装在调节梁21上时，第一定位元件221安装在一调节梁21的第二凹槽2132上，第二定位元件222安装在另一调节梁21的第一凹槽2131上；换句话说，一个调节梁21上可同时安装第一定位元件221和第二定位元件222，第一定位元件221安装在第二凹槽2132上，第二定位元件222安装在第一凹槽2131上；在同一调节梁21上，第二定位元件222安装位置在第一定位元件221上，然而在一组定位件22时，第一定位元件221的安装位置高于第二定位元件222。
[0057]第一定位元件221优选为一弹性元件；第二定位元件222优选为一卡槽。
[0058]第一挡板13和第二挡板14与第一支撑杆11和第二支撑杆12之间通过螺栓连接。第一挡板13上活动设置有装片导向件131，装片导向件131进一步包括一第一导向元件1311、第二导向元件1312和第三导向元件1313，第二导向元件1312与第一挡板13连接，第一导向元件1311与第二导向元件1312活动连接，第三导向元件1313设置在第一导向元件1311和第二导向元件1312之间。装片导向件131与镀膜生产线中的定位导向件配合。
[0059]定位导向件与第三导向兀件1313相排斥,定位导向件与第三导向兀件1313同为磁性元件且同磁极。
[0060]定位导向件与第三导向兀件1313相吸引，定位导向件与第三导向兀件1313同为磁性元件且磁极相异。
[0061]定位导向件与第三导向兀件1313相吸弓丨，第三导向兀件1313为磁性兀件,定位导向件为铁制材料制成。
[0062]定位导向件与第三导向兀件1313相吸引，定位导向件为磁性兀件,第三导向兀件1313为铁制材料制成。
[0063]第二挡板14上设置有移动轴141，移动轴141与第二挡板14活动连接。移动轴141与第二挡板14通过螺栓连接。移动轴141的长度不小于第二挡板14的长度，移动轴141的长度与第二挡板14的长度一致。
[0064]该装片装置应用于整个真空镀膜生产线中，真空镀膜生产线包括基片传送流水线和镀膜流水线，基片安装在装片装置上，通过基片传送流水线上传送车运送至镀膜流水线中，经镀膜流水线镀膜后运回至基片传送流水线中，从装片装置上卸下基片。在将基片安装至装片装置上时，先测量基片的大小，依据基片的大小，确定调节梁21之间的距离。安装调节梁21至第一支撑架11和第二支撑架12之间时，优选调节梁21从下至上安装。在安装过程中将调节梁21中第一端部211的调节孔2111通过螺栓固定在第一支撑架11的第一导槽区域15A的第一导槽151A内，然后将调节梁21中第二端部212的调节槽2121与第二支撑架12的第一导槽区域15A的第一导槽151A连通，在保持调节梁21的横梁213保持水平时，通过螺栓将调节梁21的第二端部212固定在第二支撑架12上，同理安装其他的调节梁21。
[0065]该装片装置安装第一种基片，在安装过程中，先测量基片的大小，依据基片的大小，确定一组定位件22之间的距离和两调节梁21之间的距离。该可调节装片装置包括4个调节梁21，两个调节梁21设置在第一导槽区域15A，两个调节梁21设置在第二导槽区域15B，在安装时先保持靠近第二挡板14的调节梁21的位置在第一支撑架11和第二支撑架
12的第一导槽区域15A不改变，依据基片的高度调节第二个调节梁21，使第二个调节梁21在第一支撑架11和第二支撑架12的第二导槽区域15B的第二导槽151B内移动，保持第二个调节梁21的横梁213水平状态。再依次依据基片的高度调节第三个调节梁21和第四个调节梁21的位置；当调节梁21之间的距离确定后，依据基片的长度，设置定位件22在调节梁21的位置，定位件22的第一定位元件221和第二定位元件222通过螺钉安装在调节梁21上，优选每个基片设置2组定位元件22定位，第一种类型基片在调节梁21上的安装，调节梁21和定位元件22设置位置，如图5A所示。
[0066]该装片装置安装第二种基片，该装片装置包括3个调节梁21，两个调节梁21第一导槽区域15A上，另一调节梁21安装在中心安置区域16上，第二种类型基片在调节梁21上的安装，调节梁21的设置位置，如图5B所示。
[0067]该装片装置安装第三种基片，该装片装置包括3个调节梁21，两个调节梁21第一导槽区域15A上，另一调节梁21安装在中心安置区域16上，第三种类型基片在调节梁21上的安装，调节梁21的设置位置，如图5C所示。
[0068]最后有必要在此说明的是:以上实施例只用于对本实用新型的技术方案作进一步详细地说明，不能理解为对本实用新型保护范围的限制，本领域的技术人员根据本实用新型的上述内容作出的一些非本质的改进和调整均属于本实用新型的保护范围。
【权利要求】
1.一种可调式装片装置，其特征在于，包括:一固定组件和一调节组件，调节组件安装在固定组件上，通过调节调节组件的位置安装不同规格的基片； 所述固定组件包括第一支撑杆、第二支撑杆、第一挡板和第二挡板，所述第一支撑杆、第一挡板、第二支撑杆和第二挡板两两连接形成一方形框架，所述第一支撑杆和所述第二支撑杆上分别设有至少两个导槽区域；所述调节组件包括至少两个调节梁和至少一组定位件，所述定位件可拆卸安装在所述调节梁上，所述调节梁安装在第一支撑杆和第二支撑杆的导槽区域上； 所述导槽区域进一步包括一导槽和一安置区，所述导槽设置在安置区内，所述导槽呈竖直方向； 所述固定组件的第一支撑杆和第二支撑杆上进一步分别设有中心安置区域，所述中心导位区域设置在第一支撑杆和第二支撑杆中心； 所述调节梁安装在第一支撑杆和第二支撑杆的导槽区域和/或中心安置区域，所述调节梁包括一第一端部、一第二端部和一横梁，所述横梁的两端连接第一端部和第二端部，所述第一端部和所述第二端部的厚度小于所述横梁的厚度，所述第一端部和所述第二端部的厚度与所述安置区的深度一致，所述第一端部和所述第二端部的厚度一致； 所述定位件包括一 第一定位元件和一第二定位元件，所述第一定位元件拆卸安装在一调节梁上，所述第二定位元件可拆卸安装在另一调节梁上，所述第一定位元件的安装位置高于所述第二定位元件的位置。
2.根据权利要求1所述的可调式装片装置，其特征在于:所述第一挡板上活动设置有装片导向件，所述装片导向件与镀膜生产线中的定位导向件配合，所述装片导向件进一步包括一第一导向元件、一第二导向元件和一第三导向元件，所述第二导向元件与所述第一挡板连接，所述第一导向元件与所述第二导向元件活动连接，所述第三导向元件设置在第一导向兀件和第二导向兀件之间。
3.根据权利要求1所述的可调式装片装置，其特征在于:所述导槽区域包括第一导槽区域和第二导槽区域，所述第一导槽区域的面积大于所述第二导槽区域。
4.根据权利要求1所述的可调式装片装置，其特征在于:所述中心导位区域进一步包括一中心安置孔和一中心安置区，所述中心安置孔设置在所述中心安置区的中心，所述中心安置区自第一支撑杆和第二支撑杆上去除材料形成，所述中心安置区的深度与所述安置区一致。
5.根据权利要求1所述的可调式装片装置，其特征在于:所述调节梁进一步包括一第一凹槽、一第二凹槽和一间隔柱，所述第一凹槽和所述第二凹槽分列在所述间隔柱的两侧，所述第一凹槽和所述第二凹槽去除材料形成，所述第一凹槽和所述第二凹槽的深度与所述安置区的深度一致。
6.根据权利要求3所述的可调式装片装置，其特征在于:所述第一导槽区域设置在第一支撑杆和第二支撑杆的两端部，所述第二导槽区域设置在第一支撑杆和第二支撑杆中间部位，所述第一导槽区域进一步包括一第一导槽和第一安置区，所述第一导槽呈竖直方向设置在所述第一安置区内，所述第一安置区的长度不小于所述第一导槽的长度，所述第一安置区的宽度不小于所述第一导槽的宽度；所述第二导槽区域进一步包括一第二导槽和一第二安置区，所述第二导槽呈竖直方向设置在所述第二安置区内，所述第二安置区的长度不小于所述第二导槽的长度，所述第二安置区的宽度不小于所述第二导槽的宽度，所述第一安置区的面积大于所述第二安置区，所述第一导槽的长度长于所述第二导槽。
7.根据权利要求5所述的可调式装片装置，其特征在于:一组定位件可拆卸安装在调节梁上时，所述第一定位元件安装在一调节梁的第二凹槽上，所述第二定位元件安装在另一调节梁的第一凹槽上；在同一调节梁上时，所述第二定位元件安装位置高于所述第一定位元件，在一组定位件时，所述第一定位元件的安装位置高于所述第二定位元件。
8.根据权利要求2所述的可调式装片装置，其特征在于:所述定位导向件与所述第三导向元件相排斥，所述定位导向件与所述第三导向元件同为磁性元件且同磁极。
9.根据权利要求2所述的可调式装片装置，其特征在于:所述定位导向件与所述第三导向元件相吸引，所述定位导向件与所述第三导向元件同为磁性元件且磁极相异。
10.根据权利要求2所述的可调式装片装置，其特征在于:所述定位导向件与第三导向元件相吸引，所述定位导向件为磁性元件，所述第三导向元件为铁制材料制成。
11.根据权利要求2所述的可调式装片装置，其特征在于:所述定位导向件与所述第三导向元件相吸引，所述第三导向元件为磁性元件，所述定位导向件为铁制材料制成。
12.根据权利要求1所述的可调式装片装置，其特征在于:所述第二挡板上设置有移动轴，所述移动轴与第二挡板活动连接；所述移动轴的长度不小于所述第二挡板的长度。
【文档编号】C23C14/35GK203700499SQ201320828989
【公开日】2014年7月9日 申请日期:2013年12月16日 优先权日:2013年12月16日
【发明者】黄国兴, 孙桂红, 祝海生, 黄乐, 梁红, 吴永光 申请人:湘潭宏大真空技术股份有限公司