一种用于磁控溅射的高低压转换装置制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种高低压转换装置，所述装置包括绝缘支架、输入部分、输出部分、传感器感应装置、气动弹起装置、转轴和转动系统；所述绝缘支架上面固定所述输入部分和所述输出部分的电极，所述输出部分的固定电极和所述转动系统的转轴连接在一起；所述转轴带动传感器感应板在所述传感器感应装置的路径上转动，由传感器控制停止转动，由所述气动装置弹起整个所述转动系统，使输入输出电极连接，从而实现开关功能。本发明实现了在磁控溅射镀膜过程中多次转换偏压的要求。与现有的类似装置比较，此装置的电压转换更加安全可靠，能够实现高压绝缘和40-50kV高压冲击特性的开关，而且设计有自动控制系统，并合并到磁控溅射总控制系统中。
【专利说明】一种用于磁控溅射的高低压转换装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种用在磁控溅射真空镀膜领域的高低压转换装置，可以实现满足在镀膜过程中使用不同偏压的要求，而且能够降低高低压转换过程中的高压触电危险。
【背景技术】
[0002]磁控溅射过程中需要用到多种偏压，由于偏压的频繁转换，经常需要人工手动将电极转换，这将磁控溅射的过程复杂化，同时由于频繁转换电极会积累电荷，也会增加触电的危险，对人身造成伤害。况且目前用于此处的转换开关多是手动控制电极转换的外置开关，虽然对操作人员有了一定的保障，但是还是使用人工手动来切换这种高压，危险依然存在。所以进一步将开关控制合并到电脑系统，通过电脑控制，并且将高低压转换装置用高绝缘的材料包裹，同时使用气动装置进行电极之间的开关闭合控制，能够将触电危险降低到最低。
【发明内容】
[0003]本发明是为了克服真空镀膜过程中偏压方便安全转换的难题，提供了一种安全可靠的高低压转换装置。
[0004]为了实现上述目的，本发明采用下述技术方案:
[0005]一种高低压转换装置，所述装置包括绝缘支架、输入部分、输出部分、传感器感应装置、气动弹起装置、转轴和转动系统；所述绝缘支架上面固定所述输入部分和所述输出部分的电极，所述输出部分的固定电极和所述转动系统的转轴连接在一起；所述转轴带动挡片在所述传感器感应装置的路径上转动，由传感器控制停止转动，由所述气动装置弹起整个所述转动系统，使输入输出连接，从而实现电极连接功能。
[0006]进一步地，所述的转动系统包括可动电极、可动绝缘体、Z轴基座板、传感器感应板、传感器组成、电容运转异步电动机。
[0007]进一步地，所述异步电动机带动所述可动电极和所述传感器感应板的转动。
[0008]进一步地，所述转动系统的转动由所述传感器和传感器感应挡板控制。
[0009]进一步地，所述输入部分的电极包括:常规偏压，接地a，专用偏压，接地b，超高偏压五个电极。
[0010]进一步地，所述气动弹起装置控制所述可动电极与所述输入系统的电极的连接。
[0011]进一步地，所述电极大部分被绝缘的聚四氟乙烯覆盖，而且在所述固定电极与所述可动电极接触时，接触部位是不可见也是不易接触的部位。
[0012]进一步地，所述高低压转换装置的控制由电脑控制。
[0013]本发明的目的在于避免手动控制高低压的转换，防止触电，实现在磁控溅射真空镀膜过程中多次转换偏压的要求。与现有的类似装置比较，此装置的电压转换更加安全可靠，能够实现高压绝缘和40-50kV高压冲击特性的开关，而且设计有自动控制系统，并合并到磁控溅射总控制系统中。
【专利附图】
【附图说明】
[0014]图1为本发明高低压转换装置的结构设计图。
[0015]其中，I为固定电极，属于输出系统，2为输入系统的电极，3为转轴，4为可动绝缘体，5为Z轴基座板，6为传感器感应板，7为传感器，8为气动弹起装置，9为电容运转异步电动机，10为可动电极。
[0016]图2为本发明高低压转换装置的结构示意图。
[0017]其中2为输入系统的电极，10为可动电极，11为输入部分，其中包括常规偏压，接地a，专用偏压，接地b，超高偏压五个电极，12为真空室内的偏压电极，13为真空室，14为转动系统和气动系统装置，15为整个高低压转换装置，即如图1所示装置。
【具体实施方式】
[0018]下面结合附图对本发明公开的高低压转换装置的【具体实施方式】做详细说明。
[0019]如图1所示，本发明公开的高低压转换装置主要包括绝缘支架、输入部分、输出部分、转轴和可动电极组合系统、传感器感应系统。绝缘支架上面固定输入部分和输出部分的电极，输出部分的固定电极和转轴连接在一起，转轴带动挡片在传感器的路径上转动，由传感器控制停止转动的位置，由气动装置弹起整个可动电极组合装置，使输入和输出电极连接，从而使电路连通，实现开关功能。
[0020]具体地，电脑控制异步电动机9转动，带动可动电极10和感应器感应板6，当感应器感应板6停到电脑指令对应的感应器位置，异步电动机9停止转动，气动的弹起装置8带动转动组合(10、4、6、9)将可动电极10连接到输入系统电极2的位置上，那么输入系统电极2和输出系统固定电极I连通，从而起到开关闭合的作用。输入系统的电极有五个部分，分别包括常规偏压，接地a，专用偏压，接地b，超高偏压五个电极。所述气动弹起装置控制所述可动电极与所述输入系统的电极的连接。所述电极大部分被绝缘的聚四氟乙烯覆盖，而且在所述固定电极与所述可动电极接触时，接触部位是不可见也是不易接触的部位，以确保电极之间的相互绝缘。所述高低压转换装置的控制可由电脑来完成，以保证操作者的安全。
[0021]在电脑上进行高低压转换时，如图2所示，仅需要在电脑上点击对应的偏压，电脑可控制14转动系统和启动系统装置进行偏压转换工作，例如想从常规偏压切换到超高偏压，在电脑上点击超高偏压，可动电极由气动装置控制弹出常规偏压的电极位置，并在转动系统的带动下转动，经过接地a、专用偏压、接地b，停止在超高偏压对应的电极位置，并由气动装置弹起接通超高偏压的电极。如果想释放积累的电荷，可以点击接地a或者接地b，由上述方法将电极连接到接地a或者接地b，释放电荷。
[0022]以上所述仅为本发明的优选实施例而已，在上述说明书的描述中提到的数值及数值范围并不用于限制本发明，只是为本发明提供优选的实施方式，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种高低压转换装置，所述装置包括绝缘支架、输入部分、输出部分、传感器感应装置、气动弹起装置、转轴和转动系统；所述绝缘支架上面固定所述输入部分和所述输出部分的电极，所述输出部分的固定电极和所述转动系统的转轴连接在一起；所述转轴带动传感器感应板在所述传感器感应装置的路径上转动，由传感器控制停止转动，由所述气动装置弹起整个所述转动系统，使输入输出连接，从而实现高低压切换功能。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述的转动系统包括可动电极、可动绝缘体、Z轴基座板、传感器感应板、传感器组成、电容运转异步电动机。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述异步电动机带动所述可动电极、可动绝缘体和所述传感器感应板的转动。
4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述转动系统的转动由所述传感器和传感器感应挡板控制。
5.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述输入部分的电极包括:常规偏压，接地a，专用偏压，接地b，超高偏压五个电极。
6.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述气动弹起装置控制所述可动电极与所述输入系统的固定电极的连接。
7.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述电极大部分被绝缘的聚四氟乙烯覆盖，而且在所述固定电极与所述可动电极接触时，接触部位是不可见也是不易接触的部位。
8.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述高低压转换装置的控制可由电脑控制。
【文档编号】C23C14/35GK104451579SQ201410652562
【公开日】2015年3月25日 申请日期:2014年11月17日 优先权日:2014年11月17日
【发明者】夏原, 李光, 朱洪亚 申请人:中国科学院力学研究所