技术总结
本发明提供一种工艺腔室，包括至少两个反应舱、可旋转的转盘、至少两个可升降的基座和弹性接地机构，其中，转盘位于至少两个反应舱的下方；转盘通过旋转而使每个反应舱下方对应一个承载位；每个基座通过升降，而穿过与之相对应的通孔，并上升至位于反应舱内的最高位置或者下降至位于转盘下方的最低位置；弹性接地机构用于利用自身弹性使转盘下表面的靠近各个基座的接地区域与接地单元在基座位于所述最高位置时电导通，在基座位于所述最低位置时断开。本发明提供的工艺腔室，其可以使转盘下表面的靠近各个基座的接地区域有效接地，从而可以避免转盘与各个基座的底部之间发生启辉现象，进而可以减小射频能量的浪费。
技术研发人员：文莉辉;赵梦欣;
受保护的技术使用者：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司;
文档号码：201410760665
技术研发日：2014.12.11
技术公布日：2016.07.06