多位监控片机构的制作方法
【专利摘要】本实用新型公布了多位监控片机构，包括切换组件和驱动组件，所述切换组件与驱动组件通过旋转轴连接，所述驱动组件包括光路法兰焊件、行星减速器和电机，所述光路法兰焊件上设有主齿轮、副齿轮、同步齿带，主齿轮通过同步齿带与副齿轮连接，所述旋转轴初始端与副齿轮固定连接，旋转轴末端与切换组件连接，所述行星减速器的输入端与电机的输出端连接，行星减速器的输出端与主齿轮连接。本实用新型通过在住副齿轮之间采用同步齿带进行传动，避免了因主副齿轮间的摩擦而导致监控片在切换时位置不精确；分别与伺付电机、主齿轮相连的行星减速器可与主副齿轮以及同步齿带配合，使得监控片在切换时的稳定性提高。
【专利说明】多位监控片机构
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及精密光学镀膜设备领域，具体是指多位监控片机构。
【背景技术】
[0002]在光学镀膜设备中，需要对镀膜膜厚进行监控，一般在被镀工件(如玻璃)附近设置膜厚监控装置，让其与被镀工件一起被蒸镀。在蒸镀过程中，由于监控片蒸镀上膜后，其厚度发生变化，当不同监控波长的光学信号作用在镀膜后的监控片上时，其透(反)射率变化值可以通过光学监控系统得到。因为监控片与工件的镀制过程十分近似，那么监控片的监控结果就可以视为对工件的监控结果，从而达到精确控制工件镀制过程的目的。
[0003]现有的比较片，一种是采用单个监控片切换装置，即每镀完一层膜后，须重新更换监控片，这种切换装置操作工序复杂，操作人员容易被烫伤，且操作时间长，降低了镀膜的效率；由于人工操作误差大，镀膜质量不能得到保证，一般单个监控片的更换，每个监控片之间不可避免存在几何精度误差，导致监控结果存在误差，进而影响整个监控的质量；另一种为拨盘单片切换结构，采用电机驱动、齿轮传动，最终使拨盘旋转，当拨盘旋转一个工位时，将移除旧的监控片，使新的监控片到达监控位置，但是该结构中从齿轮传动到拨盘旋转均是机械传动，因为机械传动的误差大，因而造成定位精度低，进而使得旋转位置不易到位，更为严重的是监控片在旋转过程中十分容易磨损，造成监控数据出现较大偏差，最终影响整个监控结果。
实用新型内容
[0004]本实用新型的目的在于提供多位监控片机构，避免在较长的时间运转后主副齿轮之间因为相互摩擦而导致二者的间隙增大，进而减小监控片的监控误差。
[0005]本实用新型的目的通过下述技术方案实现:
[0006]多位监控片机构，包括切换组件和驱动组件，所述切换组件与驱动组件通过旋转轴连接，所述驱动组件包括光路法兰焊件、行星减速器和电机，所述光路法兰焊件上设有主齿轮、副齿轮、同步齿带，主齿轮通过同步齿带与副齿轮连接，所述旋转轴初始端与副齿轮固定连接，旋转轴末端与切换组件连接，所述行星减速器的输入端与电机的输出端连接，行星减速器的输出端与主齿轮连接。本实用新型工作时，电机采用伺服电机，电机转动使得旋转轴在主副齿轮的带动下旋转起来，开始对监控片进行切换调动，使之进入到光路法兰焊件底部的威尔逊密封机构中进行真空密封，使得监控片进行蒸镀工序；在传统的控制过程中，通常的机械传动在长时间运转后，相互啮合的齿轮之间的摩擦会使得齿轮之间的间距增大，导致切换组件在对监控片进行切换时产生偏移，使得监控片的蒸镀工序不能有效进行的或是监控片的镀膜厚度出现较大的误差，最终导致监控片的监控效果降低；本实用新型通过在住副齿轮之间采用同步齿带进行传动，避免了因主副齿轮间的摩擦而导致监控片在切换时位置不精确；分别与伺付电机、主齿轮相连的行星减速器可与主副齿轮以及同步齿带配合，使得监控片在切换时的稳定性提高；目前在市场上出现的镀膜机监控片装置普遍采用电机与齿轮直接连接来达到驱动旋转轴运动的目的，而并未采用行星减速器来进行控制，因为行业内人员通过实践得出行星齿轮减速器传动比大，力矩就比其它减速机构小，行星齿轮减速器自锁角大止退性差，不适合启动用，而监控片的切换工序间断进行，特别是多层工件镀膜时，监控片的切换频繁，电机需要频繁的开停；但是 申请人:通过长期试验，将主副齿轮、同步齿带与行星减速器相互配合，通过行星减速器的精确调节电机的输出功率，同步齿带具有一定的调整作用，可克服行星减速器止退性差导致齿轮在启动时的不稳定，进而降低监控误差。
[0007]所述切换组件包括支撑板、托盘、分区板和监控片，所示支撑板中心处设置有凹槽，托盘置于凹槽内且可绕凹槽中心自由旋转，监控片置于托盘内，所述分区板开有用于在监控片上分区的多个圆形阵列分布的通孔，所述托盘的底部开有与分区板相对应的通孔，分区板紧压监控片并使分区板与托盘上的通孔对齐，托盘的中心位置设有拨杆，拨杆与旋转轴的末端相连。在对监控片进行切换时，电机驱动后旋转轴带动拨杆转动，使得托盘在凹槽内绕旋转轴转动，进而带动监控片旋转到预定孔位；在工件进行多层镀膜时，所需要的监控片数量较多，托盘本身具有一定深度，可安装多层监控片由分区板对其进行分区，再由旋转轴带动托盘将监控片旋转至预定孔位，提高了监控片机构的实用性。
[0008]还包括光电开关和定位盘，所述光电开关固定在光路法兰焊件上，定位盘固定在副齿轮上，所述光电开关与定位盘靠近但不接触。通过定位盘和光电开关的调节，使得每一次切换时监控片精确旋转到预定的位置，减小监控时出现的偏差。
[0009]所述定位盘上开有多个圆形阵列分布的小孔，所述小孔的位置与通孔相对应，相邻两个小孔的圆心角为A，相邻两个通孔的圆心角为B，且满足Α=ηΒ，η为大于I的整数。在电机带动主齿轮，主齿轮通过同步齿带使得定位盘转动，定位盘上的小孔为位置排列与托盘上通孔的位置相对应，即相邻的两个通孔与小孔与圆心角成正比例关系，保证每一次拨杆的自动化开停，旋转相同的角度，避免托盘旋转角度的偏差，提高监控片监控效果的精确度。
[0010]本实用新型与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果:
[0011]1、本实用新型多位监控片机构，监控片采用整块玻璃分区，使在镀膜过程中切换不同位置的监控片的几何精度误差最小；并且监控片置于托盘内绕旋转轴旋转，不存在监控片的摩擦损坏，提高了监控效果。
[0012]2、本实用新型多位监控片机构，承片架组件与驱动组件之间采用的离合结构，操作简单，操作误差小，提高了镀膜效率；
[0013]3、本实用新型多位监控片机构，减速器采用大速比，使电机与监控片的旋转速度差距大，有利于伺服电机编码器的记录定位，最终提高了监控片的旋转精度。
[0014]4、本实用新型多位监控片机构，同步齿形带传动结构较现有的齿轮传动，传动效率更高，定位精度更准确，结构紧凑，由于齿轮之间存在摩擦，长时间运转后，齿轮之间的间隙增大，最终造成监控片的分区孔偏移，同步齿形带就能够避免监控片机构起不到监控作用。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]此处所说明的附图用来提供对本实用新型实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本实用新型实施例的限定。在附图中:
[0016]图1为本实用新型结构示意图；
[0017]图2为切换组件的结构示意图；
[0018]附图中标记及相应的零部件名称:
[0019]1-光路法兰焊件、2_支撑板、3_主齿轮、4_副齿轮、5-同步齿带、6_旋转轴、7_托盘、8_连接板、9_光电开关、10-行星减速器、11-电机、12-定位盘、13-小孔、14-通孔、15-拨杆、16-监控片、17-分区板。
【具体实施方式】
[0020]为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本实用新型作进一步的详细说明，本实用新型的示意性实施方式及其说明仅用于解释本实用新型，并不作为对本实用新型的限定。
实施例
[0021]如图1和图2所示，本实用新型多位监控片机构，包括切换组件和驱动组件，所述切换组件与驱动组件通过旋转轴6连接，所述驱动组件包括光路法兰焊件1、行星减速器10和电机11，所述光路法兰焊件I上设有主齿轮3、副齿轮4、同步齿带5，主齿轮3通过同步齿带5与副齿轮4连接，所述旋转轴6初始端与从副齿轮4固定连接，旋转轴6末端与切换组件连接，在光路法兰焊件I底部设置有公知的威尔逊密封机构，旋转轴6穿过密封机构，在光路法兰焊件I与支撑板2之间设置有两个连接板8，连接板8用于光路法兰焊件I与支撑板2之间的连接固定，所述行星减速器10的输入端与电机11的输出端连接，行星减速器10的输出端与主齿轮3连接；所述切换组件包括支撑板2、托盘7、分区板17和监控片16，所示支撑板2中心处设置有凹槽，托盘7置于凹槽内且可绕凹槽中心自由旋转，监控片16置于托盘7内，所述分区板17开有用于在监控片16上分区的多个圆形阵列分布的通孔14，所述托盘7的底部开有与分区板17相对应的通孔14，分区板17紧压监控片16并使分区板17与托盘7上的通孔14对齐，托盘7的中心位置设有拨杆15，拨杆15与旋转轴6的末端相连。
[0022]本实用新型工作时，通过在住副齿轮4之间采用同步齿带5进行传动，避免了因主副齿轮4间的摩擦而导致监控片在切换时位置不精确；分别与伺付电机11、主齿轮3相连的行星减速器10可与主副齿轮4以及同步齿带5配合，使得监控片16在切换时的稳定性提高；目前在市场上出现的镀膜机监控片装置普遍采用电机11与齿轮直接连接来达到驱动旋转轴6运动的目的，而并未采用行星减速器10来进行控制，因为行业内人员通过实践得出行星齿轮减速器传动比大，力矩就比其它减速机构小，行星齿轮减速器自锁角大止退性差，不适合启动用，而监控片的切换工序间断进行，特别是多层工件镀膜时，监控片的切换频繁，电机11需要频繁的开停；但是 申请人:通过长期试验，将主副齿轮、同步齿带5与行星减速器10相互配合，通过行星减速器10的精确调节电机11的输出功率，同步齿带5具有一定的调整作用，可克服行星减速器10止退性差导致齿轮在启动时的不稳定，进而降低监控误差；在对监控片16进行切换时，电机11驱动后旋转轴6带动拨杆15转动，使得托盘7在凹槽内绕旋转轴6转动，进而带动监控片16旋转到预定孔位；在工件进行多层镀膜时，所需要的监控片16数量较多，托盘7本身具有一定深度，可安装多层监控片16由分区板17对其进行分区，再由旋转轴6带动托盘7将监控片16旋转至预定孔位，提高了监控片机构的实用性。
[0023]还包括光电开关9和定位盘12，所述光电开关9通过支架固定在光路法兰焊件I上，定位盘12固定在副齿轮4上，所述光电开关9与定位盘12靠近但不接触，所述定位盘12上开有多个圆形阵列分布的小孔13，所述小孔13的位置与通孔14相对应，相邻两个小孔13的圆心角为A，相邻两个通孔14的圆心角为B，且满足Α=ηΒ，η为大于I的整数。通过定位盘12和光电开关9的调节，使得每一次切换时监控片16精确旋转到预定的位置，减小监控时出现的偏差；在电机11带动主齿轮3，主齿轮3通过同步齿带5使得定位盘12转动，定位盘12上的小孔13为位置排列与托盘7上通孔14的位置相对应，即相邻的两个通孔14与小孔13与圆心角成正比例关系，保证每一次拨杆15的自动化开停，旋转相同的角度，避免托盘7旋转角度的偏差，提高监控片16监控效果的精确度。
[0024]以上所述的【具体实施方式】，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的【具体实施方式】而已，并不用于限定本实用新型的保护范围，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.多位监控片机构，包括切换组件和驱动组件，所述切换组件与驱动组件通过旋转轴(6)连接，其特征在于:所述驱动组件包括光路法兰焊件(I)、行星减速器(10)和电机(11)，所述光路法兰焊件(I)上设有主齿轮(3)、副齿轮(4)、同步齿带(5)，主齿轮(3)通过同步齿带(5 )与副齿轮(4 )连接，所述旋转轴(6 )初始端与副齿轮(4 )固定连接，旋转轴(6 )末端与切换组件连接，所述行星减速器(10)的输入端与电机(11)的输出端连接，行星减速器(10)的输出端与主齿轮(3)连接。
2.根据权利要求1所述的多位监控片机构，其特征在于:所述切换组件包括支撑板(2)、托盘(7)、分区板(17)和监控片(16)，所示支撑板(2)中心处设置有凹槽，托盘(7)置于凹槽内且可绕凹槽中心自由旋转，监控片(16)置于托盘(7)内，所述分区板(17)开有用于在监控片(16)上分区的多个圆形阵列分布的通孔(14)，所述托盘(7)的底部开有与分区板(17)相对应的通孔(14)，分区板(17)紧压监控片(16)并使分区板(17)与托盘(7)上的通孔(14)对齐，托盘(7)的中心位置设有拨杆(15)，拨杆(15)与旋转轴(6)的末端相连。
3.根据权利要求2所述的多位监控片机构，其特征在于:还包括光电开关(9)和定位盘(12)，所述光电开关(9)固定在光路法兰焊件(I)上，定位盘(12)固定在副齿轮(4)上，所述光电开关(9)与定位盘(12)靠近但不接触。
4.根据权利要求3所述的多位监控片机构，其特征在于:所述定位盘(12)上开有多个圆形阵列分布的小孔(13)，所述小孔(13)的位置与通孔(14)相对应，相邻两个小孔(13)的圆心角为A，相邻两个通孔(14)的圆心角为B，且满足Α=ηΒ，η为大于I的整数。
【文档编号】C23C14/54GK203700506SQ201420103738
【公开日】2014年7月9日 申请日期:2014年3月10日 优先权日:2014年3月10日
【发明者】李剑辉, 靳毅, 黄成
申请人:成都南光机器有限公司