一种蒸汽输送mo源连续供应系统的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种蒸汽输送MO源连续供应系统，设置MO源储存罐往MO源钢瓶充MO源气，两个装置都有液位探头，MO源储存罐加热，MO源钢瓶恒温，MO源储罐温度只要高于低温鼓泡器温度即可，不需要精确控温；当MO源钢瓶液位高时，便直接从MO源钢瓶内输出MO源；当MO源钢瓶处于低液位时，便采用MO源储存罐向MO源钢瓶输送MO源，再从MO源钢瓶输出MO源，可连续使用；本系统通过在MO源储存罐和MO源钢瓶增加液位探头，满足了MO源监控计量问题；通过MO源钢瓶可以有效控制MO源蒸汽浓度，因此MO源储罐温度只要高于低温鼓泡器温度即可，整个过程只需要根据MO源钢瓶液位控制切换使用模式，适用于MO源供应中。
【专利说明】
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及M0源的供应领域，尤其涉及一种蒸汽输送M0源连续供应系统。 一种蒸汽输送MO源连续供应系统
【背景技术】
[0002] M0源为高纯金属有机化合物，或叫化合物半导体微结构材料，是先进的金属有机 化学气相沉积（简称M0CVD)、金属有机分子束外延（简称Μ0ΜΒΕ)等技术生长半导体微结 构材料的支撑材料，其优异的电学、光学和磁学等性能，可将半导体和集成电路推向更高的 频率、更快的速度、更低的噪音和更大的功率。半导体微结构材料技术的发展状况是衡量一 个国家电子信息技术发展水平的重要标志。在我国M0源已被大量用于LED、太阳能电池、 航空航天技术等多个领域，是一项高新材料生产技术。随着M0CVD (金属有机化学气相沉积 技术）外延技术发展，设备大型化已经成为必然趋势，随之而来的原材料供应问题越来越突 出。M0源（金属有机化合物）作为其中最重要的原材料，持续稳定的M0供应是提高M0CVD 设备使用效率的重要手段。
[0003] 现如今的M0源使用方法：M0源在使用时需要保持恒温（±0. 1 °C )，恒压 (±ltorr)，稳定气体流量（±lsccm)，M0源存储在钢瓶(一般称为鼓泡器）中，惰性气体(一 般用氢气或者氮气）通过深入钢瓶内部的管道进入鼓泡器中，经过M0源时产生鼓泡效应， M0源在鼓泡过程中大量蒸发，形成M0源的饱和蒸汽与惰性气体混合输送出来，这样的供应 方式在鼓泡器中M0源消耗完后，需要将鼓泡器拆卸并更换1个新的鼓泡器。由于M0源具 有可燃性和遇空气自燃的特性，因此鼓泡器拆装过程需要对管道系统进行充分置换，并且 需要对管道接头进行氦质谱检漏。操作过程繁琐，持续时间较长，且操作不当会有着火等风 险；更换新的鼓泡器后，需要在恒温水浴槽中进行充分的热交换，需要较长时间才能够使鼓 泡器的温度达到恒定，鼓泡器中M0源没有计量和监控设备，无法准确判断残余量。因此解 决上述问题就显得十分必要了。 实用新型内容
[0004] 本实用新型提供一种蒸汽输送M0源连续供应系统，通过设置M0源储存罐往M0源 钢瓶充M0源气，两个装置都设置有液位探头，M0源储存罐加热，M0源钢瓶恒温，M0源储罐 温度只要高于低温鼓泡器温度即可，不需要精确控温；当M0源钢瓶液位高时，便直接从M0 源钢瓶内输出M0源；当M0源钢瓶处于低液位时，便采用M0源储存罐向M0源钢瓶输送M0 源，再从M0源钢瓶输出M0源，可连续使用，解决了【背景技术】中出现的问题。
[0005] 本实用新型的目的是提供一种蒸汽输送M0源连续供应系统，包括两个M0源储存 罐，一个正常使用、另一个备用，还有M0源钢瓶，在两个M0源储存罐上左侧设置带有进气阀 门的进气管、右侧设置带有出气阀门的出气管；在两个M0源储存罐内都设置有液位探头探 测液位、外部都设置有有加热包对M0源储存罐进行加热；同时还在两个M0源储存罐的进气 管上还设置有总进气管，出气管上设置有总出气管，在总出气管上设置有至少3个分支气 管连接在底部外设置有恒温水浴槽M0源钢瓶上，M0源钢瓶顶部也设置有液位探头探测液 位；MO源钢瓶顶部右侧设置有出源管。
[0006] 进一步改进在于：在分支气管上设置有流量控制器控制气体流量，出源管上设置 压力控制器控制压力。
[0007] 进一步改进在于：在总进气管上第一分支气管的左侧设置第二分支气管进高纯载 气，第二分支气管连接在第一分支气管上，流量控制器在，第二分支气管的后面，在第一分 支气管和第二分支气管上均设置有控制阀门控制阀门的开启进气。
[0008] 进一步改进在于：在第一分支气管上流量控制器下的右侧设置有第三分支气管， 第三分支气管连接在出源管上，这样第一分支气管和第二分支气管来的气体直接出去，第 三分支气管上设置有控制阀门。
[0009] 进一步改进在于：在第一分支气管上位于第三分支气管下从上到下依次设置有控 制阀门和支管进气阀门，出源管上位于第三分支气管下设置有两个出源阀门。
[0010] 进一步改进在于：在M0源钢瓶上的液位探头以及控制阀门均连接有PLC控制器控 制它们的开启关闭。
[0011] 本实用新型的有益效果：本系统通过在M0源储存罐和M0源钢瓶增加液位探头，满 足了 M0源监控计量问题，客户可以直观的了解到M0源的使用现状；通过设备自带的M0源 钢瓶(低温恒温鼓泡器）可以有效控制M0源蒸汽浓度，因此M0源储罐温度只要高于低温鼓 泡器温度即可，不需要精确控温，整个过程只需要根据M0源钢瓶(低温恒温鼓泡器）液位控 制切换使用模式，结构简单，整个生产过程一直保持持续供源，因此没有M0源恒温的问题， 适用于M0源供应中。
【专利附图】
【附图说明】
[0012] 图1是本实用新型的示意图。
[0013] 其中：1_第一 M0源储存罐，2-第二M0源储存罐，3-M0源钢瓶，4-高纯载气进气 管，5-高纯载气出气管，6-进气阀门，7-出气阀门，8-液位探头，9-加热包，10-总进气管， 11-总出气管，12-第一分支气管，13-恒温水浴槽，14-出源管，15-流量控制器，16-压力控 制器，17-第二分支气管，18-控制阀门，19-第三分支气管，20-支管进气阀门，21-出源阀 门，22-PLC控制器。
【具体实施方式】
[0014] 为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例对本实用新型作进一步详述， 该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。
[0015] 如图1所示，本实施例提供一种蒸汽输送M0源连续供应系统，包括有两个储存M0 源的第一 M0源储存罐1和第二M0源储存罐2,其中一个使用、另一个备用，还包括有M0源 钢瓶3,在两个M0源储存罐上左侧设置带有进气阀门6的高纯载气进气管4、右侧设置带有 出气阀门7的高纯载气出气管5 ;在两个M0源储存罐内都设置有液位探头8探测液位、外部 都设置有有加热包9对M0源储存罐进行加热；同时还在两个M0源储存罐的高纯载气进气 管4上还设置有总进气管10,高纯载气出气管5上设置有总出气管11，在总出气管11上设 置有3个第一分支气管12连接在底部外设置有恒温水浴槽13的M0源钢瓶3上，M0源从 总出气管11出来往M0源钢瓶3内输送M0源，M0源钢瓶3顶部也设置有液位探头8探测 液位；MO源钢瓶3顶部右侧设置有出源管14, MO源从MO源钢瓶3出来往MOCVD设备中输 送；在第一分支气管12上设置有流量控制器15控制气体流量，出源管14上设置压力控制 器16控制压力。在总进气管11上第一分支气管12的左侧设置第二分支气管17直接进高 纯载气，第二分支气管17连接在第一分支气管12上，流量控制器15在第二分支气管17的 后面，在第一分支气管12和第二分支气管17上均设置有控制阀门18控制气体的进气。在 第一分支气管12上流量控制器15下的右侧设置有第三分支气管19,第三分支气管19连接 在出源管14上，这样第一分支气管12和第二分支气管17来的气体直接出去，在第三分支 气管19上设置有控制阀门18。在第一分支气管12上位于第三分支气管19下从上到下依 次设置有控制阀门18和支管进气阀门20,出源管14上位于第三分支气管19下设置有两个 出源阀门21。在M0源钢瓶3上的液位探头8以及控制阀门18均连接有PLC控制器22控 制它们的开启关闭。本系统当M0源钢瓶3液位高时，便直接从M0源钢瓶3内输出M0源； 当M0源钢瓶3处于低液位时，便采用M0源储存罐向M0源钢瓶3输送M0源，再从M0源钢瓶 3输出M0源，可连续使用；本系统通过在M0源储存罐和M0源钢瓶3增加液位探头，满足了 M0源监控计量问题，客户可以直观的了解到M0源的使用现状；通过设备自带的M0源钢瓶3 (低温恒温鼓泡器)可以有效控制M0源蒸汽浓度，因此M0源储存罐温度只要高于M0源钢瓶 3 (低温鼓泡器温度)即可，不需要精确控温，整个过程只需要根据M0源钢瓶3 (低温恒温鼓 泡器）液位控制切换使用模式，结构简单，整个生产过程一直保持持续供源，因此没有M0源 恒温的问题，适用于M0源供应中。
【权利要求】
1. 一种蒸汽输送MO源连续供应系统，包括有第一 MO源储存罐（1 )、第二MO源储存罐 (2) 和M0源钢瓶（3)，其特征在于：所述第一 M0源储存罐（1)和第二M0源储存罐（2)上左 侧垂直位置设置有高纯载气的进气管（4)、右侧设置有高纯载气出气管（5);高纯载气进气 管（4)在进口处设置有进气阀门（6 )，高纯载气出气管（4)在出口处设置有出气阀门（7 );第 一 M0源储存罐（1)和第二M0源储存罐（2)内顶部均设置有液位探头（8)、外部包有加热包 (9) ;所述第一 M0源储存罐（1)和第二M0源储存罐（2)的高纯载气进气管（4)上水平位置 设置总进气管（10)，高纯载气出气管（5)上水平位置设置有总出气管（11);总出气管（11) 上设置有至少3个第一分支气管（12)，第一分支气管（12)连接着M0源钢瓶（3)，M0源钢瓶 (3) 底部外设置有恒温水浴槽（13)、顶部也设置有液位探头（8) ;M0源钢瓶（3)顶部右侧设 置有出源管（14)。
2. 如权利要求1所述一种蒸汽输送M0源连续供应系统，其特征在于：所述第一分支气 管（12)上设置有流量控制器（15)，出源管（14)上末段设置有压力控制器（16)。
3. 如权利要求1所述一种蒸汽输送M0源连续供应系统，其特征在于：所述总进气管 (10) 上在第一分支气管（12)的左侧设置有第二分支气管（17)，第二分支气管（17)连接在 位于流量控制器（15)前端的第一分支气管（12)上，第一分支气管（12)和第二分支气管 (17)上均设置有控制阀门（18)。
4. 如权利要求2所述一种蒸汽输送M0源连续供应系统，其特征在于：所述第一分支气 管（12)上流量控制器（15)下的右侧设置有第三分支气管（19)，第三分支气管（19)连接在 出源管（14)上，第三分支气管（19)上设置有控制阀门（18)。
5. 如权利要求4所述一种蒸汽输送M0源连续供应系统，其特征在于：所述第一分支气 管（12)上位于第三分支气管（19)下从上到下依次设置有控制阀门（18)和支管进气阀门 (20)，出源管（14)上位于第三分支气管（19)下设置有两个出源阀门（21)。
6. 如权利要求3或4或5所述一种蒸汽输送M0源连续供应系统，其特征在于：所述M0 源钢瓶（3)上的液位探头（8)以及控制阀门（18)均连接有PLC控制器（22)。
【文档编号】C23C16/448GK203846101SQ201420204340
【公开日】2014年9月24日 申请日期:2014年4月25日 优先权日:2014年4月25日
【发明者】俞冬雷, 武利曙, 徐昕 申请人:安徽亚格盛电子新材料有限公司