一种镍的选择性蚀刻液的制作方法

文档序号:16479800发布日期:2019-01-03 00:00阅读:1324来源:国知局

本发明具体涉及一种镍的选择性蚀刻液。



背景技术:

蚀刻是通过化学反应或物理撞击作用而移除材料表层的技术。使用蚀刻液进行蚀刻,是一种化学蚀刻。材料接触蚀刻液,材料表层和新生成的表层不断被蚀刻液溶解、腐蚀,从而形成凹凸或者镂空的立体效果。在可挠式基板的电极和配线的制造过程中,具有电镀形成镍膜的工艺,不需要的镍膜部分可以经由蚀刻液剥离开。由于电极和配线多由多种金属层叠而成,因此,在对镍膜进行蚀刻时,要求对除镍以外的金属(如铜等)没有影响。



技术实现要素:

本发明的目的在于提供一种镍的选择性蚀刻液。

本发明通过下面技术方案实现:

一种镍的选择性蚀刻液,通过如下重量份的原料组成:硫酸亚铁15-35份、硫酸铜5-20份、氨基磺酸2-6份、己二酸15-35份、硅烷偶联剂6-9份、硫化钾0.2-0.8份、氢氟酸5-10份、苄基异喹啉0.1-0.6份、甘油1-5份、甘油0.1-0.8份、水150-350份。

优选地,所述的一种镍的选择性蚀刻液通过如下重量份的原料组成:硫酸亚铁25份、硫酸铜12.5份、氨基磺酸4份、己二酸25份、硅烷偶联剂7份、硫化钾0.5份、氢氟酸7.5份、苄基异喹啉0.3份、甘油3份、甘油0.4份、水250份。

优选地,所述的一种镍的选择性蚀刻液通过如下重量份的原料组成:硫酸亚铁15份、硫酸铜5份、氨基磺酸2份、己二酸15份、硅烷偶联剂6份、硫化钾0.2份、氢氟酸5份、苄基异喹啉0.1份、甘油1份、甘油0.1份、水150份。

优选地,所述的一种镍的选择性蚀刻液通过如下重量份的原料组成:硫酸亚铁35份、硫酸铜20份、氨基磺酸6份、己二酸35份、硅烷偶联剂9份、硫化钾0.8份、氢氟酸10份、苄基异喹啉0.6份、甘油5份、甘油0.8份、水350份。

上述的一种镍的选择性蚀刻液制备方法,将各成分混合均匀后室温下超声30min,冷却后即可使用。

本发明技术效果:

本发明提供的蚀刻液可以选择性的对镍进行蚀刻,对铜几乎不腐蚀,选择性强,且经蚀刻后的铜板表面光亮,无沉淀,平整,无侧蚀。

具体实施方式

下面结合实施例具体介绍本发明的实质性内容。

实施例1

所述的一种镍的选择性蚀刻液通过如下重量份的原料组成:硫酸亚铁25份、硫酸铜12.5份、氨基磺酸4份、己二酸25份、硅烷偶联剂7份、硫化钾0.5份、氢氟酸7.5份、苄基异喹啉0.3份、甘油3份、甘油0.4份、水250份。

实施例2

所述的一种镍的选择性蚀刻液通过如下重量份的原料组成:硫酸亚铁15份、硫酸铜5份、氨基磺酸2份、己二酸15份、硅烷偶联剂6份、硫化钾0.2份、氢氟酸5份、苄基异喹啉0.1份、甘油1份、甘油0.1份、水150份。

实施例3

所述的一种镍的选择性蚀刻液通过如下重量份的原料组成:硫酸亚铁35份、硫酸铜20份、氨基磺酸6份、己二酸35份、硅烷偶联剂9份、硫化钾0.8份、氢氟酸10份、苄基异喹啉0.6份、甘油5份、甘油0.8份、水350份。

上述的一种镍的选择性蚀刻液制备方法,将各成分混合均匀后室温下超声30min,冷却后即可使用。

本发明提供的蚀刻液可以选择性的对镍进行蚀刻,对铜几乎不腐蚀,选择性强,且经蚀刻后的铜板表面光亮,无沉淀,平整,无侧蚀。



技术特征:

技术总结
本发明公开了一种镍的选择性蚀刻液,该蚀刻液通过如下重量份的原料组成:硫酸亚铁15‑35份、硫酸铜5‑20份、氨基磺酸2‑6份、己二酸15‑35份、硅烷偶联剂6‑9份、硫化钾0.2‑0.8份、氢氟酸5‑10份、苄基异喹啉0.1‑0.6份、甘油1‑5份、甘油0.1‑0.8份、水150‑350份。该蚀刻液制备方法,将各成分混合均匀后室温下超声30min,冷却后即可使用。本发明提供的蚀刻液可以选择性的对镍进行蚀刻,对铜几乎不腐蚀,选择性强,且经蚀刻后的铜板表面光亮,无沉淀,平整,无侧蚀,具有创造性。

技术研发人员:不公告发明人
受保护的技术使用者:海门市源美美术图案设计有限公司
技术研发日:2017.06.22
技术公布日:2019.01.01
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