技术总结
本实用新型提供了一种带有修整轮的晶片研磨机，包括工作台、内齿圈、太阳轮、下研磨盘、上研磨盘、游星轮、修整轮、设置在工作台内的驱动机构和设置在工作台上的升降架，内齿圈和太阳轮同轴设置在工作台上，下研磨盘设置在内齿圈与太阳轮之间的下方，游星轮或修整轮啮合在内齿圈与太阳轮之间，上研磨盘可升降设置在升降架上，驱动机构驱动内齿圈和太阳轮旋转；其中，游星轮上设置有晶片装设孔，修整轮上开设有多个修整通孔，修整通孔的圆心均布在同一圆周上，修盘时修整轮的公转方向与研磨晶片时游星轮的公转方向相反。该带有修整轮的晶片研磨机具有设计科学、实用性强、结构简单、使用方便、修盘高效的优点。
技术研发人员：董振峰;王修新;翟艳飞
受保护的技术使用者：济源石晶光电频率技术有限公司
文档号码：201721186245
技术研发日：2017.09.15
技术公布日：2018.04.10