本发明涉及一种铝背场真空蒸镀机构。
背景技术：
真空蒸镀是指在高真空环境下,将待成膜的物质加热升华后在低温基片上凝结析出并形成一层薄膜的过程。太阳能电池电极的掩膜板由多个分隔开的格子组成。每个格子内可放置一块玻璃基片。格子内的蒸镀区域为若干个并排的长条。每个长条对应一个电极。其中最边缘的电极的极性与其它几个相反。其它部分则被掩膜板底座遮挡。因此。现有技术的真空蒸镀应用到各种领域中，蒸发源无论采用点蒸发源、线蒸发源、或面蒸发源等，均逐渐向一步式真空蒸镀，即各层薄膜、均一次性蒸镀到整个基板上的目标，太阳能电池铝背板印刷则要求其正负极位置的准确性、光电线路的均匀性、以及输出传导的精细化。
技术实现要素：
本发明要解决的技术问题是如何克服现有技术的上述缺陷，提供一种铝背场真空蒸镀机构。
为解决上述技术问题，本铝背场真空蒸镀机构包括蒸发源、硅板、掩模板、蒸镀挡板、硅板驱动机构、掩模板驱动机构、蒸镀挡板驱动机构，所述硅板表面分为若干蒸镀子区域，所述掩模板位于所述硅板下方，掩模板的图形区尺寸与所述蒸镀子区域尺寸相同，所述蒸镀挡板位于所述掩模板下方，能够形成与所述掩模板结构相匹配的蒸镀气体透过区；所述硅板驱动机构设置在硅板上、用于移动及承载硅板，所述掩模板驱动机构设置在掩模板上、用于移动及承载掩模板，所述蒸镀挡板驱动机构设置在蒸镀挡板上、用于移动及承载蒸镀挡板。
作为优化，所述蒸镀挡板包括四个可独立驱动的子挡板，所述四个子挡板能够围成供所述蒸镀气体透过的方型。
作为优化，所述蒸镀挡板为一个弯折为一圆筒状结构的柔性板材，所述柔性板材能够围成供所述蒸镀气体透过的圆筒状通道。
作为优化，所述蒸镀挡板包括六块分离的子挡板，所述六块分离的挡板之间彼此相离，能够形成能供所述蒸镀气体透过的若干过气缝隙。
作为优化，还包括用于对所述掩模板和待蒸镀的蒸镀子区域进行对位的对位机构。
作为优化，所述蒸镀子区域外侧设有第一对位标记，所述掩模板边框区设有第二对位标记，所述对位机构通过所述第一对位标记和第二对位标记对所述掩模板和待蒸镀的蒸镀子区域进行对位。
本发明一种铝背场真空蒸镀机构根据硅板表面图形区的特征，将硅板表面分成若干个蒸镀子区域，使用小于硅板面积若干倍的掩模板分步完成各个蒸镀子区域的蒸镀。在面积较小的蒸镀子区域上进行蒸镀，提高了蒸镀均匀性；并可使用小于硅板面积若干倍的掩模板进行蒸镀，降低了掩模板的制作难度，从而可实现大尺寸硅板的真空蒸镀。
附图说明
下面结合附图对本发明铝背场真空蒸镀机构作进一步说明：
图1是本铝背场真空蒸镀机构的平面结构示意图。
具体实施方式
实施方式1：如图1所示，本铝背场真空蒸镀机构包括蒸发源1、硅板2、掩模板3、蒸镀挡板4、硅板驱动机构、掩模板驱动机构、蒸镀挡板驱动机构，所述硅板2表面分为若干蒸镀子区域5，所述掩模板3位于所述硅板2下方，掩模板3的图形区尺寸与所述蒸镀子区域5尺寸相同，所述蒸镀挡板4位于所述掩模板3下方，能够形成与所述掩模板3结构相匹配的蒸镀气体透过区6；所述硅板驱动机构设置在硅板2上、用于移动及承载硅板2，所述掩模板驱动机构设置在掩模板3上、用于移动及承载掩模板3，所述蒸镀挡板驱动机构设置在蒸镀挡板4上、用于移动及承载蒸镀挡板4。所述蒸镀挡板4包括四个可独立驱动的子挡板，所述四个子挡板能够围成供所述蒸镀气体透过的方型。本铝背场真空蒸镀机构还包括用于对所述掩模板3和待蒸镀的蒸镀子区域5进行对位的对位机构。所述蒸镀子区域5外侧设有第一对位标记，所述掩模板3边框区设有第二对位标记，所述对位机构通过所述第一对位标记和第二对位标记对所述掩模板3和待蒸镀的蒸镀子区域5进行对位。
实施方式2：本铝背场真空蒸镀机构包括蒸发源1、硅板2、掩模板3、蒸镀挡板4、硅板驱动机构、掩模板驱动机构、蒸镀挡板驱动机构，所述硅板2表面分为若干蒸镀子区域5，所述掩模板3位于所述硅板2下方，掩模板3的图形区尺寸与所述蒸镀子区域5尺寸相同，所述蒸镀挡板4位于所述掩模板3下方，能够形成与所述掩模板3结构相匹配的蒸镀气体透过区6；所述硅板驱动机构设置在硅板2上、用于移动及承载硅板2，所述掩模板驱动机构设置在掩模板3上、用于移动及承载掩模板3，所述蒸镀挡板驱动机构设置在蒸镀挡板4上、用于移动及承载蒸镀挡板4。所述蒸镀挡板4为一个弯折为一圆筒状结构的柔性板材，所述柔性板材能够围成供所述蒸镀气体透过的圆筒状通道。本铝背场真空蒸镀机构还包括用于对所述掩模板3和待蒸镀的蒸镀子区域5进行对位的对位机构。所述蒸镀子区域5外侧设有第一对位标记，所述掩模板3边框区设有第二对位标记，所述对位机构通过所述第一对位标记和第二对位标记对所述掩模板3和待蒸镀的蒸镀子区域5进行对位。
实施方式3：本铝背场真空蒸镀机构包括蒸发源1、硅板2、掩模板3、蒸镀挡板4、硅板驱动机构、掩模板驱动机构、蒸镀挡板驱动机构，所述硅板2表面分为若干蒸镀子区域5，所述掩模板3位于所述硅板2下方，掩模板3的图形区尺寸与所述蒸镀子区域5尺寸相同，所述蒸镀挡板4位于所述掩模板3下方，能够形成与所述掩模板3结构相匹配的蒸镀气体透过区6；所述硅板驱动机构设置在硅板2上、用于移动及承载硅板2，所述掩模板驱动机构设置在掩模板3上、用于移动及承载掩模板3，所述蒸镀挡板驱动机构设置在蒸镀挡板4上、用于移动及承载蒸镀挡板4。所述蒸镀挡板4包括六块分离的子挡板，所述六块分离的挡板之间彼此相离，能够形成能供所述蒸镀气体透过的若干过气缝隙。本铝背场真空蒸镀机构还包括用于对所述掩模板3和待蒸镀的蒸镀子区域5进行对位的对位机构。所述蒸镀子区域5外侧设有第一对位标记，所述掩模板3边框区设有第二对位标记，所述对位机构通过所述第一对位标记和第二对位标记对所述掩模板3和待蒸镀的蒸镀子区域5进行对位。
上述实施方式旨在举例说明本发明可为本领域专业技术人员实现或使用，对上述实施方式进行修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，故本发明包括但不限于上述实施方式，任何符合本权利要求书或说明书描述，符合与本文所公开的原理和新颖性、创造性特点的方法、工艺、产品，均落入本发明的保护范围之内。