一种干刻下部电极的再生工艺预处理方法与流程

本发明涉及下部电极的再生工艺。

背景技术：

在液晶面板的生产过程中需要进行一道程序干蚀刻(干刻)。干刻简单来说就是将特定气体置于低压状态下施以电压，将其激发成plasma，对特定的膜层加以化学性蚀刻和离子轰击，达到去除膜层的一种方式。

在干刻工艺中需要的重要部件就是下部电极。下部电极是一个铝合金或不锈钢材料制成的面积巨大的金属板，表面有氦气孔、liftpin孔以及dcport孔，这些孔是由一个个陶瓷管构成。

目前存在的问题如下：

下部电极进行完全再生时需要在金属基板和陶瓷管上端进行等离子喷涂，使其表面附着三氧化二铝粉末，但是由于陶瓷表面光滑粗糙度很小，陶瓷管很薄不能喷砂，而且陶瓷管比基板表面略低，直接喷涂效果很差影响后续工艺进行。

下部电极因为尺寸非常巨大，因此在喷涂和机械加工研磨时必须要使用行车吊装运输，在运输过程中可能会出现磕碰，损坏涂层，而且喷涂修补难度很大，可能需要重新剥离全部涂层，然后在喷涂。

技术实现要素：

本发明所要解决的技术问题是实现一种能够提高下部电极等离子喷涂工艺喷涂效果的预处理方法。

为了实现上述目的，本发明采用的技术方案为：一种干刻下部电极的再生工艺预处理方法，其特征在于：

步骤1、将下部电极放入烘箱中烘干；

步骤2、清洁下部电极上的陶瓷管；

步骤3、将环氧树脂真空胶均匀的涂在下部电极上的陶瓷管内壁和上端面；

步骤4、将下部电极放入烘箱中烘干；

步骤5、打磨凝固的环氧树脂真空胶；

步骤6、对打磨后的环氧树脂真空胶进行喷砂处理；

步骤7、对下部电极进行等离子喷涂。

针对有缺损的下部电极处理方法如下：

所述步骤2还需对下部电极缺损部位清洁；

所述步骤3还需对下部电极缺损部位涂抹上环氧树脂真空胶。

所述步骤1烘干时间2-3小时，烘干温度55-60℃。

所述步骤2的清洁的方法：将下部电极吊出烘箱，使用气枪将缺损部位、以及每个陶瓷管的内壁和陶瓷管周围的灰尘吹净，然后使用沾有异丙醇棉签将缺损部位，以及每个陶瓷管内壁和陶瓷管周围擦拭干净。

所述步骤3中，涂抹于陶瓷管上端面的环氧树脂真空胶高于下部电极表面，涂抹于下部电极缺损部位的环氧树脂真空胶高于下部电极表面。

所述步骤4烘干时间1.5-2小时，烘干温度55-60℃。

所述步骤5中，涂抹于陶瓷管上端面的环氧树脂真空胶打磨后仍高于下部电极表面50-100um，涂抹于下部电极缺损部位的环氧树脂真空胶打磨后仍高于下部电极表面50-100um。

所述步骤6喷砂完成之后使用强光手电观察喷砂后的环氧树脂真空胶表面是否有气孔，如果有则返回步骤2，如果没有则执行步骤7。

本发明的优点在于方便操作简单，能够极大的提高等离子喷涂的效果，保证整个生产流程顺畅进行。

附图说明

下面对本发明说明书中每幅附图表达的内容作简要说明：

图1为涂抹环氧树脂真空胶示意图。

具体实施方式

一种干刻下部电极的再生工艺预处理方法如下：

首先将下部电极放入烘箱中烘干2-3小时，烘箱设置55-60℃将产品预热；

然后将产品吊出使用cda气枪将氦气孔、liftpin孔中的灰尘吹净，然后使用棉签沾有异丙醇将陶瓷管的内壁和陶瓷管的周围(陶瓷管上端面以及上部电极与陶瓷管交接部位)擦拭干净；

然后将一种环氧树脂真空胶调配好，调配过程中使用竹牙签将胶迅速搅拌至乳胶状；然后将搅拌好的环氧树脂真空胶均匀的涂在氦气孔、liftpin孔和dcport处，注意涂胶时必须高处基体，陶瓷管是采用沉方式安装在下部电极上的，因此陶瓷管的上端面要低于下部电极的表面；

对于下部电极中的涂层破损缺口也是先使用cda气枪将破损处的灰尘吹净，然后使用棉签沾有异丙醇将破损处的周围擦拭干净；

同样将搅拌好的环氧树脂真空胶均匀的涂在下电的破损处；

对于上述涂抹过环氧树脂真空胶的产品放入烘箱中设置55-60℃烘干1.5-2小时；

然后将涂抹过环氧树脂真空胶的产品从烘箱中，使用白色60#的砂纸打磨已经凝固了的胶，使其打磨后比周围基材略高50-100um；

将打磨好了的产品使用手动喷砂机喷出100#白刚玉对涂抹的胶喷砂，使其具有一定的粗糙度；

喷砂完成之后使用强光手电观察喷砂后的真空胶，查看其表面是否有气孔，如果有必须再次涂胶重新开始；

如果观察后没有气孔，则可以继续进行下一步的等离子喷涂。

方法结构改进的优点

使用环氧树脂真空胶涂抹氦气孔和liftpin孔可以提高氦气孔、liftpin孔和dcport处表面的粗糙度，增加涂层的粘合力；

使用环氧树脂真空胶涂抹氦气孔和liftpin孔可以消除氦气孔和liftpin孔的陶瓷管与母材之间的高度差，减小喷涂涂层的厚度，减少耗材；

使用环氧树脂真空胶涂抹dcport处可以将dcport与母材密封和固定；

使用环氧树脂真空胶涂抹下电的破损处可以使涂层的破损被修补，不用重新喷涂，节约一半的完成时间和耗材；

这种环氧树脂真空胶均匀调制即可使用，快捷方便

环氧树脂真空胶具有优良的耐溶剂、耐振动、耐低温、耐高温、耐老化等性能，粘结性很好对大多数材质接触性优良，如金属、陶瓷和玻璃等粘合都十分完美；

环氧树脂真空胶在大气压强下工作温度-45℃到200℃，可以密封漏率小于5.2e-3atm.cc/s(5.2e-4pa.m3/s)的泄漏孔可以满足下部电极的工作环境，不影响下部电极的性能。

上面结合附图对本发明进行了示例性描述，显然本发明具体实现并不受上述方式的限制，只要采用了本发明的方法构思和技术方案进行的各种非实质性的改进，或未经改进将本发明的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在本发明的保护范围之内。

技术特征：

技术总结
本发明揭示了一种干刻下部电极的再生工艺预处理方法，其特征在于：步骤1、将下部电极放入烘箱中烘干；步骤2、清洁下部电极上的陶瓷管；步骤3、将环氧树脂真空胶均匀的涂在下部电极上的陶瓷管内壁和上端面；步骤4、将下部电极放入烘箱中烘干；步骤5、打磨凝固的环氧树脂真空胶；步骤6、对打磨后的环氧树脂真空胶进行喷砂处理；步骤7、对下部电极进行等离子喷涂。本发明的优点在于方便操作简单，能够极大的提高等离子喷涂的效果，保证整个生产流程顺畅进行。

技术研发人员：强军
受保护的技术使用者：芜湖通潮精密机械股份有限公司
技术研发日：2018.09.29
技术公布日：2019.01.01