真空镀膜装置的制作方法

本实用新型涉及真空镀膜领域，尤其涉及一种真空镀膜装置。

背景技术：

随着科技的不断进步和经济的不断发展，为电子产品的发展提供一个良好的平台，促使电子产品朝高质量、高精度及高性能的目标发展。其中，OLED(英文全称：Organic Light-Emitting Diode，中文名称：有机发光二极管)就是诸多电子产品之一种。

OLED因为具备轻薄、省电等特性，因此在显示屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对OLED的应用都聚焦在平板显示器上，因为OLED是唯一在应用上能和TFT-LCD相提并论的技术，OLED是目前所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术，可以做成和纸张一样的厚度。因此可以说，OLED是未来在显示技术中一种新的发展趋势。

其中，对于OLED来说，其制备离不开有机薄膜的生成，现有最成熟的技术就是通过蒸镀技术来完成有机薄膜的制备。

但是，现有用于对OLED进行蒸镀的装置存在的缺陷是：由于真空腔体内的承托板与真空腔体的侧壁固定的，故OLED基板相对蒸发材料的高度不可调，故只能适用一种尺寸规格的OLED基板的蒸镀，对于其它尺寸规格的OLED基板，因与蒸发材料高度位置不可调而蒸镀效果不好。

因此，急需要一种通用性好且确保蒸镀效果的真空镀膜装置来克服上述的缺陷。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种通用性好且确保蒸镀效果的真空镀膜装置。

为实现上述的目的，本实用新型提供了一种真空镀膜装置，包括段位调节机构、具有封闭空间的真空腔体、用于对蒸发材料进行夹持的夹持机构及用于对OLED基板进行承托的承托板。所述夹持机构及承托板位于所述封闭空间内，所述夹持机构还沿所述真空腔体的左右方向呈一左一右的布置，所述承托板位于所述夹持机构对应的上方；所述段位调节机构包含段拉调节杆、伸缩弹簧、沿所述真空腔体的上下方向安装在所述封闭空间的侧壁处的导轨及滑套于所述导轨上的滑块，所述导轨至少开设有二个沿所述真空腔体的上下方向呈间隔开布置的段位孔，所述段拉调节杆沿所述真空腔体的左右方向穿置于所述滑块上，所述段位调节杆的第一端朝所述封闭空间的中心处伸出所述滑块并形成操作端，所述段位调节杆的第二端伸向所述段位孔并形成卡合端，所述伸缩弹簧套于所述段位调节杆上并呈弹性地抵压于所述卡合端与所述滑块之间，所述伸缩弹簧恒具有驱使所述卡合端卡入所述段位孔内的趋势。

较佳地，所述段位调节杆包含同轴布置的第一圆柱段、第二圆柱段及第三圆柱段，所述第一圆柱段及第三圆柱段的直径各大于所述第二圆柱段的直径，所述伸缩弹簧套于所述第二圆柱段上，且所述伸缩弹簧呈弹性地抵压于所述第一圆柱段的端面与所述滑块之间，所述第一圆柱段还与所述第二圆柱段构成一体式结构，所述卡合端形成于所述第一圆柱段上，所述操作端形成于所述第三圆柱段上。

较佳地，所述夹持机构包含导电基座、导电定夹块、导电动夹块、抵压块、螺杆、扭转弹簧及压缩弹簧，所述导电定夹块及导电动夹块在所述导电基座呈一前一后的相对布置，所述导电定夹块、导电动夹块及导电基座三者之间围出供蒸发材料之安装端放置的容置槽，所述导电定夹块安装在所述导电基座的顶部处，所述导电动夹块沿所述真空腔体的前后方向滑设于所述导电基座上，所述导电动夹块背对所述导电定夹块的一侧延伸出沿所述真空腔体的前后方向布置的套接导柱，所述导电基座上安装有供与所述套接导柱滑动穿置的抵挡块，所述压缩弹簧套于所述套接导柱上，所述压缩弹簧抵接于所述抵挡块与所述导电动夹块之间以使所述导电动夹块朝靠近所述导电定夹块处滑移，所述螺杆沿所述真空腔体的前后方向穿置于所述导电定夹块的顶部，所述抵压块套于所述螺杆上，所述扭转弹簧位于所述抵压块与所述导电定夹块之间并套于所述螺杆上，所述扭转弹簧的一端插于所述抵压块处，所述扭转弹簧的另一端插于所述导电定夹块处，所述扭转弹簧恒具有驱使所述抵压块绕所述螺杆枢摆至压紧所述容置槽内的蒸发材料之安装端的趋势。

较佳地，所述导电动夹块位于所述导电定夹块的前侧处。

较佳地，所述导电基座开设有沿所述真空腔体的前后方向布置的T型导滑槽，所述导电动夹块的底部具有匹配所述T型导滑槽的T型导滑块，所述导电动夹块藉由所述T型导滑块和T型导滑槽的配合而滑设于所述导电基座上。

较佳地，所述抵挡块位于所述T型导滑槽的前端内，所述套接导柱位于所述T型导滑槽内。

较佳地，所述套接导柱的横截面之外轮廓为圆形或正多边形。

较佳地，所述螺杆包含螺头段、螺身段及螺纹尾段，所述螺头段的尺寸大于所述螺身段的尺寸，所述螺纹尾段与所述导电定夹块螺纹连接，所述抵压块及扭转弹簧套于所述螺身段上，所述螺头段还沿所述真空腔体的前后方向与所述抵压块阻挡配合。

与现有技术相比，藉由段位调节机构，在针对不同尺寸规格的OLED基板时，此时由操作人员往靠近封闭空间之中心处方向拉动段位调节杆，从而使得段位调节杆的卡合端从对应一个段位孔处拔出而允许承托板的调节；当承托板调节到位后，此时操作人员松开对段位调节杆的操作，由处于受压状态的伸缩弹簧顶推段位调节杆往另一个段位孔处滑移，实现段位调节杆的卡合端卡入于另一个段位孔内，以达到灵活调节承托板相对蒸发材料的距离，从而满足不同尺寸规格的OLED基板的真空镀膜要求，并确保蒸镀效果，通用性好。

附图说明

图1是本实用新型的真空镀膜装置被左右平面剖切后的内部结构示意图。

图2是图1中A部分的放大图。

图3是本实用新型的真空镀膜装置中的夹持机构在沿真空腔体由前至后方向观看的平面结构示意图。

图4是图3所示的夹持机构在隐藏导电动夹块后的平面结构示意图。

图5是本实用新型的真空镀膜装置中的夹持机构被沿真空腔体的前后方向的平面剖切后的内部结构示意图。

图6是图5所示的夹持机构在夹持蒸发材料时的状态图。

具体实施方式

为了详细说明本实用新型的技术内容、构造特征，以下结合实施方式并配合附图作进一步说明。

请参阅图1及图2，本实用新型的真空镀膜装置100包括具有封闭空间11 的真空腔体10、用于对蒸发材料200进行夹持的夹持机构20、用于对OLED基板300进行承托的承托板30及段位调节机构40。夹持机构20及承托板30位于封闭空间11内，夹持机构20还沿真空腔体10的左右方向呈一左一右的布置，以满足左方的夹持机构20对蒸发材料200之左方的安装端夹持，以及右方的夹持机构20对蒸发材料200之右方的安装端夹持；承托板30位于夹持机构20对应的上方，以满足蒸发材料200对OLED基板300的真空镀膜要求，较优的是，承托板30也是沿真空腔体10的左右方向，使得左方的承托板30位于左方的夹持机构20正上方，以及右方的承托板30位于右方的夹持机构20正上方，从而实现OLED基板300位于蒸发材料200的正上方，但不以此为限。段位调节机构40包含段拉调节杆41、伸缩弹簧42、沿真空腔体10的上下方向安装在封闭空间11的侧壁处的导轨43及滑套于导轨43上的滑块44，导轨43至少开设有二个沿真空腔体10的上下方向呈间隔开布置的段位孔431，段拉调节杆41沿真空腔体10的左右方向(即双箭头B所指)穿置于滑块44上，段位调节杆41的第一端朝封闭空间11的中心处伸出滑块44并形成操作端(可理解为下面描述到的第三圆柱段413)，段位调节杆41的第二端伸向段位孔431并形成卡合端(可理解为下面描述到的第一圆柱段411)，伸缩弹簧42套于段位调节杆41上并呈弹性地抵压于卡合端与滑块44之间，伸缩弹簧42恒具有驱使卡合端卡入段位孔431内的趋势。具体地，段位调节杆41包含同轴布置的第一圆柱段411、第二圆柱段412及第三圆柱段413，第一圆柱段411及第三圆柱段413的直径各大于第二圆柱段412的直径，伸缩弹簧42套于第二圆柱段412上，且伸缩弹簧42 呈弹性地抵压于第一圆柱段411的端面与滑块44之间，第一圆柱段411还与第二圆柱段412构成一体式结构，卡合端形成于第一圆柱段411上，操作端形成于第三圆柱段413上，较优的是，第三圆柱段413通过螺钉与第二圆柱段412 固定在一起，从而便于段位调节杆41在滑块44处的装卸，但不限于此。更具体地，如下：

请参阅图3至图6，夹持机构20包括导电基座21、导电定夹块22、导电动夹块23、抵压块24、螺杆25、扭转弹簧26及压缩弹簧27。导电定夹块22及导电动夹块23在导电基座21呈一前一后的相对布置，较优的是使得导电动夹块23位于导电定夹块22的前侧处；导电定夹块22、导电动夹块23及导电基座 21三者之间围出供蒸发材料200之安装端放置的容置槽28，导电定夹块22安装在导电基座21的顶部处，使导电定夹块22与导电基座21固定在一起；导电动夹块23沿真空腔体10的前后方向(即图5中双箭头C所指)滑设于导电基座21上，导电动夹块23背对导电定夹块22的一侧(即前侧)延伸出沿真空腔体10的前后方向布置的套接导柱231，导电基座21上安装有供与套接导柱231 滑动穿置的抵挡块211，压缩弹簧27套于套接导柱231上，压缩弹簧27抵接于抵挡块211与导电动夹块23之间，以使导电动夹块23朝靠近导电定夹块22处滑移；螺杆25沿真空腔体10的前后方向穿置于导电定夹块22的顶部，由导电定夹块22对螺杆25提供支撑固定作用；抵压块24套于螺杆25上，使得抵压块24能绕螺杆25枢摆；扭转弹簧26位于抵压块24与导电定夹块22之间并套于螺杆25上，扭转弹簧26的一端插于抵压块24处，扭转弹簧26的另一端插于导电定夹块22处，使得扭转弹簧26恒具有驱使抵压块24绕螺杆25枢摆至压紧容置槽28内的蒸发材料200之安装端的趋势，状态见图6所示。更具体地，如下：

如图3至图6所示，导电基座21开设有沿真空腔体10的前后方向布置的T 型导滑槽212，导电动夹块23的底部具有匹配T型导滑槽212的T型导滑块232，导电动夹块23藉由T型导滑块232和T型导滑槽212的配合而滑设于导电基座 21上，并配合套接导柱231穿置于抵挡块211处，使得导电动夹块23在导电基座21上的滑移更平稳可靠，但不限于此。具体地，抵挡块211位于T型导滑槽 212的前端内，套接导柱231位于T型导滑槽212内，将抵挡块211及套接导柱 231收藏于T型导滑槽212内，防止因抵挡块211及套接导柱231外凸于导电基座21外而受到外界的干扰，故导电动夹块23的滑移更平稳精准；举例而言，套接导柱231的横截面之外轮廓为圆形或正多边形，以便于套接导柱231的制造，但不限于此。

如图5及图6所示，螺杆25包含螺头段251、螺身段252及螺纹尾段253，螺头段251的尺寸大于螺身段252的尺寸，使得二者接合处具有台阶结构；螺纹尾段253与导电定夹块22螺纹连接，以便于螺杆25与导电定夹块22之间的装卸；抵压块24及扭转弹簧26套于螺身段252上，螺头段251还沿真空腔体 10的前后方向与抵压块24阻挡配合，以防止抵压块24从螺杆25处滑落，但不限于此。

其中，在夹持机构20对蒸发材料200如蒸发舟进行夹持时，此时操作人员使导电动夹块23沿远离导电定夹块22处滑移的同时，还使抵压块24绕螺杆25 做远离导电基座21的枢摆，此时的压缩弹簧27及扭转弹簧26处于弹性变形状态而提供复位弹力；接着，将蒸发材料200如蒸发舟的安装端置于容置槽28内，当蒸发材料200如蒸发舟的安装端置于容置槽28内后，此时松开导电动夹块23 及抵压块24的施力操作，并在压缩弹簧27及扭转弹簧26的作用下，使得导电动夹块23自动地朝靠近导电定夹块22处滑移而使蒸发材料200的安装端夹于导电动夹块23和导电定夹块22之间；同时，由抵压块24抵压于蒸发材料200 的安装端之顶部处，从而使得蒸发材料200的更换十分方便；正由于蒸发材料200的安装端的夹持靠压缩弹簧27及扭转弹簧26提供的弹性力，故使得导电动夹块23及抵压块24在蒸发材料200蒸发过程中一直保持对蒸发材料200夹持状态，故适用不同的尺寸而扩大适用范围。

与现有技术相比，藉由段位调节机构40，在针对不同尺寸规格的OLED基板300时，此时由操作人员往靠近封闭空间11之中心处方向拉动段位调节杆41，从而使得段位调节杆41的卡合端从对应一个段位孔431处拔出而允许承托板30 的调节；当承托板30调节到位后，此时操作人员松开对段位调节杆41的操作，由处于受压状态的伸缩弹簧42顶推段位调节杆41往另一个段位孔431处滑移，实现段位调节杆41的卡合端卡入于另一个段位孔431内，以达到灵活调节承托板30相对蒸发材料200的距离，从而满足不同尺寸规格的OLED基板200的真空镀膜要求，并确保蒸镀效果，通用性好。

以上所揭露的仅为本实用新型的较佳实施例而已，当然不能以此来限定本实用新型之权利范围，因此依本实用新型权利要求所作的等同变化，仍属于本实用新型所涵盖的范围。