一种可调式平面阴极的制作方法

本发明涉及一种可调式平面阴极。

背景技术：

真空镀膜是一种在真空中制备膜层产生薄膜材料的技术，有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。其中溅射镀膜是真空镀膜中最主要的方法，该技术是在真空中利用荷能粒子轰击靶表面，使被轰击出的粒子沉积在基片上。在磁控溅射镀膜工艺中，对磁控溅射镀膜设备的质量要求很高，而在磁控溅射镀膜设备中，磁场的设置尤为重要。目前普遍采用平面磁控溅射阴极(简称“平面阴极”)，平面阴极均是采用在磁靴中安装磁铁的方法来获得加速磁场，但现有的磁靴位置无法调整，不但会造成靶材的浪费且无法获得最优的镀膜效果。

技术实现要素：

本发明的目的是为了解决以上现有技术的不足，提出了一种可调式平面阴极。

一种可调式平面阴极，包括底座和设于底座上方的阴极体；所述的阴极体通过升降装置与底座相连；所述的升降装置包括螺母、丝杆、缓冲垫、导柱、导套和弹簧；所述的螺母与底座相连，所述的丝杆旋接在螺母上，丝杆的顶端抵接在阴极体的下表面上；所述缓冲垫的横截面为x形，缓冲垫的内部设有空腔，缓冲垫的上端抵接在阴极体的下表面上，下端与底座的上表面相连；所述的导柱套设在导套的内孔中，导柱的上表面与阴极体的下表面相连，导柱的下表面与导套内孔的侧壁之间形成密封腔，所述密封腔的底部连有气阀，所述导套的下表面与底座的上表面相连；所述弹簧的一端与阴极体相连，弹簧的另一端抵接在导套的上表面上。

优选地，所述丝杆的顶端连有限位柱，所述限位柱套设在阴极体下表面上的限位孔中。

优选地，所述丝杠表面的螺纹为梯形螺纹。

优选地，所述导套的外径由上至下逐渐增大。

优选地，所述丝杆的底端设有六角柄把手。

有益效果：

1、使用时，通过调整升降装置的伸出长度，即可调整阴极体相对于整体设备的上下位置，可以在不更换零件的前提下，只通过调节升降装置就可达到调节磁场空间分布，从而使磁铁加载在在靶材上的磁场变得均匀，使靶材在溅镀过程中消耗均匀，进而提高靶材的利用率和成膜的均匀性。

2、升降装置中采用丝杆作为唯一的升降部件，可以保证升降高度的统一性，不会出现多个升降部件之间配合不好，导致升降后阴极体倾斜的情况，同时采用弹簧、导柱、导套的配合方式，使得阴极体的支承更加稳定，不会出现两头翘起的情况。

3、通过缓冲垫内部的x形空腔，可以保证阴极体的上升或下降过程的平稳性，不会出现较大程度的晃动现象。

附图说明

图1是一种可调式平面阴极的总体结构示意图；

图2是一种可调式平面阴极的侧视图；

1.阴极体2.底座3.导套4.缓冲垫5.丝杆6.螺母7.弹簧8.导柱9.气阀。

具体实施方式

为了加深对本发明的理解，下面将结合实施例和附图对本发明作进一步详述，该实施例仅用于解释本发明，并不构成对本发明保护范围的限定。

如图1-2所示，一种可调式平面阴极，包括底座2和设于底座2上方的阴极体1；所述的阴极体1通过升降装置与底座2相连；所述的升降装置包括螺母6、丝杆5、缓冲垫4、导柱8、导套3和弹簧7；所述的螺母6与底座2相连，所述的丝杆5旋接在螺母6上，丝杠表面的螺纹为梯形螺纹，丝杆5的底端设有六角柄把手。

丝杆5的顶端抵接在阴极体1的下表面上；所述缓冲垫4的横截面为x形，缓冲垫4的内部设有空腔，缓冲垫4的上端抵接在阴极体1的下表面上，下端与底座2的上表面相连；所述的导柱8套设在导套3的内孔中，导柱8的上表面与阴极体1的下表面相连，导柱8的下表面与导套3内孔的侧壁之间形成密封腔，所述密封腔的底部连有气阀9，所述导套3的下表面与底座2的上表面相连，导套3的外径由上至下逐渐增大。

所述弹簧7的一端与阴极体1相连，弹簧7的另一端抵接在导套3的上表面上。

所述丝杆5的顶端连有限位柱，所述限位柱套设在阴极体1下表面上的限位孔中。

使用情况：

1、将阴极体1通过升降装置与底座2相连；

2、在镀膜时，当发现镀膜不均或靶材使用不均时，先打开气阀9，再旋转丝杆5；

3、丝杠相对于螺母6旋转，并推动整个阴极体1向上运动；

4、向上运动时，气体由气阀9进入到密封腔内，当上升到指定位置时，关闭气阀9，此时由于密封腔内存有一定气体，所以导柱8具有一定的支撑力；

5、当需要向下运动阴极体1时，同样先打开气阀9，然后旋转丝杆5；

6、密封腔内的气体由气阀9处排出，导柱8在弹簧7的拉动下向下运动。

7、缓冲垫4的作用为，在上升或是下降过程中，保证阴极体1的缓步匀速运动，防止阴极体1发生较大的晃动。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

技术特征：

技术总结
本发明公开了一种可调式平面阴极，包括底座和设于底座上方的阴极体；所述的阴极体通过升降装置与底座相连；升降装置包括螺母、丝杆、缓冲垫、导柱、导套和弹簧；所述的螺母与底座相连，所述的丝杆旋接在螺母上，丝杆的顶端抵接在阴极体的下表面上；所述的导柱套设在导套的内孔中，导柱的上表面与阴极体的下表面相连，导柱的下表面与导套内孔的侧壁之间形成密封腔，所述密封腔的底部连有气阀，所述导套的下表面与底座的上表面相连；所述弹簧的一端与阴极体相连，弹簧的另一端抵接在导套的上表面上。通过升降装置可以调节阴极体的高度，从而调节磁场，以获得更好的磁控镀膜效果。

技术研发人员：匡国庆
受保护的技术使用者：镇江市德利克真空设备科技有限公司
技术研发日：2019.07.17
技术公布日：2019.09.24