一种CrSiCN膜用高功率单极脉冲磁控溅射电源的制作方法

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，尤其涉及一种crsicn膜用高功率单极脉冲磁控溅射电源。

背景技术：

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

然而现有的crsicn膜用高功率单极脉冲磁控溅射仍存在一些不足之处，首先，制作枪色crcn膜层的耐磨性和耐腐蚀性仍有缺陷；其次，现有的crsicn膜用高功率单极脉冲磁控溅射电源，不具备节省空间和整体散热的效果。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于：为了解决crsicn膜用高功率单极脉冲磁控溅射的上述问题，而提出的一种crsicn膜用高功率单极脉冲磁控溅射电源。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种crsicn膜用高功率单极脉冲磁控溅射电源，包括单极脉冲磁控溅射机，所述单极脉冲磁控溅射机的一侧安装有电源箱，所述电源箱的内部安装有四组高功率单级脉冲电源、四组弧电源和一组偏压电源，所述单极脉冲磁控溅射机的内部安装有三个cr平面靶与一个si平面靶和四个cr圆弧靶。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述电源箱的下端面安装有散热泵，所述电源箱的顶部一侧安装有散热扇。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述散热泵的进气端连通有进气管，所述进气管位于电源箱下端面的对角线上。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述进气管的出气端沿电源箱的一个竖直拐角竖直分布。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述电源箱的出气端连通有横向出气管和纵向出气管，所述横向出气管和纵向出气管均贴合电源箱的内壁。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述横向出气管和纵向出气管呈90°夹角，且靠近散热扇位置。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中，通过单极脉冲磁控溅射机内添加si平面靶，从而使得真空镀膜机首先进行镀膜cr的沉淀，然后经过crn的沉淀，最后复合层crsicn沉淀，使得cr、si、n和c离子的结合，产生了一种高耐磨抗腐蚀的膜层，能够使镀层和不锈钢紧固件产品表面紧密结合。

2、本实用新型中，通过进气管处于电源箱的下端面对角线位置处，集中对电源箱的底部热气进行回收，散热泵的出气方向连通有成90°夹角的横向出气管和纵向出气管，且横向出气管和纵向出气管分别贴覆于电源箱的内表壁，竖直分布，从而加快电源箱中部的热气向上散去，最后由散热扇排出，结构简单，即不占用空间，有提高了电源箱的整体散热效果。

附图说明

图1示出了根据本实用新型实施例提供的单极脉冲磁控溅射机的正视图；

图2示出了根据本实用新型实施例提供的电源箱正剖图；

图3示出了根据本实用新型实施例提供的散热泵俯视图。

图例说明：

1、单极脉冲磁控溅射机；2、电源箱；3、高功率单级脉冲电源；4、弧电源；5、偏压电源；6、散热泵；7、进气管；8、横向出气管；9、纵向出气管；10、散热扇。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种crsicn膜用高功率单极脉冲磁控溅射电源，包括单极脉冲磁控溅射机1，单极脉冲磁控溅射机1的一侧安装有电源箱2，电源箱2的内部安装有四组高功率单级脉冲电源3、四组弧电源4和一组偏压电源5，单极脉冲磁控溅射机1的内部安装有三个cr平面靶与一个si平面靶和四个cr圆弧靶。

具体的，如图2和图3所示，电源箱2的下端面安装有散热泵6，电源箱2的顶部一侧安装有散热扇10，利用热气向上跑的原理，从而加快了热气由散热扇10散出。

具体的，如图2和图3所示，散热泵6的进气端连通有进气管7，进气管7位于电源箱2下端面的对角线上，加快电源箱2底部整体热量的吸收。

具体的，如图2和图3所示，进气管7的出气端沿电源箱2的一个竖直拐角竖直分布，缩短热空气与散热扇10的距离。

具体的，如图2和图3所示，电源箱2的出气端连通有横向出气管8和纵向出气管9，横向出气管8和纵向出气管9均贴合电源箱2的内壁，避免过多占用电源箱2的内部空间。

具体的，如图2和图3所示，横向出气管8和纵向出气管9呈90°夹角，且靠近散热扇10位置，加快电源箱2不同侧面的散热效果。

工作原理：使用时，通过单极脉冲磁控溅射机1内添加si平面靶，从而使得真空镀膜机首先进行镀膜cr的沉淀，然后经过crn的沉淀，最后复合层crsicn沉淀，使得cr、si、n和c离子的结合，产生了一种高耐磨抗腐蚀的膜层，能够使镀层和不锈钢紧固件产品表面紧密结合，通过进气管7处于电源箱2的下端面对角线位置处，进气管7集中对电源箱2的底部热气进行回收，经过散热泵6，在经横向出气管8和纵向出气管9排出，横向出气管8和纵向出气管9夹角90°，且分别贴覆于电源箱2的内表壁，竖直分布，从而加快电源箱2中部的热气向上散去，最后由散热扇10排出，结构简单，即不占用空间，有提高了电源箱2的整体散热效果。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种crsicn膜用高功率单极脉冲磁控溅射电源，包括单极脉冲磁控溅射机(1)，其特征在于，所述单极脉冲磁控溅射机(1)的一侧安装有电源箱(2)，所述电源箱(2)的内部安装有四组高功率单级脉冲电源(3)、四组弧电源(4)和一组偏压电源(5)，所述单极脉冲磁控溅射机(1)的内部安装有三个cr平面靶与一个si平面靶和四个cr圆弧靶。

2.根据权利要求1所述的一种crsicn膜用高功率单极脉冲磁控溅射电源，其特征在于，所述电源箱(2)的下端面安装有散热泵(6)，所述电源箱(2)的顶部一侧安装有散热扇(10)。

3.根据权利要求2所述的一种crsicn膜用高功率单极脉冲磁控溅射电源，其特征在于，所述散热泵(6)的进气端连通有进气管(7)，所述进气管(7)位于电源箱(2)下端面的对角线上。

4.根据权利要求3所述的一种crsicn膜用高功率单极脉冲磁控溅射电源，其特征在于，所述进气管(7)的出气端沿电源箱(2)的一个竖直拐角竖直分布。

5.根据权利要求1所述的一种crsicn膜用高功率单极脉冲磁控溅射电源，其特征在于，所述电源箱(2)的出气端连通有横向出气管(8)和纵向出气管(9)，所述横向出气管(8)和纵向出气管(9)均贴合电源箱(2)的内壁。

6.根据权利要求5所述的一种crsicn膜用高功率单极脉冲磁控溅射电源，其特征在于，所述横向出气管(8)和纵向出气管(9)呈90°夹角，且靠近散热扇(10)位置。

技术总结
本实用新型公开了一种CrSiCN膜用高功率单极脉冲磁控溅射电源，包括单极脉冲磁控溅射机，所述单极脉冲磁控溅射机的一侧安装有电源箱，所述电源箱的内部安装有四组高功率单级脉冲电源、四组弧电源和一组偏压电源，所述单极脉冲磁控溅射机的内部安装有三个Cr平面靶与一个Si平面靶和四个Cr圆弧靶。本实用新型中，通过单极脉冲磁控溅射机内添加Si平面靶，从而使得真空镀膜机首先进行镀膜Cr的沉淀，然后经过CrN的沉淀，最后复合层CrSiCN沉淀，使得Cr、Si、N和C离子的结合，产生了一种高耐磨抗腐蚀的膜层，能够使镀层和不锈钢紧固件产品表面紧密结合。

技术研发人员：蔡俊信
受保护的技术使用者：滨中元川金属制品(昆山)有限公司
技术研发日：2019.10.09
技术公布日：2020.07.14