一种适用于不同规格尺寸硅片的石墨载板结构的制作方法

本实用新型涉及一种晶硅太阳能电池的石墨载板结构，特别涉及一种适用于不同规格尺寸硅片的石墨载板结构。

背景技术：

在晶硅太阳能电池制造过程中，板式pecvd镀膜是行业中普遍用到的设备，工艺过程主要是通过石墨载板承载着硅片传输到各腔室，在硅片表面进行镀膜。

现有的石墨载板结构主要为台阶面，倒角非圆弧形设计，台阶面的设计为上立面与平面的夹角呈90度，因此上立面无法搭载硅片，硅片只能搭载到平面上，这种设计一般只适合搭载固定规格尺寸硅片，如硅片尺寸有偏差，传输过程中易出现掉片、崩边不良的现象，造成一定经济损失，且无法满足市场对不同规格电池片的定制化需求。

因此，特别需要一种适用于不同规格尺寸硅片的石墨载板结构，以解决上述现有存在的问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种适用于不同规格尺寸硅片的石墨载板结构，针对现有技术的不足，能够满足不同规格电池片的生产，有效地降低崩边和掉片不良的问题。

本实用新型所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现：

一种适用于不同规格尺寸硅片的石墨载板结构，其特征在于，包括用于承载硅片的槽体，所述槽体的四角为相同弧度的圆弧形，所述槽体的承载面为由相互对称的斜托面与平托面相结合的平面角型结构。

在本实用新型的一个实施例中，所述斜托面与所述平托面之间的平面角的角度范围为150-175度。

在本实用新型的一个实施例中，所述槽体的圆弧形的弧度为90-270度，弧度的大小可以根据不同规格硅片进行调整。

在本实用新型的一个实施例中，所述槽体的承载面的承载边长为156-159mm，根据硅片尺寸的不同硅片可以搭载在相互对称的斜托面或平托面上。

本实用新型的适用于不同规格尺寸硅片的石墨载板结构，与现有技术相比，承载面采用斜托面与平托面相结合的平面角型设计，不同规格的硅片可以分别搭载在斜托面和平托面上，四角采用相同弧度的圆弧形对称设计，弧度的大小可以根据不同规格硅片进行调整，满足不同规格电池片定制化生产的需求，有效地解决了由于硅片尺寸偏差导致的绕镀、崩边和掉片的问题；满足了市场对不同尺寸电池片定制化生产需求、改善了产品质量、降低了生产成本、提升了设备的利用率，实现本实用新型的目的。

本实用新型的特点可参阅本案图式及以下较好实施方式的详细说明而获得清楚地了解。

附图说明

图1为本实用新型的石墨载板结构的结构示意图；

图2为本实用新型的承载槽的结构示意图；

图3为本实用新型的石墨载板结构的侧面示意图；

图4为本实用新型的搭载面的剖面放大示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。

实施例

根据图1至图4所示，本实用新型提供的适用于不同规格尺寸硅片的石墨载板结构，包括用于承载硅片的槽体10，槽10的四角采用相同弧度的圆弧形20，槽体10的承载面为由相互对称的斜托面30与平托面40相结合的平面角型结构。

斜托面30与平托面40相结合的平面角a如图4所示，范围在150度至175度；槽体10的承载面的承载边长为156mm至159mm范围内不同规格的硅片，根据硅片尺寸的不同硅片可以搭载在斜托面30或平托面40上。

在本实施例中，承载硅片的槽体10的四角采用相同弧度的圆弧形20对称设计，弧度的大小可以根据不同规格硅片进行调整。

在本实施例中，槽体10的承载面采用斜托面30与平托面20相结合的平面角型设计，平面角a如图4所示，范围在150度至175度，承载面相互对称。

在本实施例中，槽体10的承载面的承载边长为156mm至159mm范围内不同规格的硅片，根据硅片尺寸的不同硅片可以搭载在相互对称的斜托面30或平托面20上。

本实用新型的石墨载板结构，与现有技术相比，承载面采用斜托面30与平托面20相结合的平面角型设计，不同规格的硅片可以分别搭载在斜托面30和平托面20上，四角采用相同弧度的圆弧形20对称设计，弧度的大小可以根据不同规格硅片进行调整，满足不同规格电池片定制化生产的需求，且有效地解决了由于硅片尺寸偏差导致的崩边和掉片的问题；满足了市场对不同尺寸电池片定制化生产需求、改善了产品质量、降低了生产成本、提升了设备的利用率。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内，本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

技术特征：

1.一种适用于不同规格尺寸硅片的石墨载板结构，其特征在于，包括用于承载硅片的槽体，所述槽体的四角为相同弧度的圆弧形，所述槽体的承载面为由相互对称的斜托面与平托面相结合的平面角型结构。

2.如权利要求1所述的适用于不同规格尺寸硅片的石墨载板结构，其特征在于，所述斜托面与所述平托面之间的平面角的角度范围为150-175度。

3.如权利要求1所述的适用于不同规格尺寸硅片的石墨载板结构，其特征在于，所述槽体的圆弧形的弧度为90-270度。

4.如权利要求1所述的适用于不同规格尺寸硅片的石墨载板结构，其特征在于，所述槽体的承载面的承载边长为156-159mm。

技术总结
本实用新型的目的在于公开一种适用于不同规格尺寸硅片的石墨载板结构，包括用于承载硅片的槽体，所述槽体的四角为相同弧度的圆弧形，所述槽体的承载面为由相互对称的斜托面与平托面相结合的平面角型结构；与现有技术相比，承载面采用斜托面与平托面相结合的平面角型设计，不同规格的硅片可以分别搭载在斜托面和平托面上，四角采用相同弧度的圆弧形对称设计，弧度的大小可以根据不同规格硅片进行调整，满足不同规格电池片定制化生产的需求，有效地解决了由于硅片尺寸偏差导致的绕镀、崩边和掉片的问题；满足了市场对不同尺寸电池片定制化生产需求、改善了产品质量、降低了生产成本、提升了设备的利用率，实现本实用新型的目的。

技术研发人员：宋标;高艳飞;张强;刘怀彬;任杰;董忠吉;袁逸秀;王丽娜
受保护的技术使用者：国家电投集团西安太阳能电力有限公司;黄河水电西宁太阳能电力有限公司;青海黄河上游水电开发有限责任公司;国家电投集团黄河上游水电开发有限责任公司
技术研发日：2019.10.22
技术公布日：2020.07.24