一种镀膜设备观察窗的防污装置的制作方法

本实用新型属于镀膜技术领域，特别是一种镀膜设备观察窗的防污装置。

背景技术：

在镀膜领域，良好视野的观察窗至关重要，通过观察窗来完成生产的控制过程，有时生产节点的选择，设备某些状态的判断，也都需要通过观察窗观察腔室内的情况来决定。

现有镀膜设备的观察窗几乎均采用一道内衬玻璃加一个开孔挡板来防污，为了便于拆卸清理和转动，内衬玻璃与腔室一圈都有很大的缝隙，且在某些功能构造上内衬玻璃也无法与观察窗紧密贴合。在镀膜过程中，某些膜料会通过最外挡板的孔位，经内衬玻璃与腔室之间的缝隙，绕射到观察窗玻璃上，观察窗玻璃很快就会变花，影响视线。

观察窗玻璃为特殊打磨的耐高温石英玻璃，价格相对比较昂贵，且在观察窗功能构造上涉及到多重复杂的转动密封结构，若因观察窗被快速污染而多次拆卸打磨，可能会带来真空密封结构破坏，石英玻璃破损等二次问题，造成大的经济损失。

技术实现要素：

鉴于上述问题，本实用新型的目的是提供一种镀膜设备观察窗的防污装置，其可有效解决镀膜设备观察窗玻璃被快速污染的问题，对观察窗玻璃进行防污，保持观察窗的清洁。

为实现上述目的，本实用新型采取以下技术方案：

一种镀膜设备观察窗的防污装置，包括圆筒状的壳体，该壳体位于镀膜设备的观察窗内侧的圆柱形通道内；该壳体朝向该观察窗的一端为第一端，另一端为第二端；该第一端内侧设有轴承，该轴承内侧设有环形的卡板，该卡板内侧设有截面与该壳体腔体对应的挡板，该挡板顶部设有观察口；该挡板内侧设有卡环，该卡环和卡板将该挡板限位在二者之间；该第一端外侧设有环形的第一环体和第二环体，该第一环体截面呈t型，具有竖向的第一板和横向的第二板，该第二板与该第一板中部垂直连接；该第二环体截面呈倒l型，具有横向的第三板和竖向的第四板；该第三板内部之间设有圆形的玻璃板；该第三板位于第二板之间，并通过螺纹连接，且该玻璃板的两侧分别与该第一板和第四板抵顶，该玻璃板中部与该观察窗中部的旋转中轴固定连接；该第二板卡接在该轴承内圈，使该第一环体能相对于该壳体转动；该第二端外周通过螺纹连接有环形的第三环体，该第三环体位于该镀膜设备内壁与防污板之间，并通过螺钉固定连接在一起。

进一步的，所述卡环呈“ω”型。

进一步的，所述挡板的观察口呈扇形。

进一步的，所述玻璃板中部套设于所述旋转中轴上，并通过固定螺母与该旋转中轴固定在一起。

进一步的，所述第一板与所述观察窗内壁紧贴。

本实用新型的有益效果是：本实用新型镀膜设备观察窗的防污装置在镀膜设备运行过程中，可有效防止观察窗玻璃被膜料快速污染，可根据观察窗的大小及深度来设计与其相符合的装置，并且结构简单，实用面较广。

附图说明

图1是本实用新型镀膜设备观察窗的防污装置的结构示意图。

图2是本实用新型镀膜设备观察窗的防污装置的分解示意图。

图3是本实用新型镀膜设备观察窗的防污装置的挡板的结构示意图。

图4是本实用新型镀膜设备观察窗的防污装置的卡环的结构示意图。

图5是本实用新型镀膜设备观察窗的防污装置的立体图。

图6是本实用新型镀膜设备观察窗的防污装置的安装示意图。

具体实施方式

以下仅以实施例说明本实用新型可能的实施态样，然而并非用以限制本实用新型所欲保护的范畴，先予叙明。

如图1-图6所示，本实用新型提供一种镀膜设备观察窗的防污装置，包括圆筒状的壳体1，该壳体1位于镀膜设备2的观察窗3内侧的圆柱形通道内。该壳体1朝向该观察窗的一端为第一端11，另一端为第二端12。该第一端11内侧设有轴承4，该轴承4内侧设有环形的卡板5，该卡板5内侧设有截面与该壳体1腔体对应的挡板6，该挡板6顶部设有观察口61。该挡板6内侧设有卡环7，该卡环7和卡板5将该挡板6限位在二者之间。该第一端11外侧设有环形的第一环体8和第二环体9，该第一环体8截面呈t型，具有竖向的第一板81和横向的第二板82，该第一板81与该观察窗3内壁紧贴，该第二板82与该第一板81中部垂直连接。该第二环体9截面呈倒l型，具有横向的第三板91和竖向的第四板92。该第三板91内部之间设有圆形的玻璃板10。该第三板91位于第二板82之间，并通过螺纹连接，且该玻璃板10的两侧分别与该第一板81和第四板92抵顶，该玻璃板10中部与该观察窗3中部的旋转中轴31固定连接，具体地，该玻璃板10中部套设于该旋转中轴31上，并通过固定螺母与该旋转中轴31固定在一起。该第二板82卡接在该轴承4内圈，使该第一环体8能相对于该壳体1转动。该第二端12外周通过螺纹连接有环形的第三环体13，该第三环体13位于该镀膜设备2内壁与防污板21之间，并通过螺钉固定连接在一起。

具体来说，如图3、图4所示，该卡环7呈“ω”型，有弹性，该挡板6的观察口61呈扇形。

在镀膜过程中，部分膜料只能经过挡板6的观察口61绕射到玻璃板10上，与观察口64相对的那块玻璃板10区域便慢慢变模糊，此时通过旋转中轴31转动普通玻璃板10，转过模糊区域继续使用。当整块玻璃板10都变模糊时，就可以将普通玻璃板10拆下来换上新的玻璃板，普通玻璃板可以拆卸清洗更换循环使用。整个过程只有内衬的普通玻璃板10被污染，外部观察窗3的石英玻璃被很好地保护了起来，不被膜料污染。此外可以依据不同大小的观察窗3来设计与其尺寸相符的壳体1和第一、二、三环体，实用面较广。

本实用新型是以权利要求所限定的。但基于此，本领域的普通技术人员可以做出种种显然的变化或改动，都应在本实用新型的主要精神和保护范围之内。

技术特征：

1.一种镀膜设备观察窗的防污装置，其特征在于，包括圆筒状的壳体，该壳体位于镀膜设备的观察窗内侧的圆柱形通道内；该壳体朝向该观察窗的一端为第一端，另一端为第二端；该第一端内侧设有轴承，该轴承内侧设有环形的卡板，该卡板内侧设有截面与该壳体腔体对应的挡板，该挡板顶部设有观察口；该挡板内侧设有卡环，该卡环和卡板将该挡板限位在二者之间；该第一端外侧设有环形的第一环体和第二环体，该第一环体截面呈t型，具有竖向的第一板和横向的第二板，该第二板与该第一板中部垂直连接；该第二环体截面呈倒l型，具有横向的第三板和竖向的第四板；该第三板内部之间设有圆形的玻璃板；该第三板位于第二板之间，并通过螺纹连接，且该玻璃板的两侧分别与该第一板和第四板抵顶，该玻璃板中部与该观察窗中部的旋转中轴固定连接；该第二板卡接在该轴承内圈，使该第一环体能相对于该壳体转动；该第二端外周通过螺纹连接有环形的第三环体，该第三环体位于该镀膜设备内壁与防污板之间，并通过螺钉固定连接在一起。

2.根据权利要求1所述的镀膜设备观察窗的防污装置，其特征在于：所述卡环呈“ω”型。

3.根据权利要求1或2所述的镀膜设备观察窗的防污装置，其特征在于：所述挡板的观察口呈扇形。

4.根据权利要求1或2所述的镀膜设备观察窗的防污装置，其特征在于：所述玻璃板中部套设于所述旋转中轴上，并通过固定螺母与该旋转中轴固定在一起。

5.根据权利要求1或2所述的镀膜设备观察窗的防污装置，其特征在于：所述第一板与所述观察窗内壁紧贴。

技术总结
一种镀膜设备观察窗的防污装置，包括壳体，该壳体的第一端内侧设有轴承，该轴承内侧设有环形的卡板，该卡板内侧设有挡板，该挡板顶部设有观察口；该挡板内侧设有卡环，该第一端外侧设有第一环体和第二环体，该第一环体具有第一板和第二板，该第二环体具有第三板和第四板；该第三板内部之间设有圆形的玻璃板；该第三板位于第二板之间，并通过螺纹连接，且该玻璃板的两侧分别与该第一板和第四板抵顶，该玻璃板中部与该观察窗中部的旋转中轴固定连接；该第二板卡接在该轴承内圈，使该第一环体能相对于该壳体转动；该第二端外周通过螺纹连接有环形的第三环体，该第三环体位于该镀膜设备内壁与防污板之间，并通过螺钉固定连接在一起。

技术研发人员：李欢欢;许宁;曹波;路淑娟;王伦;张萌
受保护的技术使用者：有研国晶辉新材料有限公司
技术研发日：2019.11.12
技术公布日：2020.07.24