一种碳化硅涂层用高效沉积炉的制作方法

本实用新型涉及碳化硅涂层设备技术领域，尤其涉及一种碳化硅涂层用高效沉积炉。

背景技术：

碳化硅具有优异的物理化学性能，如高熔点、高硬度、耐腐蚀、抗氧化等，特别是在1800-2000℃范围，具有良好的抗烧蚀性能，因此，在航空航天、兵器装备等领域具有广阔的应用前景，但碳化硅本身不能作为结构材料使用，所以通常采用制备涂层的方法，以利用其耐磨性以及抗烧蚀性。

现有技术中申请号为cn201520542351.5的实用新型专利公开了一种分段式石墨碳化硅涂层用气相沉积炉，包括圆通状的炉体，所述炉体的两端分别配设有炉盖，所述炉体内部的底部设有滑轨，所述滑轨上设置有能够在滑轨上移动并且用于放置石墨的滑座，所述炉体内经可开闭的密封门分为反应段和预冷段，然而该装置在实际使用过程中仍然存在着开炉后难以快速的对于滑座中的产品进行更换并重新进行加工，使得炉体的使用效率较低的问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于：为了解决现有技术中炉体更换产品效率较低的问题，而提出的一种碳化硅涂层用高效沉积炉。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种碳化硅涂层用高效沉积炉，包括炉壳以及炉壳内壁开设的内隔热层，所述炉壳内腔设置有托盘，所述炉壳底部开设有发热体，所述炉壳顶端开设有上隔热腔，且上隔热腔内部固定连接有驱动电机，所述驱动电机输出轴处固定连接有中心转杆，且中心转杆侧表壁与托盘固定连接，所述炉壳内腔开设有隔板，且隔板上开设有第二开口，所述第二开口与托盘间隙配合，所述炉壳外侧侧表壁上开设有开口法兰，所述隔板共设置有三个，且三个隔板中两两之间的夹角均为120°，所述三个隔板中心处均与中心转杆外表壁互相贴合密封，所述隔板两侧均滑动连接有滑动内门，且滑动内门上开设有第一开口，且第一开口与第二开口之间互相贴合连通。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述开口法兰共设置有三个，且三个开口法兰外侧均通过螺栓固定连接有外封板。

作为上述技术方案的进一步描述：

三个所述外封板内侧壁均开设有加厚隔热层，且加厚隔热层与开口法兰滑动连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述托盘均呈扇形结构，所述托盘的扇形夹角均小于120°。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中，采用了三腔隔离结构，由于采用了滑动内门与隔板之间的滑动连接，实现了滑动内门上的第一开口与隔板上的第二开口之间互相分离，从而实现了隔板上的第二开口被封闭，进而实现了三个隔板隔出的三个腔体互相隔离互不干扰。

2、本实用新型中，采用了转盘式换料结构，采用了外封板与开口法兰之间的螺栓固定连接，实现了打开外封板的腔体中的托盘进行更换物料，又由于采用了滑动内门与隔板之间的滑动连接，实现了推动滑动内门将第一开口与第二开口互相连通，同时由于采用了驱动电机带动中心转杆转动，实现了三组托盘上的物料便于快速的更换，同时实现了减少其余两个腔体完全打开时对于温度的损失。

附图说明

图1示出了根据本实用新型实施例提供的主视图中心截面结构示意图；

图2示出了根据本实用新型实施例提供的a-a截面处结构示意图；

图3示出了根据本实用新型实施例提供的b-b截面处结构示意图。

图例说明：

1、上隔热腔；2、驱动电机；3、炉壳；4、内隔热层；5、中心转杆；6、发热体；7、托盘；8、加厚隔热层；9、开口法兰；10、隔板；11、外封板；12、滑动内门；13、第一开口；14、第二开口。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种碳化硅涂层用高效沉积炉，包括炉壳3以及炉壳3内壁开设的内隔热层4，炉壳3内腔设置有托盘7，炉壳3底部开设有发热体6，炉壳3顶端开设有上隔热腔1，且上隔热腔1内部固定连接有驱动电机2，驱动电机2输出轴处固定连接有中心转杆5，且中心转杆5侧表壁与托盘7固定连接，炉壳3内腔开设有隔板10，且隔板10上开设有第二开口14，第二开口14与托盘7间隙配合，炉壳3外侧侧表壁上开设有开口法兰9，以便于通过各个开口法兰9对于炉壳3内腔各个部分打开取料，隔板10共设置有三个，且三个隔板10中两两之间的夹角均为120°，三个隔板10中心处均与中心转杆5外表壁互相贴合密封，以便于通过三个隔板10将炉壳3分成三个腔体，以便于换料时对于单个腔体打开后，其余两个腔体中的托盘7通过转动进行换料，减少腔体内的热量损失，隔板10两侧均滑动连接有滑动内门12，且滑动内门12上开设有第一开口13，且第一开口13与第二开口14之间互相贴合连通，以便于通过滑动内门12对于隔板10上的开口进行封闭与连通。

具体的，如图2所示，开口法兰9共设置有三个，且三个开口法兰9外侧均通过螺栓固定连接有外封板11，以便于对于开口法兰9进行封闭。

具体的，如图2所示，三个外封板11内侧壁均开设有加厚隔热层8，且加厚隔热层8与开口法兰9滑动连接，增加外封板11处的隔热效果。

具体的，如图2所示，托盘7均呈扇形结构，托盘7的扇形夹角均小于120°，使得托盘7均处于隔板10之间的腔体内部，从而以便于转动时对于物料的快速更换。

工作原理：使用时，首先，通过滑动内门12与隔板10之间的滑动连接，使得滑动内门12上的第一开口13与隔板10上的第二开口14之间互相分离，从而使得隔板10上的第二开口14被封闭，从而使得三个隔板10隔出的三个腔体互相隔离互不干扰，当沉积完成需要更换时，可打开其中的一个外封板11，使得打开外封板11的腔体中的托盘7进行更换物料，同时推动滑动内门12使得第一开口13与第二开口14互相连通，再通过驱动电机2带动中心转杆5转动，进而便于三组托盘7上的物料进行快速的更换，同时减少其余两个腔体完全打开时对于温度的损失。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.一种碳化硅涂层用高效沉积炉，包括炉壳(3)以及炉壳(3)内壁开设的内隔热层(4)，所述炉壳(3)内腔设置有托盘(7)，所述炉壳(3)底部开设有发热体(6)，其特征在于，所述炉壳(3)顶端开设有上隔热腔(1)，且上隔热腔(1)内部固定连接有驱动电机(2)，所述驱动电机(2)输出轴处固定连接有中心转杆(5)，且中心转杆(5)侧表壁与托盘(7)固定连接，所述炉壳(3)内腔开设有隔板(10)，且隔板(10)上开设有第二开口(14)，所述第二开口(14)与托盘(7)间隙配合，所述炉壳(3)外侧侧表壁上开设有开口法兰(9)，所述隔板(10)共设置有三个，且三个隔板(10)中两两之间的夹角均为120°，所述三个隔板(10)中心处均与中心转杆(5)外表壁互相贴合密封，所述隔板(10)两侧均滑动连接有滑动内门(12)，且滑动内门(12)上开设有第一开口(13)，且第一开口(13)与第二开口(14)之间互相贴合连通。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅涂层用高效沉积炉，其特征在于，所述开口法兰(9)共设置有三个，且三个开口法兰(9)外侧均通过螺栓固定连接有外封板(11)。

3.根据权利要求2所述的一种碳化硅涂层用高效沉积炉，其特征在于，三个所述外封板(11)内侧壁均开设有加厚隔热层(8)，且加厚隔热层(8)与开口法兰(9)滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅涂层用高效沉积炉，其特征在于，所述托盘(7)均呈扇形结构，所述托盘(7)的扇形夹角均小于120°。

技术总结
本实用新型公开了一种碳化硅涂层用高效沉积炉，包括炉壳以及炉壳内壁开设的内隔热层，所述炉壳内腔设置有托盘，所述炉壳底部开设有发热体，所述炉壳顶端开设有上隔热腔，且上隔热腔内部固定连接有驱动电机，所述驱动电机输出轴处固定连接有中心转杆，且中心转杆侧表壁与托盘固定连接，所述炉壳内腔开设有隔板，且隔板上开设有第二开口，所述第二开口与托盘间隙配合，所述炉壳外侧侧表壁上开设有开口法兰。本实用新型中，采用了三腔隔离结构，实现了三个隔板隔出的三个腔体互相隔离互不干扰，采用了转盘式换料结构，实现了三组托盘上的物料便于快速的更换，同时实现了减少其余两个腔体完全打开时对于温度的损失。

技术研发人员：黄晓峰;黄子丹
受保护的技术使用者：昊石新材料科技南通有限公司
技术研发日：2019.12.04
技术公布日：2020.09.22