一种金属加工用退火炉的制作方法

本实用新型属于退火炉技术领域，具体涉及一种金属加工用退火炉。

背景技术：

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60％。

现有技术的存在以下问题：现有的金属加工用退火炉在使用时存在炉门通过绳索牵引升降进行密封，存在安全隐患，长时间使用易脱落，断电也易造成脱落，同时余热利用不高，造成浪费，使用不便。

技术实现要素：

为解决上述背景技术中提出的问题。本实用新型提供了一种金属加工用退火炉，具有结构简单，炉门密封便携，使用安全，余热利用高的特点。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种金属加工用退火炉，包括箱体、炉门密封组件、放置架和鹅卵石，所述箱体的炉口处设置有炉门密封组件，所述箱体的上端中间设置有进风机，所述进风机的上端设置有电加热板，所述箱体的上端位于进风机的侧边设置有循环风机，所述进风机的另一侧设置有排风机，所述进风机的下端连接有导风管，所述导风管的侧边均匀设置有喷嘴，所述箱体的内部设置有隔热层，所述隔热层的内部中间均匀设置有载物架，所述隔热层的内部侧边设置有放置架，所述放置架的内部均匀设置有鹅卵石。

优选的，所述炉门密封组件包括限位滑杆、限位杆、电机、主动齿轮、从动齿轮、炉门和丝杆，其中，所述箱体的表面位于炉口的一侧固定有限位滑杆，所述箱体的表面位于炉口的另一侧固定有丝杆，所述限位滑杆和丝杆的之间连接有炉门，箱体的表面位于炉口的下端设置有限位杆，所述丝杆的下端固定有从动齿轮，所述箱体的底部设置有电机，所述电机的转轴固定有主动齿轮。

优选的，所述循环风机与进风机之间通过连接管连通，所述循环风机和排风机使用型号均相同仅安装位置不同。

优选的，所述放置架与隔热层之间通过滑动连接固定，所述放置架的表面设置有用于拦截鹅卵石的金属网。

优选的，所述主动齿轮与从动齿轮啮合传动，所述丝杆与箱体之间通过轴承转动连接。

优选的，所述炉门的一端与限位滑杆滑动连接，所述炉门的另一端与丝杆螺纹转动连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过电机转动带动主动齿轮转动，主动齿轮啮合的从动齿轮转动带动丝杆旋转，丝杆固定的炉门一端受限位滑杆的限位作用，使炉门顺着限位滑杆升降，稳定性高，不易脱落，使用安全；

2、本实用新型在隔热层的内部侧边设置有放置架，在放置架的内部均匀设置有鹅卵石，多余热量通过鹅卵石进行吸收,进行热量存储，再利用，避免热量流失，提高余热利用率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的箱体内部结构示意图；

图中：1、进风机；2、箱体；3、炉门密封组件；31、限位滑杆；32、限位杆；33、电机；34、主动齿轮；35、从动齿轮；36、炉门；37、丝杆；4、循环风机；5、隔热层；6、导风管；7、载物架；8、喷嘴；9、放置架；10、鹅卵石；11、排风机；12、电加热板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供以下技术方案：一种金属加工用退火炉，包括箱体2、炉门密封组件3、放置架9和鹅卵石10，箱体2的炉口处设置有炉门密封组件3，箱体2的上端中间设置有进风机1，进风机1的上端设置有电加热板12，箱体2的上端位于进风机1的侧边设置有循环风机4，进风机1的另一侧设置有排风机11，为了方便使用维护，循环风机4与进风机1之间通过连接管连通，循环风机4和排风机11使用型号均相同仅安装位置不同，进风机1的下端连接有导风管6，导风管6的侧边均匀设置有喷嘴8，箱体2的内部设置有隔热层5，隔热层5的内部中间均匀设置有载物架7，隔热层5的内部侧边设置有放置架9，放置架9的内部均匀设置有鹅卵石10，为了方便更换使用，放置架9与隔热层5之间通过滑动连接固定，放置架9的表面设置有用于拦截鹅卵石10的金属网。

炉门密封组件3包括限位滑杆31、限位杆32、电机33、主动齿轮34、从动齿轮35、炉门36和丝杆37，其中，箱体2的表面位于炉口的一侧固定有限位滑杆31，箱体2的表面位于炉口的另一侧固定有丝杆37，限位滑杆31和丝杆37的之间连接有炉门36，为了方便升降，炉门36的一端与限位滑杆31滑动连接，炉门36的另一端与丝杆37螺纹转动连接，箱体2的表面位于炉口的下端设置有限位杆32，丝杆37的下端固定有从动齿轮35，箱体2的底部设置有电机33，电机33的转轴固定有主动齿轮34，为了方便转动，主动齿轮34与从动齿轮35啮合传动，丝杆37与箱体2之间通过轴承转动连接。

本实用新型的工作原理及使用流程：本实用新型使用时，将退火炉安装在合适位置，将待退火工件放置在载物架7的内部，电机33转动带动主动齿轮34转动，主动齿轮34啮合的从动齿轮35转动带动丝杆37旋转，丝杆37固定的炉门36一端受限位滑杆31的限位作用，使炉门36顺着限位滑杆31升降，炉门36将炉口密封，电加热板12进行加热，进风机1将热的空气通过导风管6输送，从喷嘴8喷向载物架7上的工件，进行退火作业，多余热量通过鹅卵石10进行吸收,进行热量存储，再利用，循环风机4再抽取循环退火，提高余热利用率，退火完成，打开炉门36，取出工件，使用便携。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

技术特征：

1.一种金属加工用退火炉，包括箱体(2)、炉门密封组件(3)、放置架(9)和鹅卵石(10)，其特征在于：所述箱体(2)的炉口处设置有炉门密封组件(3)，所述箱体(2)的上端中间设置有进风机(1)，所述进风机(1)的上端设置有电加热板(12)，所述箱体(2)的上端位于进风机(1)的侧边设置有循环风机(4)，所述进风机(1)的另一侧设置有排风机(11)，所述进风机(1)的下端连接有导风管(6)，所述导风管(6)的侧边均匀设置有喷嘴(8)，所述箱体(2)的内部设置有隔热层(5)，所述隔热层(5)的内部中间均匀设置有载物架(7)，所述隔热层(5)的内部侧边设置有放置架(9)，所述放置架(9)的内部均匀设置有鹅卵石(10)。

2.根据权利要求1所述的一种金属加工用退火炉，其特征在于：所述炉门密封组件(3)包括限位滑杆(31)、限位杆(32)、电机(33)、主动齿轮(34)、从动齿轮(35)、炉门(36)和丝杆(37)，其中，所述箱体(2)的表面位于炉口的一侧固定有限位滑杆(31)，所述箱体(2)的表面位于炉口的另一侧固定有丝杆(37)，所述限位滑杆(31)和丝杆(37)的之间连接有炉门(36)，箱体(2)的表面位于炉口的下端设置有限位杆(32)，所述丝杆(37)的下端固定有从动齿轮(35)，所述箱体(2)的底部设置有电机(33)，所述电机(33)的转轴固定有主动齿轮(34)。

3.根据权利要求1所述的一种金属加工用退火炉，其特征在于：所述循环风机(4)与进风机(1)之间通过连接管连通，所述循环风机(4)和排风机(11)使用型号均相同仅安装位置不同。

4.根据权利要求1所述的一种金属加工用退火炉，其特征在于：所述放置架(9)与隔热层(5)之间通过滑动连接固定，所述放置架(9)的表面设置有用于拦截鹅卵石(10)的金属网。

5.根据权利要求2所述的一种金属加工用退火炉，其特征在于：所述主动齿轮(34)与从动齿轮(35)啮合传动，所述丝杆(37)与箱体(2)之间通过轴承转动连接。

6.根据权利要求2所述的一种金属加工用退火炉，其特征在于：所述炉门(36)的一端与限位滑杆(31)滑动连接，所述炉门(36)的另一端与丝杆(37)螺纹转动连接。

技术总结
本实用新型公开了一种金属加工用退火炉，属于退火炉技术领域，包括箱体、炉门密封组件、放置架和鹅卵石，所述箱体的炉口处设置有炉门密封组件，所述箱体的上端中间设置有进风机，所述进风机的上端设置有电加热板，所述箱体的上端位于进风机的侧边设置有循环风机，本实用新型通过电机转动带动主动齿轮转动，主动齿轮啮合的从动齿轮转动带动丝杆旋转，丝杆固定的炉门一端受限位滑杆的限位作用，使炉门顺着限位滑杆升降，稳定性高，不易脱落，使用安全；本实用新型在隔热层的内部侧边设置有放置架，在放置架的内部均匀设置有鹅卵石，多余热量通过鹅卵石进行吸收,进行热量存储，再利用，避免热量流失，提高余热利用率。

技术研发人员：张恒华
受保护的技术使用者：盐城刚达机械有限公司
技术研发日：2019.12.16
技术公布日：2020.08.07