真空离子镀膜设备的无漏点的视窗挡板机构的制作方法

本实用新型属于真空镀膜设备部件，特别涉及一种真空离子镀膜设备的无漏点的视窗挡板机构。

背景技术：

视窗挡板是用于观察真空镀膜设备视窗内的遮挡机构，主要作用是防止视窗被镀上膜层从而无法看清炉内状况,常规的视窗挡板机构都是通过旋转挡板连接的转轴从而控制视窗开关，所以转轴与真空室之间需要o型圈进行密封，且为动密封，其存在的问题在于转轴旋转的过程中可能会发生漏气现象。

技术实现要素：

本实用新型在于克服上述不足，提供一种无需维护，结构简单，操作方便的真空离子镀膜设备的无漏点的视窗挡板机构。

本实用新型解决技术问题所采用的技术方案是：一种真空离子镀膜设备的无漏点的视窗挡板机构，包括炉体，其特征是利用磁铁异极相吸的原理在挡板转轴上固定一个磁柱并将其密封于真空室内部，真空室外部做一个内部镶有磁环的旋钮，磁柱的外圆柱面与磁环内表面的磁性相反，因异极相吸，当旋转真空室外部带磁环的旋钮时，就会带动真空室内部带磁柱的转轴一起转动进而控制挡板的开关。

本实用新型的有益效果是：无密封结构不必担心漏气问题，使用更为可靠。

附图说明

以下结合附图，以实施例具体说明。

图1是本实用新型实施例的主视图的剖面图。

图2是本实用新型实施例的主体图。

图中：1-旋钮；2-磁环；3-磁环压紧螺母；4-轴套；5-视窗法兰；6-磁柱固定螺钉；7-磁柱；8-转轴；9-挡板固定螺钉；10-挡板；11-炉体。

具体实施方式

实施例，参照附图，一种无漏点真空镀膜设备视窗挡板机构，包括炉体11，其特征是首先将视窗法兰5焊接在炉体11上，然后将磁环2放入旋钮1中用磁环压紧螺母3压紧后套在轴套4上，将轴套4焊接在视窗法兰5上，用磁柱固定螺钉6将磁柱7固定在转轴8上，将转轴8插入轴套4中，用挡板固定螺钉9将挡板10固定在转轴8上，其中磁环2的内表面与磁柱7外圆柱面磁性相反，利用磁铁异极相吸的原理转动旋钮1即可带动转轴8旋转，进而控制挡板10的开关，因轴套4是直接焊接在视窗法兰5上的，所以本真空离子镀膜设备的无漏点的视窗挡板机构，无密封结构，无漏点，也不存在漏气现象，长期使用更为可靠。

技术特征：

1.一种真空离子镀膜设备的无漏点的视窗挡板机构，包括炉体(11)，其特征是首先将视窗法兰(5)焊接在炉体(11)上,然后将磁环(2)放入旋钮(1)中，用磁环压紧螺母(3)压紧后套在轴套(4)上，将轴套(4)焊接在视窗法兰(5)上，用磁柱固定螺钉(6)把磁柱(7)固定在转轴(8)上，将转轴(8)插入轴套(4)中，用挡板固定螺钉(9)将挡板(10)固定在转轴(8)上。

2.根据权利要求书1所述的真空离子镀膜设备的无漏点的视窗挡板机构，其特征是磁环(2)的内表面与磁柱(7)外圆柱面磁性相反，轴套(4)是直接焊接在视窗法兰(5)上的。

技术总结
本实用新型属于一种真空离子镀膜设备的无漏点的视窗挡板机构，包括炉体(11),其特征是首先将视窗法兰(5)焊接在炉体(11)上，然后将磁环(2)放入旋钮(1)中，用磁环压紧螺母(3)压紧后套在轴套(4)上，将轴套(4)焊接在视窗法兰(5)上，用磁柱固定螺钉(6)把磁柱(7)固定在转轴(8)上，将转轴(8)插入轴套(4)中，用挡板固定螺钉(9)将挡板(10)固定在转轴(8)上，其中磁环(2)的内表面与磁柱(7)外圆柱面磁性相反，利用磁铁异极相吸的原理转动旋钮(1)即可带动转轴(8)旋转从而控制挡板(10)的开关，因轴套(4)是直接焊接在视窗法兰(5)上的，所以本真空离子镀膜设备的无漏点的视窗挡板机构无需密封结构，无漏点，也不存在漏气现象，长期使用更加可靠。

技术研发人员：白春阳;孙英斌;高琳
受保护的技术使用者：大连金泰正新科技有限公司
技术研发日：2019.12.24
技术公布日：2020.08.18