本发明涉及铜铟镓靶材背衬管回收利用技术领域，尤其涉及一种铜铟镓靶材背衬管回收利用方法。
背景技术：
背衬管是靶材的载体。对于铜铟镓靶材，在溅射后，靶材背衬管上常残留着铜铟镓涂层。由于该残留涂层的存在，对应的残靶及背衬管通常报废掉处理。残靶上背衬管直接报废掉一方面造成较大的浪费，另一方面也提高了生产成本。基于此，如何设计一种铜铟镓靶材背衬管回收利用方法是本发明所要解决的技术问题。
技术实现要素：
本发明针对现有技术的不足，提供一种铜铟镓靶材背衬管回收利用方法。
本发明通过以下技术手段实现解决上述技术问题的：
一种铜铟镓靶材背衬管回收利用方法，包括以下步骤：
a通过机加工的方式将残靶上的铜铟镓涂层进行剥离，使得残靶上余留的铜铟镓涂层的厚度＜0.2mm；
b将机加工后的背衬管进行酸洗，直到残靶上余留的铜铟镓全部溶解；
c对酸洗完后的背衬管用去离子水进行清洗，以去除表面残留的酸溶液，然后干燥；
d对清洗及干燥完的背衬管进行粗化，粗化后背衬管表面的粗糙度≥7μm；
e对粗化完后的背衬管用高压水枪进行清洗，以去除背衬管上残留的砂粒；
f对清洗完的背衬管进行塑料膜抽真空包装。
优选的，所述的一种铜铟镓靶材背衬管回收利用方法，步骤a中，通过车床将残靶上的铜铟镓涂层进行剥离。
优选的，所述的一种铜铟镓靶材背衬管回收利用方法，步骤b中，采用浓度为50％-70％的硝酸溶液对背衬管进行酸洗。
优选的，所述的一种铜铟镓靶材背衬管回收利用方法，步骤d中，采用喷砂的方式对背衬管进行粗化处理，喷砂材料采用氧化铝和碳化硅中的一种。
本发明的优点在于：本发明专利通过提供一种铜铟镓靶材背衬管回收利用的方法，解决了通常残靶只能进行报废处理的方式，该方法依靠稀硝酸与铜铟镓涂层反应而不与不锈钢管反应的方法进行去除残靶上的铜铟镓涂层，并对背衬管进行清洗、粗化，达到背衬管的回收利用，该方法有效地提高材料利用率，降低了成本。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
一种铜铟镓靶材背衬管回收利用方法，包括以下步骤：
a用车床将残靶上的铜铟镓涂层进行剥离，使得铜铟镓涂层的厚度＜0.2mm。加工时，需要特别注意，不可破坏背衬管表面，若加工到背衬管不锈钢，将造成该背衬管的报废；
b将铜铟镓涂层剥离后的背衬管进行酸洗，酸洗液为浓度50％-70％的硝酸；浸泡酸洗直到残靶上的铜铟镓全部溶解，酸洗时间的长短取决于所用硝酸的溶度，推荐的酸洗时间一般为4小时；该酸洗的方法利用铜铟镓涂层溶解于硝酸中，而不锈钢管本身与硝酸发生钝化的原理来实现残靶上残留的涂层的清理；
c对酸洗完后的背衬管用去离子水进行清洗以去除表面残留的硝酸；
d对清洗及干燥完的背衬管进行粗化，粗化材料为氧化铝或者碳化硅，粗化后背衬管表面的粗糙度需达到≥7μm，通过该粗化后，后续喷涂的涂层可以更好地粘结在背衬管上；
e对粗化完后的背衬管用高压水枪进行清洗，以去除背衬管上残留的砂粒；
f对清洗完的背衬管进行塑料膜抽真空包装。
本发明专利通过提供一种铜铟镓靶材背衬管回收利用的方法，解决了通常残靶只能进行报废处理的方式。该方法依靠稀硝酸与铜铟镓涂层反应而不与不锈钢管反应的方法进行去除残靶上的铜铟镓涂层，并对背衬管进行清洗、粗化，达到背衬管的回收利用。该方法有效地提高材料利用率，降低了成本；采用此方案除了可回收旋转靶材用背衬管，还可以回收平面靶材用背板。
需要说明的是，在本文中，如若存在第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。
1.一种铜铟镓靶材背衬管回收利用方法，其特征在于，包括以下步骤：
a通过机加工的方式将残靶上的铜铟镓涂层进行剥离，使得残靶上余留的铜铟镓涂层的厚度＜0.2mm；
b将机加工后的背衬管进行酸洗，直到残靶上余留的铜铟镓全部溶解；
c对酸洗完后的背衬管用去离子水进行清洗，以去除表面残留的酸溶液，然后干燥；
d对清洗及干燥完的背衬管进行粗化，粗化后背衬管表面的粗糙度≥7μm；
e对粗化完后的背衬管用高压水枪进行清洗，以去除背衬管上残留的砂粒；
f对清洗完的背衬管进行塑料膜抽真空包装。
2.根据权利要求1所述的一种铜铟镓靶材背衬管回收利用方法，其特征在于：步骤a中，通过车床将残靶上的铜铟镓涂层进行剥离。
3.根据权利要求1所述的一种铜铟镓靶材背衬管回收利用方法，其特征在于：步骤b中，采用浓度为50％-70％的硝酸溶液对背衬管进行酸洗。
4.根据权利要求1所述的一种铜铟镓靶材背衬管回收利用方法，其特征在于：步骤d中，采用喷砂的方式对背衬管进行粗化处理，喷砂材料采用氧化铝和碳化硅中的一种。