一种LED外延用石墨托盘的制作方法

本实用新型涉及石墨托盘技术领域，尤其涉及一种led外延用石墨托盘。

背景技术：

金属有机物化学气相沉积(mocvd)等半导体外延生长技术是led芯片等半导体器件研究及产业化中的最关键技术，mocvd是在气相外延生长(vpe)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。mocvd是以iii族、ii族元素的有机化合物和v、vi族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种iii-v主族、ii-vi副族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。

然而传统的承载晶圆(或晶片)的托盘(通常为石墨托盘)是mocvd设备中最核心的部件之一，但是现有的石墨托盘只能承载一个尺寸的晶圆，适用范围小，且现有的托盘没有一个相适配的盖子，对于放置在其中的晶片没有良好的保护。

因此，有必要提供一种新的led外延用石墨托盘解决上述技术问题。

技术实现要素：

本实用新型解决的技术问题是提供一种使用方便、能够承载多个晶片，且能够对放置在其中晶片进行保护的led外延用石墨托盘。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的led外延用石墨托盘包括：石墨托盘本体；若干个放置槽，若干个所述放置槽均开设在所述石墨托盘本体的顶部；第一固定块，所述第一固定块固定安装在所述石墨托盘本体的底部；滑杆，所述滑杆固定安装在所述第一固定块上，所述滑杆的顶端延伸至所述石墨托盘本体外；第二固定块，所述第二固定块固定安装在所述滑杆的顶端；石墨环板，所述石墨环板滑动套设在所述滑杆上，所述石墨环板位于所述石墨托盘本体和所述第二固定块之间，所述石墨环板的底部和所述石墨托盘本体的顶部相接触；顶盖，所诉顶盖固定安装在所述所述石墨环板的顶部，所述顶盖和所述滑杆滑动连接；滑环，所述滑环滑动套设在所述滑杆上，所述滑环位于所述第二固定块和所述顶盖之间，所述滑环的底部和所述顶盖的顶部固定连接；把手，所述把手固定安装在所述滑环的一侧；弹簧，所述弹簧滑动套设在所述滑杆上，所述弹簧的顶端和所述第二固定块的底部固定连接，所述弹簧的底端和所述滑环的顶部固定连接；滑孔，所述滑孔开设在所述顶盖上，所述滑杆和所述滑孔的内壁滑动连接；四个支撑腿，四个所述支撑腿均固定安装在所述石墨托盘本体的底部，四个所述支撑腿呈矩形阵列分布。

优选的，所述石墨托盘本体呈圆形。

优选的，若干个所述放置槽均呈圆形，若干个所述放置槽均匀分布。

优选的，所述滑杆位于若干个所述放置槽之间。

优选的，所述弹簧为耐高温材质。

与相关技术相比较，本实用新型提供的led外延用石墨托盘具有如下有益效果：

本实用新型提供一种led外延用石墨托盘，通过多个放置槽的形式可以放置更多的产品，增加了收纳的能力，相配合使用的顶盖对内部放置的物品进行保护。

附图说明

图1为本实用新型提供的led外延用石墨托盘的一种较佳实施例的主视剖视结构示意图；

图2为图1中所示a部分的放大结构示意图；

图3为本实用新型中石墨托盘本体的俯视结构示意图。

图中标号：1、石墨托盘本体，2、放置槽，3、第一固定块，4、滑杆，5、第二固定块，6、石墨环板，7、顶盖，8、滑环，9、把手，10、弹簧，11、滑孔，12、支撑腿。

具体实施方式

下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。

请结合参阅图1、图2和图3，其中，图1为本实用新型提供的led外延用石墨托盘的一种较佳实施例的主视剖视结构示意图；图2为图1中所示a部分的放大结构示意图；图3为本实用新型中石墨托盘本体的俯视结构示意图。led外延用石墨托盘包括：石墨托盘本体1；若干个放置槽2，若干个所述放置槽2均开设在所述石墨托盘本体1的顶部；第一固定块3，所述第一固定块3固定安装在所述石墨托盘本体1的底部；滑杆4，所述滑杆4固定安装在所述第一固定块3上，所述滑杆4的顶端延伸至所述石墨托盘本体1外；第二固定块5，所述第二固定块5固定安装在所述滑杆4的顶端；石墨环板6，所述石墨环板6滑动套设在所述滑杆4上，所述石墨环板6位于所述石墨托盘本体1和所述第二固定块5之间，所述石墨环板6的底部和所述石墨托盘本体1的顶部相接触；顶盖7，所诉顶盖7固定安装在所述所述石墨环板6的顶部，所述顶盖7和所述滑杆4滑动连接；滑环8，所述滑环8滑动套设在所述滑杆4上，所述滑环8位于所述第二固定块5和所述顶盖7之间，所述滑环8的底部和所述顶盖7的顶部固定连接；把手9，所述把手9固定安装在所述滑环8的一侧；弹簧10，所述弹簧10滑动套设在所述滑杆4上，所述弹簧10的顶端和所述第二固定块5的底部固定连接，所述弹簧10的底端和所述滑环8的顶部固定连接；滑孔11，所述滑孔11开设在所述顶盖7上，所述滑杆4和所述滑孔11的内壁滑动连接；四个支撑腿12，四个所述支撑腿12均固定安装在所述石墨托盘本体1的底部，四个所述支撑腿12呈矩形阵列分布。

所述石墨托盘本体1呈圆形。

若干个所述放置槽2均呈圆形，若干个所述放置槽2均匀分布。

所述滑杆4位于若干个所述放置槽2之间。

所述弹簧10为耐高温材质。

本实用新型提供的led外延用石墨托盘的工作原理如下：

在放置晶片时，通过以第二固定块5为支点，向上挑起把手9，把手9带动滑环8向上滑动，同时通过连接作用使滑环8带动顶盖7，顶盖7带动石墨环板6上升，此时弹簧10处于压缩状态，这时可把晶片放置在放置槽2内进行保存，全部放置完毕后，松开把手9，在弹簧10的复位下使石墨环板6和放置槽2处于密封状态，对其中的晶片进行保护。

与相关技术相比较，本实用新型提供的led外延用石墨托盘具有如下有益效果：

本实用新型提供一种led外延用石墨托盘，通过多个放置槽2的形式可以放置更多的产品，增加了收纳的能力，相配合使用的顶盖对内部放置的物品进行保护。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

技术特征：

1.一种led外延用石墨托盘，其特征在于，包括：

石墨托盘本体；

若干个放置槽，若干个所述放置槽均开设在所述石墨托盘本体的顶部；

第一固定块，所述第一固定块固定安装在所述石墨托盘本体的底部；

滑杆，所述滑杆固定安装在所述第一固定块上，所述滑杆的顶端延伸至所述石墨托盘本体外；

第二固定块，所述第二固定块固定安装在所述滑杆的顶端；

石墨环板，所述石墨环板滑动套设在所述滑杆上，所述石墨环板位于所述石墨托盘本体和所述第二固定块之间，所述石墨环板的底部和所述石墨托盘本体的顶部相接触；

顶盖，所诉顶盖固定安装在所述石墨环板的顶部，所述顶盖和所述滑杆滑动连接；

滑环，所述滑环滑动套设在所述滑杆上，所述滑环位于所述第二固定块和所述顶盖之间，所述滑环的底部和所述顶盖的顶部固定连接；

把手，所述把手固定安装在所述滑环的一侧；

弹簧，所述弹簧滑动套设在所述滑杆上，所述弹簧的顶端和所述第二固定块的底部固定连接，所述弹簧的底端和所述滑环的顶部固定连接；

滑孔，所述滑孔开设在所述顶盖上，所述滑杆和所述滑孔的内壁滑动连接；

四个支撑腿，四个所述支撑腿均固定安装在所述石墨托盘本体的底部，四个所述支撑腿呈矩形阵列分布。

2.根据权利要求1所述的led外延用石墨托盘，其特征在于，所述石墨托盘本体呈圆形。

3.根据权利要求1所述的led外延用石墨托盘，其特征在于，若干个所述放置槽均呈圆形，若干个所述放置槽均匀分布。

4.根据权利要求1所述的led外延用石墨托盘，其特征在于，所述滑杆位于若干个所述放置槽之间。

5.根据权利要求1所述的led外延用石墨托盘，其特征在于，所述弹簧为耐高温材质。

技术总结
本实用新型提供一种LED外延用石墨托盘。所述LED外延用石墨托盘包括石墨托盘本体；若干个放置槽，若干个所述放置槽均开设在所述石墨托盘本体的顶部；第一固定块，所述第一固定块固定安装在所述石墨托盘本体的底部；滑杆，所述滑杆固定安装在所述第一固定块上，所述滑杆的顶端延伸至所述石墨托盘本体外；第二固定块，所述第二固定块固定安装在所述滑杆的顶端；石墨环板，所述石墨环板滑动套设在所述滑杆上，所述石墨环板位于所述石墨托盘本体和所述第二固定块之间，所述石墨环板的底部和所述石墨托盘本体的顶部相接触。本实用新型提供的LED外延用石墨托盘具有使用方便、能够承载多个晶片，且能够对放置在其中晶片进行保护的优点。

技术研发人员：周明明;孙丰武
受保护的技术使用者：青岛持久高新材料有限公司
技术研发日：2020.01.21
技术公布日：2020.10.13